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公开(公告)号：CN105004334B
公开(公告)日：2017-12-15
申请号：CN201510290056.X
申请日：2015-05-29
Applicant: 上海交通大学
IPC: G01C19/5691 , G01C25/00 , B81B7/00 , B81C1/00
Abstract: 本发明提供了一种面外电磁式半球形微陀螺仪及其制备方法，包括：设有半球形凹槽的单晶硅基底、微型半球形谐振子、中心固定支撑柱、均匀分布式平面线圈、均匀分布式永磁体、凹形支架，本发明采用面外驱动和检测方法，可实现面外力与面内位移之间的相互转换，便于检测垂直于基底方向的科氏效应；本发明采用电磁式驱动和检测方法，无需制作静电式所需的微小电容间隙，同时可避免寄生电容、静电吸附等问题；本发明采用平面线圈和永磁体的方式进行电磁驱动和电磁检测，便于制作和实现；本发明体积小，成本低，工艺简单，可实现批量化生产。
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公开(公告)号：CN103822621B
公开(公告)日：2017-10-31
申请号：CN201410058208.9
申请日：2014-02-20
Applicant: 上海交通大学
IPC: G01C19/5642
Abstract: 本发明提供了一种基于电磁参数激励驱动方式的固体波动陀螺，陀螺结构包括一个陀螺谐振体、四个U形梁和一个支撑柱，其中：四个U形梁互相相差90度分布，分别与陀螺谐振体外延相连接；支撑柱与陀螺谐振体在其中心部分相连，对整个结构起支撑作用。本发明结构简单、加工方便、小体积，为固体波动陀螺提供了一种可控且高带宽的驱动方式。
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公开(公告)号：CN104390636B
公开(公告)日：2017-08-01
申请号：CN201410390492.X
申请日：2014-08-08
Applicant: 上海交通大学
IPC: G01C19/56 , G01C19/5691
Abstract: 本发明提供了一种微型半球非晶合金谐振器及其制备方法，包括一个长方形基底，基底中心部分为一个圆柱形空腔，圆柱形腔正上方是一个半球谐振体，半球谐振体从下到上依次为：玻璃层、离散电极层、绝缘层和非晶合金层；半球谐振体的四周边缘平行地键合在基体的上表面，且半球谐振体的边缘有两层梯状以引出电极线本发明中所述半球谐振体的四周边缘键合在基底上有着很好的稳定性和抗冲击能力；所述半球谐振体含有非晶合金材料，具有优异的材料特性。本发明具有工艺步骤简洁，采用常用的成熟微机械加工方法，具有高度对称性，因而可以达到很高的性能。
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公开(公告)号：CN104165623B
公开(公告)日：2017-02-15
申请号：CN201410389616.2
申请日：2014-08-08
Applicant: 上海交通大学
IPC: G01C19/5691
Abstract: 本发明提供了一种内外双电极式微型半球谐振陀螺仪及其制备方法，包括：单晶硅基底、中心固定支撑柱、微型半球谐振子、外电极、外电极金属焊接板、玻璃基底、金属引线、圆形焊线盘、外电极金属连接柱内电极和种子层。本发明结合MEMS体硅加工工艺和表面硅加工工艺进行制作；本发明可提供不同的驱动、检测方式及不同的工作模式，可工作在需要复杂控制的系统中；本发明可利用内电极和外电极分别进行驱动和检测，减小驱动电极和检测电极之间的寄生电容，提高检测精度；本发明为内电极和外电极提供了金属引线及圆形焊线盘，便于信号施加和信号提取。
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公开(公告)号：CN103697873B
公开(公告)日：2016-11-23
申请号：CN201310686913.9
申请日：2013-12-13
Applicant: 上海交通大学
IPC: G01C19/5691
Abstract: 本发明提供了一种回柱形微机械固体波动模态匹配陀螺，包括一个顶端四角含正方体突出的回柱形谐振子、四个在回柱形谐振子顶端正方体突出上或其附近沿谐振子侧面分布的驱动电极、四个在回柱形谐振子顶端正方体突出上或其附近沿谐振子侧面分布的检测电极，四个驱动电极的空间位置与四个检测电极互相垂直。本发明利用回柱形谐振子的驱动模态和检测模态互相匹配进行工作；给回柱形谐振子上的两个驱动电极施加交流电压，由逆压电效应或电容感应效应产生回柱形谐振子在驱动模态振动；当存在输入角速度时，回柱形谐振子的振型向检测模态转变，利用检测电极处压电正效应或电容感应效应产生的敏感信号，经外围电路处理得到输入角速度信号。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103697875B
公开(公告)日：2016-11-16
申请号：CN201310686905.4
申请日：2013-12-13
