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公开(公告)号：CN102693717B
公开(公告)日：2015-08-12
申请号：CN201210077409.4
申请日：2012-03-22
Applicant: 雅马哈株式会社
CPC classification number: G10H3/185 , G10H2220/465 , G10H2220/531
Abstract: 一种乐器用振动传感器，其具备基板，与所述基板叠合的第一电极膜，与所述第一电极膜叠合的压电膜，与所述压电膜叠合的第二电极膜，与所述第二电极膜叠合的绝缘膜，与所述绝缘膜叠合且与所述第一电极膜结合，由导电性材料构成且通过所述绝缘膜与所述第二电极膜绝缘的屏蔽膜。
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公开(公告)号：CN102693717A
公开(公告)日：2012-09-26
申请号：CN201210077409.4
申请日：2012-03-22
Applicant: 雅马哈株式会社
CPC classification number: G10H3/185 , G10H2220/465 , G10H2220/531
Abstract: 一种乐器用振动传感器，其具备基板，与所述基板叠合的第一电极膜，与所述第一电极膜叠合的压电膜，与所述压电膜叠合的第二电极膜，与所述第二电极膜叠合的绝缘膜，与所述绝缘膜叠合且与所述第一电极膜结合，由导电性材料构成且通过所述绝缘膜与所述第二电极膜绝缘的屏蔽膜。
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公开(公告)号：CN101949952A
公开(公告)日：2011-01-19
申请号：CN201010227596.0
申请日：2010-07-12
Applicant: 雅马哈株式会社
CPC classification number: G01P15/0802 , G01P15/123
Abstract: 一种单轴加速度传感器，包括：具有恒定厚度的半导体基板；穿过基板的平行的第二穿通沟道，该第二穿通沟道之间限定出柔性梁，第二穿通沟道具有比厚度小得多的宽度；四个压电电阻器，形成在柔性梁的四个脚部区域处；穿过基板的第一穿通沟道，与第二穿通沟道的端部连续，以限定出与柔性梁的一端连续的配重件，该配重件包括将柔性梁夹在其间的一对对称的第一部分和联接到第二部分和柔性梁的一端的第二部分，且配重件具有的中心在柔性梁纵向中心线上的一中间位置处；一层配线，形成在柔性梁上方，将在同一边缘处的压电电阻器连接，并将相互连接点沿柔性梁的纵向方向引导。
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公开(公告)号：CN101949952B
公开(公告)日：2013-10-02
申请号：CN201010227596.0
申请日：2010-07-12
Applicant: 雅马哈株式会社
CPC classification number: G01P15/0802 , G01P15/123
Abstract: 一种单维加速度传感器，包括：具有恒定厚度的半导体基板；穿过基板的平行的第二穿通沟道，该第二穿通沟道之间限定出柔性梁，第二穿通沟道具有比厚度小得多的宽度；四个压电电阻器，形成在柔性梁的四个脚部区域处；穿过基板的第一穿通沟道，与第二穿通沟道的端部连续，以限定出与柔性梁的一端连续的配重件，该配重件包括将柔性梁夹在其间的一对对称的第一部分和联接到第二部分和柔性梁的一端的第二部分，且配重件具有的中心在柔性梁纵向中心线上的一中间位置处；一层配线，形成在柔性梁上方，将在同一边缘处的压电电阻器连接，并将相互连接点沿柔性梁的纵向方向引导。
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