可调力/力矩的传感器及制作方法

    公开(公告)号:CN111044182B

    公开(公告)日:2021-12-10

    申请号:CN201911420977.8

    申请日:2019-12-31

    Abstract: 本发明提供了一种可调力/力矩的传感器及制作方法,包括:移动平台、传感器底板(1)、十字形双悬臂梁单元、传感器主动调控梁(2)、传感器被动调控梁(3)、传感器前板(4)、传感器输入板(5)以及传感器输出板(6);所述传感器底板(1)将传感器固定在移动平台上,同时将传感器底板(1)接地;所述十字形双悬臂梁单元包括:传感器主动调控梁(2)、传感器被动调控梁(3);所述传感器主动调控梁(2)、传感器被动调控梁(3)采用十字形交叉布置;所述输出板电容变化能够产生电容变化信息;所述电容变化信息匹配于力/力矩值测量结果信息。本发明具有系统微调功能,可以对传感器加工所带来的位置误差和长期测量损耗进行补偿。

    MEMS电容式陀螺仪的数字馈通取消系统

    公开(公告)号:CN113639734A

    公开(公告)日:2021-11-12

    申请号:CN202110857242.2

    申请日:2021-07-28

    Abstract: 本发明提供了一种MEMS电容式陀螺仪的数字馈通取消系统,包括微陀螺仪模块、数字检波模块、数字解调模块、数字鉴相模块、数字馈通信号模拟模块以及数字驱动模块;微陀螺仪模块:在给定反馈信号下被激振或被驱动,并产生检测信号和监测信号;数字解调模块:对微陀螺仪模块输出监测信号的幅值进行检测;数字鉴相模块:对监测信号与驱动信号的相位差进行检测;数字馈通信号模拟模块:根据数字解调模块所提供的幅值信息以及数字鉴相模块提供的相位差输出近似的馈通信号。本发明通过采用数字馈通取消,实现无需检测电路的高度对称性也无需复杂的模拟参数设计的馈通取消,在保证馈通取消效果前提下使用了方便移植用于不同陀螺的数字馈通取消方法。

    一种分立与环形双电极分布式全角度控制系统

    公开(公告)号:CN106289213B

    公开(公告)日:2020-01-07

    申请号:CN201610693599.0

    申请日:2016-08-18

    Abstract: 本发明提供一种分立与环形双电极分布式全角度控制系统,所述系统包括:谐振陀螺、分立电极、环形电极、前置级模块、角度输出模块、振幅控制模块、频率控制模块和正交控制模块;本发明实现谐振陀螺驱动信号的实时锁频以及智能调幅、调相功能;统能够为谐振陀螺工作在全角度时,提供稳幅且跟踪陀螺谐振频率的驱动信号,保证陀螺时刻都处于谐振状态,减小因谐振频率漂移或振动幅值波动带来的误差,系统稳定性好。本发明通过对谐振陀螺信号的有效控制,从而实现对谐振陀螺的全角度控制。

    仿水黾压电驱动式超微扑翼两栖机器人

    公开(公告)号:CN106114098B

    公开(公告)日:2019-12-13

    申请号:CN201610523470.5

    申请日:2016-07-05

    Abstract: 本发明提供了一种仿水黾压电驱动式超微扑翼两栖机器人,包括:两个翅膀、两个纵向骨架、两个横向面板、一个压电驱动器、两个包含被动铰链的翅膀固定件、一个压电驱动器固定件、四个高弹性腿部支撑件,其中:四个腿部支撑件与两个横向面板连接固定;两个翅膀分别通过一个翅膀固定件连接固定;压电驱动器沿中心轴线放置并通过压电驱动器固定件连接固定;两个横向面板分别和两个纵向骨架连接固定。本发明可以通过翅膀的拍打在空中飞行,也可以通过腿部支撑件的斥水特性在水面保持平衡,并通过翅膀的拍打在水面运动。本发明采用水黾式的仿生结构,其体积小,重量轻,稳定性好,可以在水面与空中可控地运动,具有两栖特性,能够适应不同的环境。

