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公开(公告)号：CN101613074A
公开(公告)日：2009-12-30
申请号：CN200910150864.0
申请日：2009-06-25
Applicant: 雅马哈株式会社
Inventor： 服部敦夫
CPC classification number: G01P15/123 , G01P15/18
Abstract: 在本发明中假定x轴线、y轴线和z轴线是直角坐标系的三条轴线的情况下，本发明提供一种微机电系统元件包括：支承部分，其沿y方向的长度比沿x方向的长度短；平行设置的两个膜状梁部分，其沿y方向的长度比沿x方向的长度短；配重部分，其沿y方向的长度比沿x方向的长度短，该配重部分跨过两个梁部分的中心，该配重部分包括连接部，该连接部跨过所述两个梁部分，两个突出部在所述两个梁部分之间的空间中从该连接部突出到相反方向；和多个畸变检测器，放置在每个梁部分上并对与梁部分的变形相对应的畸变进行检测，以测量与作用在配重部分上的力相对应的矢量的xyz分量。
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公开(公告)号：CN102693717A
公开(公告)日：2012-09-26
申请号：CN201210077409.4
申请日：2012-03-22
Applicant: 雅马哈株式会社
CPC classification number: G10H3/185 , G10H2220/465 , G10H2220/531
Abstract: 一种乐器用振动传感器，其具备基板，与所述基板叠合的第一电极膜，与所述第一电极膜叠合的压电膜，与所述压电膜叠合的第二电极膜，与所述第二电极膜叠合的绝缘膜，与所述绝缘膜叠合且与所述第一电极膜结合，由导电性材料构成且通过所述绝缘膜与所述第二电极膜绝缘的屏蔽膜。
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公开(公告)号：CN101613074B
公开(公告)日：2012-05-30
申请号：CN200910150864.0
申请日：2009-06-25
Applicant: 雅马哈株式会社
Inventor： 服部敦夫
CPC classification number: G01P15/123 , G01P15/18
Abstract: 在本发明中假定x轴线、y轴线和z轴线是直角坐标系的三条轴线的情况下，本发明提供一种微机电系统元件包括：支承部分，其沿y方向的长度比沿x方向的长度短；平行设置的两个膜状梁部分，其沿y方向的长度比沿x方向的长度短；配重部分，其沿y方向的长度比沿x方向的长度短，该配重部分跨过两个梁部分的中心，该配重部分包括连接部，该连接部跨过所述两个梁部分，两个突出部在所述两个梁部分之间的空间中从该连接部突出到相反方向；和多个畸变检测器，放置在每个梁部分上并对与梁部分的变形相对应的畸变进行检测，以测量与作用在配重部分上的力相对应的矢量的xyz分量。
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公开(公告)号：CN101949952A
公开(公告)日：2011-01-19
申请号：CN201010227596.0
申请日：2010-07-12
Applicant: 雅马哈株式会社
CPC classification number: G01P15/0802 , G01P15/123
Abstract: 一种单轴加速度传感器，包括：具有恒定厚度的半导体基板；穿过基板的平行的第二穿通沟道，该第二穿通沟道之间限定出柔性梁，第二穿通沟道具有比厚度小得多的宽度；四个压电电阻器，形成在柔性梁的四个脚部区域处；穿过基板的第一穿通沟道，与第二穿通沟道的端部连续，以限定出与柔性梁的一端连续的配重件，该配重件包括将柔性梁夹在其间的一对对称的第一部分和联接到第二部分和柔性梁的一端的第二部分，且配重件具有的中心在柔性梁纵向中心线上的一中间位置处；一层配线，形成在柔性梁上方，将在同一边缘处的压电电阻器连接，并将相互连接点沿柔性梁的纵向方向引导。
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公开(公告)号：CN101345225A
公开(公告)日：2009-01-14
申请号：CN200810136067.2
申请日：2008-07-11
Applicant: 雅马哈株式会社
Inventor： 服部敦夫
IPC: H01L23/48 , H01L21/60 , H01R13/20 , H01R13/213
CPC classification number: H05K3/365 , H01L2924/0002 , H01R12/52 , H01R12/718 , H01R13/11 , H01R13/20 , H05K3/326 , H05K3/4007 , H05K2201/0367 , H05K2201/09745 , H05K2201/209 , Y10T29/49204 , H01L2924/00
