一种底发射顶栅自对准薄膜晶体管的制备方法

    公开(公告)号:CN107808826A

    公开(公告)日:2018-03-16

    申请号:CN201711012469.7

    申请日:2017-10-26

    CPC classification number: H01L29/66742 H01L27/02 H01L29/786

    Abstract: 本发明涉及显示技术领域,公开一种底发射顶栅自对准薄膜晶体管的制备方法,包括在衬底基板上依次形成遮光层、覆盖遮光层的第一缓冲层以及沉积有源层,还包括:在有源层上沉积第一金属层,采用双色调掩膜版图案化有源层和第一金属层以通过一次构图工艺形成有源岛和金属缓冲层;在金属缓冲层上形成源漏电极;既无需对有源层进行导体化,又有效的减少了沟道区与源漏电极之间的寄生电阻,并未增加掩膜版个数,简化了器件的工艺过程,节省了生产成本,金属缓冲层遮光层配合以有效的隔绝光对沟道区和LDD区的影响,改善顶栅器件的光照稳定性,避免了显示时出现残像等问题,提高工艺制程的效率和产品良率。

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