Applicant: 上海交通大学
IPC: G01C19/5642 , G01C19/5656
Abstract: 本发明提供了一种管脚式压电固体波动模态匹配陀螺，包括一个顶面为正方形的长方体谐振子、一个当中镂空的回柱形框架、四根连接长方体谐振子和回柱形框架的细梁、两个对称分布于长方体谐振子顶面中央的驱动电极、四个对称分布于长方体谐振子顶面四角的检测电极、六个沿回柱形框架外延分布的管脚，其中：长方体谐振子处于回柱形框架镂空部分中央，靠四根细梁与回柱形框架连接；驱动电极和检测电极通过金属连接线经过细梁连接到管脚上。本发明具有结构简单、加工方便、小体积、具有高Q值等特点，且利于封装。
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公开(公告)号：CN103697909B
公开(公告)日：2016-06-01
申请号：CN201310686924.7
申请日：2013-12-13
Applicant: 上海交通大学
IPC: G01C25/00
Abstract: 本发明提供了一种导轨滑块型圆盘式微机械固体波动陀螺封装装置及方法，包括：一个矩形底座、两个直线导轨、两个滑块、两个顶部固定块、一个单独的支撑架、两个夹具以及若干螺钉，两个直线导轨固定在矩形底座上且相隔一定距离；两个滑块分别沿两个直线导轨自由滑动；两个滑块上分别固定有一个顶部固定块；两个顶部固定块相对位置分别固定一个夹具；支撑架设置于两个直线导轨中间，固定于矩形底座或取下，用于陀螺的固定。本发明用于圆盘式微机械固体波动陀螺的固定，装配简单，可实现对陀螺的高度对准，大大减小了对陀螺振动时的影响。经检验，使用该装置装配的陀螺在测试时能得到更加准确的信号输出。
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公开(公告)号：CN103712613B
公开(公告)日：2016-04-13
申请号：CN201310687294.5
申请日：2013-12-13
Applicant: 上海交通大学
IPC: G01C19/5783 , G01C25/00
Abstract: 本发明提供了一种燕尾槽滑动的圆盘式微机械固体波动陀螺封装装置及方法，包括：一个带有燕尾槽的底座，一个单独的支撑架，可滑动的第一、第二夹具以及若干螺钉；其中：底座的上方开凿有与第一夹具、第二夹具相配合的燕尾槽，第一夹具、第二夹具在燕尾槽内自由滑动，且第一夹具最终固定在底座上；支撑架可安装于底座或取下，用于待测试陀螺的固定，利用顶部的螺钉和底部的螺钉精确固定在待测试陀螺的中心位置；螺钉用于固定第一夹具、第二夹具、支撑架和待测试陀螺。本发明保证了待测试陀螺信号更精确的输出，且固定牢靠；便于加工，且加工精度能够达到预期要求；适用性广，适用于各种尺寸的圆盘式微机械固体波动陀螺。
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公开(公告)号：CN103344228B
公开(公告)日：2016-01-13
申请号：CN201310257428.X
申请日：2013-06-25
Applicant: 上海交通大学
IPC: G01C19/5698
Abstract: 本发明提供了一种摇动质量体声波固体波动微陀螺驱动与检测电路，包括嵌入式核心部分、外围电路部分、摇动质量体声波固体波动微陀螺部分和计算机显示部分，其中：嵌入式核心部分连接外围电路部分，再连接摇动质量体声波固体波动微陀螺部分，然后经过外围电路部分，再回到嵌入式核心部分；同时嵌入式核心部分与计算机显示部分直接连接并实时通信；对于陀螺的驱动与检测，主要在嵌入式核心部分完成，外围电路部分起辅助作用，从而控制陀螺并敏感陀螺输出。本发明能够为摇动质量体声波固体波动微陀螺提供稳定有效的驱动信号，时刻确保陀螺处于谐振状态，有效地实现了陀螺驱动检测的反馈机制，形成闭环系统，检测出陀螺信号。
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公开(公告)号：CN104897148A
公开(公告)日：2015-09-09
申请号：CN201510287989.3
申请日：2015-05-29
Applicant: 上海交通大学
IPC: G01C19/5733 , B81B3/00 , B81C1/00
CPC classification number: G01C19/5733 , B81B1/002 , B81B3/00 , B81C1/00 , B81C1/005
Abstract: 本发明提供了一种蜂窝状固体波动微机械陀螺仪及其制备方法，该陀螺仪包括基底；设置在所述基底上的蜂窝状谐振子；位于基底上连接谐振子、起支撑作用的支撑体；以及位于蜂窝状谐振子周围的驱动电极、检测电极、监测电极、平衡电极；其中：所述蜂窝状谐振子内部为蜂窝结构，蜂窝的结构单元横截面为正六角形，相邻两个单元共用一个壁，强度、刚度通过调整蜂窝芯的孔径、芯柱高度来调节。本发明有着结构简单、小体积、抗冲击、重量轻，具有高Q值等优点，并且成本较低，适合大批量制备。
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