Invention Publication
- Patent Title: 用于制造压阻的传感器装置的方法以及传感器装置
- Patent Title (English): Method for manufacturing piezoresistive sensor device and sensor device
-
Application No.: CN201110167456.3Application Date: 2011-06-21
-
Publication No.: CN102336391APublication Date: 2012-02-01
- Inventor: A.法伊
- Applicant: 罗伯特·博世有限公司
- Applicant Address: 德国斯图加特
- Assignee: 罗伯特·博世有限公司
- Current Assignee: 罗伯特·博世有限公司
- Current Assignee Address: 德国斯图加特
- Agency: 中国专利代理(香港)有限公司
- Agent 汲长志; 杨国治
- Priority: 102010030345.3 2010.06.22 DE
- Main IPC: B81C1/00
- IPC: B81C1/00 ; B81B3/00 ; G01P15/09 ; G01L1/18
Abstract:
本发明涉及一种用于制造用于惯性传感器的压阻的传感器装置（10）的方法，该传感器装置具有质量元件（12）、基体部件（14）以及连接该质量元件（12）和基体部件（14）的起到压阻作用的臂（16）。此外，本发明涉及一种相应的压阻的传感器装置（10）以及一种相应的惯性传感器。
Public/Granted literature
- CN102336391B 用于制造压阻的传感器装置的方法以及传感器装置 Public/Granted day:2015-12-16
Information query