    一种对材料进行层压叠合和加热的装置

    公开(公告)号:CN106003979B

    公开(公告)日:2018-08-03

    申请号:CN201610327601.2

    申请日:2016-05-17

    Abstract: 本发明提供种对材料进行层压叠合和加热的装置,包括体化支架、千斤顶、固定板、软垫片、上压头、下压头、凹槽金属板、石英板、硅胶加热片,其中:体化支架的上下部分与左右部分为整体;千斤顶底部与体化支架下部紧密接触并固定在体化支架下部内侧面上;固定板套在千斤顶中间位置并固定在体化支架的左右部分;下压头固定于千斤顶顶部;软垫片设置在下压头与千斤顶顶部之间;上压头固定于凹槽金属板上;硅胶加热片设置于凹槽金属板的凹槽内;凹槽金属板固定于体化支架的上部内侧;石英板设置于凹槽金属板与体化支架之间。本发明实现对多层材料的层压叠合和加热,具有稳定性高、精度高、抗外界冲击力强、误差小等优越特性。

    面外电磁式半球形微陀螺仪及其制备方法

    公开(公告)号:CN105004334B

    公开(公告)日:2017-12-15

    申请号:CN201510290056.X

    申请日:2015-05-29

    Abstract: 本发明提供了一种面外电磁式半球形微陀螺仪及其制备方法,包括:设有半球形凹槽的单晶硅基底、微型半球形谐振子、中心固定支撑柱、均匀分布式平面线圈、均匀分布式永磁体、凹形支架,本发明采用面外驱动和检测方法,可实现面外力与面内位移之间的相互转换,便于检测垂直于基底方向的科氏效应;本发明采用电磁式驱动和检测方法,无需制作静电式所需的微小电容间隙,同时可避免寄生电容、静电吸附等问题;本发明采用平面线圈和永磁体的方式进行电磁驱动和电磁检测,便于制作和实现;本发明体积小,成本低,工艺简单,可实现批量化生产。

    一种微型半球非晶合金谐振器及其制备方法

    公开(公告)号:CN104390636B

    公开(公告)日:2017-08-01

    申请号:CN201410390492.X

    申请日:2014-08-08

    Abstract: 本发明提供了一种微型半球非晶合金谐振器及其制备方法,包括一个长方形基底,基底中心部分为一个圆柱形空腔,圆柱形腔正上方是一个半球谐振体,半球谐振体从下到上依次为:玻璃层、离散电极层、绝缘层和非晶合金层;半球谐振体的四周边缘平行地键合在基体的上表面,且半球谐振体的边缘有两层梯状以引出电极线本发明中所述半球谐振体的四周边缘键合在基底上有着很好的稳定性和抗冲击能力;所述半球谐振体含有非晶合金材料,具有优异的材料特性。本发明具有工艺步骤简洁,采用常用的成熟微机械加工方法,具有高度对称性,因而可以达到很高的性能。

    应用于微型机器人毫克级别的压电陶瓷驱动电路系统

    公开(公告)号:CN106411175A

    公开(公告)日:2017-02-15

    申请号:CN201610795492.7

    申请日:2016-08-31

    CPC classification number: H02N2/06 H02M3/156 H02M7/537

    Abstract: 本发明提供了一种应用于微型机器人毫克级别的压电陶瓷驱动电路系统,包括:直流升压转换模块,直流电压校准模块,开关放大器驱动模块,交流电压校准模块,以及控制模块;所述直流升压转换模块将输入端直流低压转换为所要求的直流高压;所述直流电压校准模块将采集到的直流高压进行校准;所述开关放大器驱动模块将直流高压电流转化为所要求的高压交流电信号;所述交流电压校准模块将在输出端采集到的高压交流电信号进行校准;所述控制模块用于直流电压校准和交流电压校准,控制内部时钟产生一定占空比的PWM波。本发明为应用于微型机器人的压电陶瓷提供了一种毫克级别的驱动电路,实现了对压电陶瓷振动形变的控制。

Patent Agency Ranking