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公开(公告)号：CN113917797B
公开(公告)日：2023-03-24
申请号：CN202111110625.X
申请日：2021-09-22
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明涉及光刻机技术领域，公开了一种基于六自由度控制的运动台及其控制方法，运动台包括基座、工作台和控制装置，工作台设置于基座的上方，工作台的下表面设置有多个凹槽，控制装置包括控制模块和安装在基座上的第一电机组、第二电机组、位置检测模块，第一电机组设置在工作台的侧面，用以驱动工作台在X方向、Y方向和Rz方向的运动，第二电机组和位置检测模块分别设置在所述凹槽中，第二电机组抵在工作台的底面，用以驱动工作台在Z方向、Rx方向和Ry方向的运动，位置检测模块检测工作台的实时位置；第一电机组、第二电机组、位置检测模块均与控制模块电连接。本发明可以实现对运动台运动的六自由度控制，从而提高对运动台的控制精度。
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公开(公告)号：CN113833756B
公开(公告)日：2022-05-13
申请号：CN202111110722.9
申请日：2021-09-22
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明涉及光刻机技术领域，公开了一种基于气磁联合调平的微动台支撑装置，包括承重板、外部框架、负压调节框架、负压调节板、磁悬浮导轨、连接结构、基座及直线编码器；外部框架设于基座上，连接结构设于外部框架上，连接结构用于支撑微动台；基座上设有与磁悬浮导轨相适配的金属导轨；直线编码器与所述磁悬浮导轨电连接。本发明使用气浮与磁悬浮结合的方式，通过控制外部框架底部负压腔体改善正压气膜各处厚度不均匀的情况，减少气膜振动误差；通过磁悬浮技术调节外部框架上板面与导轨间的悬浮间隙，在降低与导轨间运动摩擦的同时进一步微调支撑板姿态，并由编码器控制磁力线圈产生周期性变化的磁力，驱动支撑板实现高精度运动。
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公开(公告)号：CN113944691B
公开(公告)日：2022-04-29
申请号：CN202111110622.6
申请日：2021-09-22
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明涉及精密机械技术领域，公开了一种移动式气浮导向机构，包括：两个基座、导轨、第一悬浮装置和第二悬浮装置，两基座相互间隔并平行设置，且均由能够与磁铁配合吸附的金属材质制成，导轨与悬浮装置连接并架设于两基座上；第一悬浮装置设于导轨的左侧，第一悬浮装置的左侧设有第一气悬浮组件和第一磁矩阵，第一悬浮装置的底部设有第二气悬浮组件和第二磁矩阵；第二悬浮装置设于导轨的右侧，第二悬浮装置的底部设有第三气悬浮组件和第三磁矩阵。本发明通过设计底部及侧面的气悬浮组件和磁矩阵结构降低导向机构的运动摩擦，以解决现有精密运动导向机构中导轨质量过大，运动控制难度高且装配误差较大的问题，进一步提高导向机构的运动精度。
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公开(公告)号：CN113833756A
公开(公告)日：2021-12-24
申请号：CN202111110722.9
申请日：2021-09-22
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明涉及光刻机技术领域，公开了一种基于气磁联合调平的微动台支撑装置，包括承重板、外部框架、负压调节框架、负压调节板、磁悬浮导轨、连接结构、基座及直线编码器；外部框架设于基座上，连接结构设于外部框架上，连接结构用于支撑微动台；基座上设有与磁悬浮导轨相适配的金属导轨；直线编码器与所述磁悬浮导轨电连接。本发明使用气浮与磁悬浮结合的方式，通过控制外部框架底部负压腔体改善正压气膜各处厚度不均匀的情况，减少气膜振动误差；通过磁悬浮技术调节外部框架上板面与导轨间的悬浮间隙，在降低与导轨间运动摩擦的同时进一步微调支撑板姿态，并由编码器控制磁力线圈产生周期性变化的磁力，驱动支撑板实现高精度运动。
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公开(公告)号：CN113820924A
公开(公告)日：2021-12-21
申请号：CN202111110624.5
申请日：2021-09-22
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明提供了一种光刻机的微动平台，涉及微动台领域。光刻机的微动平台包括底座、驱动机构和运动座，运动座间隔设于底座上侧，驱动机构安装于底座和运动座之间；驱动机构包括至少三个周向间隔布置的驱动件，驱动件的驱动方向垂直于运动座的支撑平面，且驱动件的驱动端与运动座柔性连接；底座与运动座之间设有至少三个高度传感器和至少三个平面传感器，至少三个高度传感器和平面传感器分布于运动座的边角位置，高度传感器检测运动座的高度位移，平面传感器检测运动座的平面位移，且至少三个平面传感器的检测方向呈相交布置。本专利实现了运动座的Z向、RX向和RY向运动，提高了微动平台六自由度运动的控制精度，提高了微动平台的运动平稳性和精度。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN117249167B
