公开(公告)号：CN101949952B

公开(公告)日：2013-10-02

申请号：CN201010227596.0

申请日：2010-07-12

Applicant: 雅马哈株式会社

Inventor： 服部敦夫 ,  松冈润弥

IPC: G01P15/08 ,  G01P15/09

CPC classification number: G01P15/0802 ,  G01P15/123

Abstract: 一种单维加速度传感器，包括：具有恒定厚度的半导体基板；穿过基板的平行的第二穿通沟道，该第二穿通沟道之间限定出柔性梁，第二穿通沟道具有比厚度小得多的宽度；四个压电电阻器，形成在柔性梁的四个脚部区域处；穿过基板的第一穿通沟道，与第二穿通沟道的端部连续，以限定出与柔性梁的一端连续的配重件，该配重件包括将柔性梁夹在其间的一对对称的第一部分和联接到第二部分和柔性梁的一端的第二部分，且配重件具有的中心在柔性梁纵向中心线上的一中间位置处；一层配线，形成在柔性梁上方，将在同一边缘处的压电电阻器连接，并将相互连接点沿柔性梁的纵向方向引导。

公开(公告)号：CN103063874A

公开(公告)日：2013-04-24

申请号：CN201110324188.1

申请日：2011-10-24

Applicant: 北京强度环境研究所 ,  北京航天斯达新技术装备公司 ,  天津航天斯达新技术装备有限公司 ,  中国运载火箭技术研究院

Inventor： 袁怡诤 ,  房远勇 ,  吕俊 ,  丁竹生 ,  宋慧 ,  叶童林 ,  于宏伟

IPC: G01P15/09

Abstract: 本发明涉及一种加速度传感器，具体公开一种超低相位差智能压电式加速度传感器，包括微型电荷放大器、Q/V变换电路、敏感元件、第一单向隔离二极管、微型存储器、第二单向隔离二极管、开关、第一恒流源、第二恒流源；敏感元件与Q/V变换电路的输入端并联，Q/V变换电路的输出端与微型电压放大器的输入连接，微型电压放大器的输出端与第一单向隔离二极管的负极连接，第一单向隔离二极管与开关的一个触点连接；敏感元件的输入端与微型存储器的输入端连接，微型存储器的输出端与第二单向隔离二极管的正极连接；开关另两个触点分别与第一恒流源、第二恒流源均连接。本发明的传感器集成度高、智能化程度高、兼容性强。

公开(公告)号：CN102356321A

公开(公告)日：2012-02-15

申请号：CN201080012306.9

申请日：2010-03-12

Applicant: 罗伯特·博世有限公司

Inventor： B.托尔库恩 ,  P.古泽

IPC: G01P3/488 ,  G01P1/12 ,  G01P15/09

CPC classification number: G01P3/488 ,  G01D21/00 ,  G01P1/12 ,  G01P15/09

Abstract: 本发明建议用于汽车安全系统的传感器模块以及一种使这种用于汽车安全系统的传感器模块运行的方法，其中由传感器模块的至少一个发送器根据传感器信号无线地发送数据。该传感器模块使用发电式作用的测量原理，由此通过所述测量原理产生用于使传感器模块运行的能量。在传感器模块的存储器中存储数据并且控制装置根据至少一个汽车参数（例如速度）和/或事件（例如滑转、抱死）读出这些数据并发送它们。

公开(公告)号：CN102336391A

公开(公告)日：2012-02-01

申请号：CN201110167456.3

申请日：2011-06-21

Applicant: 罗伯特·博世有限公司

Inventor： A.法伊

IPC: B81C1/00 ,  B81B3/00 ,  G01P15/09 ,  G01L1/18

CPC classification number: G01P15/0802 ,  G01P15/123 ,  G01P2015/0828

Abstract: 本发明涉及一种用于制造用于惯性传感器的压阻的传感器装置（10）的方法，该传感器装置具有质量元件（12）、基体部件（14）以及连接该质量元件（12）和基体部件（14）的起到压阻作用的臂（16）。此外，本发明涉及一种相应的压阻的传感器装置（10）以及一种相应的惯性传感器。

公开(公告)号：CN101162237B

公开(公告)日：2011-11-09

申请号：CN200710152427.3

申请日：2007-10-11

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 西泽竜太 ,  田中雅子

IPC: G01P15/08 ,  G01P15/09 ,  G01P15/10

Abstract: 本发明提供一种小型且灵敏度高的加速度传感器。加速度传感器(1)是由固定在基座上的基部(20)和从基部延伸出来并以预定的谐振频率在平面方向上弯曲振动的梁状的振动臂(21)构成的振动体(10)，其中，振动臂具有：在宽度方向的中央部被在与振动方向垂直且开设于长度方向上的贯通开口(22)剖分的振动臂部(23、24)；具有与连接被剖分的振动臂部的前端部的基部同等或者更大质量的附加质量部(25)；以及设置在振动臂部上的励磁电极(31～34)，振动臂由基部与附加质量部以伪双端固定结构支撑，该加速度传感器检测当被施加加速度时的由附加质量部的惯性效果带来的振动体的谐振频率变化。