Abstract: 本发明提供一种电子部件及其制造方法，两个电子部件在与基板垂直的方向层叠，本发明的电子部件具有用于将以狭小的间距二维排列的端子之间连接的连接器。该电子部件是与具有突起电极的其他电子部件连接的电子部件，具有：基板、在所述基板形成的导电性布线元件及相对所述突起电极进行卡合连接的连接器，该连接器由沉积在所述布线元件上的导电膜构成，并且具有：在从所述布线元件向与所述基板的接合面垂直的方向突出有多个部位的脚部，从所述脚部的各突出端向所述脚部的内侧突出的阻挡面，从所述阻挡面的各突出端向所述脚部的外侧后退，同时，在从所述脚部的基端朝向突出端的方向上延伸的导向面。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102693717B
公开(公告)日：2015-08-12
申请号：CN201210077409.4
申请日：2012-03-22
Applicant: 雅马哈株式会社
CPC classification number: G10H3/185 , G10H2220/465 , G10H2220/531
Abstract: 一种乐器用振动传感器，其具备基板，与所述基板叠合的第一电极膜，与所述第一电极膜叠合的压电膜，与所述压电膜叠合的第二电极膜，与所述第二电极膜叠合的绝缘膜，与所述绝缘膜叠合且与所述第一电极膜结合，由导电性材料构成且通过所述绝缘膜与所述第二电极膜绝缘的屏蔽膜。
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公开(公告)号：CN101154035B
公开(公告)日：2012-01-04
申请号：CN200710161280.4
申请日：2007-09-25
Applicant: 雅马哈株式会社
Inventor： 服部敦夫
CPC classification number: G03F7/0002 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , G03F7/0017
Abstract: 一种细微模具包括再生目标膜和光屏蔽单元，其中再生目标膜形成成形表面的凸出部，光屏蔽单元构造在比成形表面的底部更深的位置，且光屏蔽单元使再生目标膜再生。具有三维结构的产品的制造成本可以得到降低。
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公开(公告)号：CN101236214A
公开(公告)日：2008-08-06
申请号：CN200810004687.0
申请日：2008-01-22
Applicant: 雅马哈株式会社 , 国立大学法人东京工业大学
CPC classification number: G01C19/56 , G01P15/0802 , G01P15/0922 , G01P15/18 , G01P2015/084
Abstract: 本发明公开了一种运动传感器、采用该运动传感器的加速计、采用该运动传感器的倾斜传感器、采用该运动传感器的压力传感器和采用该运动传感器的触觉控制器。该运动传感器可以包括但不限于基板、梁、重物、压电膜和第一电极。梁由基板支撑。梁是可弹性变形的。重物连接到梁。压电膜遵循梁至少一部分并且沿其延伸。压电膜可以包括但不限于有机压电膜。第一电极设置在压电膜上。
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公开(公告)号：CN1550785A
公开(公告)日：2004-12-01
申请号：CN200410042159.6
申请日：2004-05-08
Applicant: 雅马哈株式会社
Abstract: 一种探针装置，包括具有基座(20)和多个探针(10)的梳状探针片，每个探针(10)具有宽于突伸基部(14)的端部(12)，该突伸基部(14)通过基座(20)连接于其它突伸基部(14)。通过加宽探针(10)的端部(12)，可以防止探针从试件电极的顶面脱落。进一步地，通过在探针(10)排列方向上使端部(12)不规则，就可以使端部(12)变宽而不用加大探针(10)中心轴线间的间距。因而，排列方向上的相邻探针(10)之间的最小距离可以被缩短，并且不用减小探针(10)的间距，就可以提高探针装置对于具有平行排列的多个细长电极的试件的适用度。
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公开(公告)号：CN101949952B
公开(公告)日：2013-10-02
申请号：CN201010227596.0
申请日：2010-07-12
Applicant: 雅马哈株式会社
CPC classification number: G01P15/0802 , G01P15/123
Abstract: 一种单维加速度传感器，包括：具有恒定厚度的半导体基板；穿过基板的平行的第二穿通沟道，该第二穿通沟道之间限定出柔性梁，第二穿通沟道具有比厚度小得多的宽度；四个压电电阻器，形成在柔性梁的四个脚部区域处；穿过基板的第一穿通沟道，与第二穿通沟道的端部连续，以限定出与柔性梁的一端连续的配重件，该配重件包括将柔性梁夹在其间的一对对称的第一部分和联接到第二部分和柔性梁的一端的第二部分，且配重件具有的中心在柔性梁纵向中心线上的一中间位置处；一层配线，形成在柔性梁上方，将在同一边缘处的压电电阻器连接，并将相互连接点沿柔性梁的纵向方向引导。
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