公开(公告)日：2025-02-07
申请号：CN202311335569.9
申请日：2023-10-16
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明的一种气浮装置涉及气浮支承技术领域，目的是为了克服现有空气静压轴承的静、动态性能不足的问题，包括底座平台和气浮轴承；底座平台位于气浮轴承的气膜生成面处；气浮轴承包括滑动块体、多个第一节流器、第一高压气体管道和吸力调节装置；多个第一节流器固定于滑动块体内部，且多个第一节流器以气膜生成面的中心点为对称点呈中心对称设置；第一高压气体管道设于滑动块体内部；且第一高压气体管道的一端连通所有第一节流器的节流管道的进气端，另一端用于通入第一高压气体；多个第一节流器的压力腔均设于气膜生成面并连通滑动块体的外部；吸力调节装置设置于气浮轴承上，用于在气浮轴承与底座平台之间产生吸力。
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公开(公告)号：CN114216396B
公开(公告)日：2022-10-04
申请号：CN202111542273.5
申请日：2021-12-16
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种基于激光干涉仪的复眼单元运动误差测量装置，属于精密仪器以及精密测量技术领域，本发明为了解决现有技术中无法测量复眼单元在运动时的俯仰角和翻滚角误差，无法评估复眼单元工作时的运动精度与运动稳定性的问题，本发明提供的一种基于激光干涉仪的复眼单元运动误差测量装置包括基座、测量框架、复眼单元、第一干涉仪测量组和第二干涉仪测量组。本发明利用两组所述干涉仪实时测量复眼单元运动时待测点的位置信息，并与理论模型对比得出复眼单元的在两个自由度上的运动误差，从而为复眼单元运动的误差标定提供数据支撑，对评估复眼单元运动精度、环境相应与运动稳定性具有重要意义。
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公开(公告)号：CN113917795A
公开(公告)日：2022-01-11
申请号：CN202111110621.1
申请日：2021-09-22
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明涉及半导体加工技术领域，公开了一种微动台气浮支撑装置，包括基座、能够在基座上悬浮的气浮模块、以及位于气浮模块上的连接结构，气浮模块用于支撑连接结构，连接结构用于支撑微动台；气浮模块包括外部框架、调节框架及负压调节板；负压调节框架通过若干个调平螺栓与外部框架相连接；外部框架的外侧设有正压进气孔和负压进气孔，外部框架的下端设有正压排气孔集群；外部框架的中部设有负压腔体，负压腔体的上端设有通槽，负压调节板位于通槽处并与通槽之间密封，负压腔体的边缘还设有与负压排气腔连通的负压排气孔。本发明实施例通过负压调节板的水平姿态改变调整气膜厚度，进而调节气浮模块的水平姿态，提高微动台的水平姿态精度。
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公开(公告)号：CN119666221A
公开(公告)日：2025-03-21
申请号：CN202411825798.3
申请日：2024-12-12
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01L5/1627 , G01B11/02
Abstract: 本发明提供了一种基于步进式运动机构的对外反力测量装置，涉及半导体制造装备技术领域，基于步进式运动机构的对外反力测量装置包括步进式运动机构、大理石平台和二维力传感器机构，步进式运动机构包括支撑框架、负载、Y向执行机构和X向执行机构，负载设置于Y向执行机构上，Y向执行机构设置于X向执行机构上，X向执行机构设置于支撑框架上，二维力传感器机构设置于支撑框架与大理石平台之间，大理石平台上均匀分布有多个第一气浮孔。本发明的基于步进式运动机构的对外反力测量装置，相比于现有技术，可以精准测量步进式运动机构工作过程中对基础框架的机械安装接口产生的反作用力，通过计算可以进一步保证步进式运动机构的运动及测量精度。
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公开(公告)号：CN117260651A
公开(公告)日：2023-12-22
申请号：CN202311366006.6
申请日：2023-10-20
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种真空环境下多自由度气浮精密运动台及其工作方法，属于精密运动控制技术领域。承载台设置在支撑导套正上方，承载台与支撑导套之间通过三个音圈电机连接，所述运动导轨设置在支撑导套内且二者通过直线驱动电机连接，所述运动导轨与支撑导套之间设有气浮间隙，所述运动导轨运动方向两端均固定有固定板，所述运动导轨、支撑导套及两个固定板均设置在隔振平台上，所述运动导轨及两个固定板均与隔振平台固定连接，所述支撑导套的上端气浮板前后两侧均固定有多个电磁铁。本发明具有高精度、高速度、高稳定性和轻量化的优点，具有良好的减重集成效益和运动稳定性，可广泛应用于各种高精度运动平台和设备中。
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