公开(公告)号：CN100595909C

公开(公告)日：2010-03-24

申请号：CN200610077372.X

申请日：2006-04-29

Applicant: 冲电气工业株式会社

Inventor： 武政宪吾

IPC: H01L23/10 ,  H01L41/08 ,  H01L41/053 ,  G01P15/00 ,  G01P15/09

CPC classification number: G01P15/123 ,  G01P1/006 ,  G01P1/023 ,  G01P15/0802 ,  G01P15/18 ,  G01P2015/084 ,  H01L2224/49171 ,  H01L2224/73265

Abstract: 本发明提供即使热或应力传导到封装、也能够进行稳定的工作的半导体器件。本发明的半导体加速度传感器器件(1)，具有：内部具有空腔(21c)、由下部容器(21)和上部盖(25)构成的封装，半导体加速度传感器芯片(10)，在上表面的芯片搭载区域(32a)上固定有半导体加速度传感器芯片(10)的衬垫(32)，以及粘接衬垫(32)的下表面的、芯片搭载区域(32a)下方以外的区域和空腔(21c)的底面(21a)的粘接部(33)。

公开(公告)号：CN100588970C

公开(公告)日：2010-02-10

申请号：CN200610100053.6

申请日：2006-06-27

Applicant: 京瓷株式会社

Inventor： 桑畑道彦

IPC: G01P15/09 ,  G01P15/08

Abstract: 本发明提供一种加速度传感器，其包括在长方体状的压电基板(21、22)的外侧主面配置导体膜(26、29)而构成的振动元件(2)、和夹持其一部分的第1支撑构件(3a、3b)，第1支撑构件(3a、3b)由弹性体构成，振动元件的弯曲点位于由第1支撑构件(3a、3b)夹持的支撑区域(91)内。由此，压电基板(21、22)中产生应变的区域变大，产生的电荷增加，输出电压增大，从而可提高加速度的检测灵敏度。

公开(公告)号：CN101578524A

公开(公告)日：2009-11-11

申请号：CN200880001626.7

申请日：2008-01-29

Applicant: 京瓷株式会社

Inventor： 松尾香

IPC: G01P15/09 ,  H01L41/08 ,  H01L41/083

CPC classification number: G01P1/023 ,  G01P15/0802 ,  G01P15/09 ,  G01P15/097 ,  Y10T29/42

Abstract: 本发明涉及结构简单、制造容易且小型、高灵敏度的加速度传感器。该加速度传感器具备：经由配置于压电振动元件(10)的两主面的一端的一对主面间隔部件(21a、21b)空开间隔而配置的一对主面保护部件(31a、31b)；经由配置于主面保护部件(31a、31b)的另一端的端面的一对端面间隔部件(22a、22b)与所述压电振动元件(10)空开间隔而配置的端面保护部件(32)；经由配置于压电振动元件(10)的两侧面的一端及一对主面保护部件(31a、31b)、端面保护部件(32)、一对主面间隔部件(21a、21b)、端面间隔部件(22a、22b)的两侧面的一对侧面间隔部件(23a、23b)空开间隔而配置的一对侧面保护部件(33a、33b)。

公开(公告)号：CN101527753A

公开(公告)日：2009-09-09

申请号：CN200910132707.7

申请日：2006-01-18

Applicant: 捷讯研究有限公司

Inventor： 詹森·格里芬 ,  史蒂文·法伊克

IPC: H04M1/725 ,  G01P15/00 ,  G01P15/09 ,  G01P15/12 ,  G01P15/125

CPC classification number: H04M1/72569 ,  H04M19/04 ,  H04M19/047 ,  H04M2250/12

Abstract: 本发明涉及无线设备的用户手检测。一种用于确定无线设备是否被持有的方法，包括：激活无线设备中的振动马达，使无线设备振动预定周期；在预定周期期间从无线设备中的加速度计接收至少一个加速度测量值；以及将至少一个加速度测量值与至少一个已存储加速度测量值进行比较，所述至少一个已存储加速度测量值与被持无线设备相对应。

公开(公告)号：CN101477139A

公开(公告)日：2009-07-08

申请号：CN200910045761.8

申请日：2009-02-05

Applicant: 上海交通大学

Inventor： 张卫平 ,  卢奕鹏 ,  陈文元 ,  蔡新午

IPC: G01P15/09

Abstract: 本发明涉及一种传感器技术领域的基于磁致伸缩与压电效应的无功耗加速度计，包括上永磁铁、下永磁铁、磁铁支板、右悬臂梁、左悬臂梁、上磁致伸缩体、下磁致伸缩体、上压电膜、下压电膜、加速度计固定框架。当有外界加速度时，由于惯性作用，永磁铁会在某一方向产生正向或反向的位移，致使经过磁致伸缩体的磁场强度发生改变。由于磁致伸缩效应，磁致伸缩体将产生相应的变形，并带动压电膜产生相应的变形。由于压电效应，压电膜表面将产生直流电压信号，信号的大小与外界加速度大小成正比，被作为外界加速度的检测信号。本发明的加速度计无功耗、结构简单、加工容易、不需要真空或特殊要求的封装，且检测信号为直流电压信号，检测便捷、可靠性高。