减小齿槽效应的无轴系内转子永磁同步电动机

    公开(公告)号:CN103124124A

    公开(公告)日:2013-05-29

    申请号:CN201310093118.9

    申请日:2013-03-22

    Abstract: 减小齿槽效应的无轴系内转子永磁同步电动机,属于电机领域,本发明为解决现有具有齿槽结构的永磁同步电机存在的齿槽效应,进而导致电机性能降低的问题。本发明所述减小齿槽效应的无轴系内转子永磁同步电动机,它包括定子机壳、定子和转子,定子机壳设置的定子的外圆表面,定子设置在转子外部,定子和转子之间存在均匀气隙;定子包括定子轭、定子槽、定子绕组和槽楔,圆环形定子轭的内部沿圆周方向均匀设置多个定子槽,定子槽内嵌入定子绕组,定子槽的槽口与定子机壳之间设置槽楔,槽楔用于固定定子绕组;转子包括转子轭和多个转子磁极,转子轭固定的转子轴上,转子轭的外圆表面均匀设置多个转子磁极。

    外转子旋转型磁性流体行波泵

    公开(公告)号:CN101728928B

    公开(公告)日:2012-06-06

    申请号:CN200910310380.8

    申请日:2009-11-25

    Abstract: 外转子旋转型磁性流体行波泵,它涉及一种磁性流体行波泵。本发明解决了目前没有用于分析行波磁场对磁性流体运动规律的外转子旋转型磁性流体行波泵的问题。所述转子固套在永磁体上,所述永磁体由偶数个沿轴向充磁的永磁单体构成且相邻两个永磁单体的充磁方向相反,所述定子由两个隔磁板、导磁铁心和第二非导磁轴构成,所述磁铁心固装在第二非导磁轴上,所述盘管套装在导磁铁心上,导磁铁心的两侧端面上均设置有隔磁板,所述定子与盘管均设置在筒体内,所述盘管内充有磁性流体。本发明利用磁性流体动力学原理提供了一种外转子旋转型磁性流体行波泵,本发明可以验证磁性流体输运特性,从而开辟磁性流体应用的新领域。

    一种基于步进式运动机构的对外反力测量装置

    公开(公告)号:CN119666221A

    公开(公告)日:2025-03-21

    申请号:CN202411825798.3

    申请日:2024-12-12

    Abstract: 本发明提供了一种基于步进式运动机构的对外反力测量装置,涉及半导体制造装备技术领域,基于步进式运动机构的对外反力测量装置包括步进式运动机构、大理石平台和二维力传感器机构,步进式运动机构包括支撑框架、负载、Y向执行机构和X向执行机构,负载设置于Y向执行机构上,Y向执行机构设置于X向执行机构上,X向执行机构设置于支撑框架上,二维力传感器机构设置于支撑框架与大理石平台之间,大理石平台上均匀分布有多个第一气浮孔。本发明的基于步进式运动机构的对外反力测量装置,相比于现有技术,可以精准测量步进式运动机构工作过程中对基础框架的机械安装接口产生的反作用力,通过计算可以进一步保证步进式运动机构的运动及测量精度。

    一种光刻机掩模台隔振装置

    公开(公告)号:CN113867106B

    公开(公告)日:2023-05-05

    申请号:CN202111110725.2

    申请日:2021-09-22

    Abstract: 本发明涉及振动抑制领域,公开了一种光刻机掩模台隔振装置,该光刻机掩模台隔振装置包括:掩模台基座,投影物镜套筒,以及连接所述掩模台基座及所述投影物镜套筒的连接装置,其中连接装置为柔性支撑的装置,并且竖直放置的铰链摆放成菱形形状。本发明的有益效果为:通过柔性连接装置将掩模台基座与投影物镜套筒之间的连接形式从刚性连接转变为柔性连接,并且连接装置的四个支撑组件呈正方形布置,支撑平稳可靠,同时利用竖直放置的铰链使得连接装置在掩模台水平方向上具有低刚度甚至零刚度的特性,进而在掩模台水平方向上起到隔振效果。

    一种基于复合结构的准零刚度柔性导向结构

    公开(公告)号:CN114296322B

    公开(公告)日:2022-10-04

    申请号:CN202111648320.4

    申请日:2021-12-30

    Abstract: 一种基于复合结构的准零刚度柔性导向结构,它涉及精密仪器及机械技术领域。本发明解决了现有的柔性导向机构存在无法通过纯柔性机构实现大行程,高精度的导向功能,且无法克服长行程柔性机构产生大变形回弹力带来的控制问题。本发明的直线电机驱动模块的动子与运动部件连接,两组负刚度复合结构组件对称设置在运动部件两侧,负刚度复合结构组件一端与运动部件侧面中部垂直连接,负刚度复合结构组件另一端与一组负刚度簧片固定组件连接,每个中部固定基座与两个中间连接体之间分别连接有一组外层导向结构,每个系统固定结构与两个中间连接体之间均分别通过一组折叠簧片结构连接。本发明在大行程直线运动中满足高精度要求,为光刻机提供高精度直线导向。

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