公开(公告)号：CN101099226A

公开(公告)日：2008-01-02

申请号：CN200580046342.6

申请日：2005-11-29

申请人： 电子科学工业公司

发明人： D·R·卡特拉 ,  B·W·伯德 ,  R·S·哈瑞斯 ,  D·M·海明威 ,  H·罗 ,  B·E·尼尔森 ,  Y·尾峪 ,  L·孙 ,  Y·孙 ,  M·A·安瑞斯

IPC分类号： H01L21/26

CPC分类号： B23K26/067 ,  B23K26/0673

摘要： 激光束切换系统(50)应用耦合到光束切换装置(58)的激光器(52)，这种激光切换装置使得激光束在第一和第二光束定位头之间切换，这样当第一光束定位头(60)正在引导激光束加工工件目标位置时，第二光束定位头(62)同时移动到另外一个目标位置，反之亦然。优选的光束切换装置包括第一和第二AOM。当施加RF到第一AOM(72)时，激光束向第一光束定位头衍射，并且当施加RF到第二AOM(74)时，激光束向第二光束定位头衍射。工件加工系统(120)使用一个通用模块化成像光学组件(122)和一个可选的可变光束扩展器(94)来对多个激光束进行光学处理。