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公开(公告)号：CN117249167B
公开(公告)日：2025-02-07
申请号：CN202311335569.9
申请日：2023-10-16
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明的一种气浮装置涉及气浮支承技术领域，目的是为了克服现有空气静压轴承的静、动态性能不足的问题，包括底座平台和气浮轴承；底座平台位于气浮轴承的气膜生成面处；气浮轴承包括滑动块体、多个第一节流器、第一高压气体管道和吸力调节装置；多个第一节流器固定于滑动块体内部，且多个第一节流器以气膜生成面的中心点为对称点呈中心对称设置；第一高压气体管道设于滑动块体内部；且第一高压气体管道的一端连通所有第一节流器的节流管道的进气端，另一端用于通入第一高压气体；多个第一节流器的压力腔均设于气膜生成面并连通滑动块体的外部；吸力调节装置设置于气浮轴承上，用于在气浮轴承与底座平台之间产生吸力。
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公开(公告)号：CN119644676A
公开(公告)日：2025-03-18
申请号：CN202411825797.9
申请日：2024-12-12
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明提供了一种抑制对外接口反作用力的步进式运动装置，涉及半导体制造装备技术领域，抑制对外接口反作用力的步进式运动装置包括负载、Y向执行机构、X向执行机构、Y向反作用力平衡机构、X向反作用力平衡机构、支撑框架和大理石平台，负载设置于Y向执行机构上，Y向执行机构设置于X向执行机构上，X向执行机构设置于支撑框架上，支撑框架设置于大理石平台上，Y向反作用力平衡机构和X向反作用力平衡机构均设置于支撑框架上。本发明的抑制对外接口反作用力的步进式运动装置，相比于现有技术，可以抑制步进式运动装置工作过程中对基础框架的机械安装接口产生的反作用力，保证步进式运动装置的运动及测量精度。
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公开(公告)号：CN117249165B
公开(公告)日：2025-02-07
申请号：CN202311335570.1
申请日：2023-10-16
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明提供一种磁气混合的主动式气浮支撑结构及支撑方法，属于气浮支撑技术领域。该支撑结构气膜厚度可灵活调整，支撑可靠，稳定性好。气浮轴承设置于平台上方，导磁体‑的位置与气浮轴承的位置上下相对应，导磁体‑安装在平台上，所述气膜主动调节单元布设在气浮轴承中，通过气膜主动调节单元控制气膜的厚度。本申请通过节流器结构的加入，主动补偿供气压力以及磁力结构的加入，有效地提升气浮轴承的动态及静态特性。
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公开(公告)号：CN118192220A
公开(公告)日：2024-06-14
申请号：CN202410062020.5
申请日：2024-01-16
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G05B13/04
Abstract: 一种PAM驱动的双节CM角位置跟踪控制系统及算法，属于CM角位置控制系统技术领域，为解决多输入多输出且非线性的CM角位置控制系统所具有的模型不确定性和神经网络、模糊逻辑系统、自适应技术和迭代学习等带来的算法计算负担、残差集无法预知等问题。设计一款结构简单的状态反馈控制器。该控制器通过将调节函数与误差变换技术相融合，使得设计的控制器无需使用自适应机制、神经网络或模糊逻辑系统以及迭代学习算法，且避免了对于跟踪误差初值的限制，不仅保证了预先设定的暂态与稳态跟踪性能，还确保了控制信号连续且无剧增现象。本发明设计的控制器可以有效实现PAM驱动的双节CM角位置跟踪控制。
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公开(公告)号：CN117993201A
公开(公告)日：2024-05-07
申请号：CN202410170978.6
申请日：2024-02-06
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G06F30/20 , G16C10/00 , G06F18/213 , G06F18/214
Abstract: 本发明公开了一种基于分子动力学和机器学习的材料微纳去除分析方法，所述方法通过纳米加工中材料去除过程的分子动力学数值模拟方法以及基于机器学习分析方法，建立不同参数加工模型的数据集，最后通过机器学习方法在拟合现有数据集的基础上进行预测，得到优化后的加工参数。本发明克服了现有材料纳米去除实验成本高、实验环境要求苛刻的问题，通过仿真技术对纳米加工过程进行模拟，提出了一套从程序设计到仿真结果分析及后处理的完整方法，对于提高材料表面加工质量，增强亚表面晶体结构稳定性、实现超精密加工均具有重要的指导意义。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN117601122B
公开(公告)日：2024-04-30
申请号：CN202311574619.9
申请日：2023-11-23
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明公开了一种气动人工肌肉位置跟踪控制系统及方法，所述跟踪控制系统包括轨迹生成器Cr、反馈控制器C、气动人工肌肉的模型P；所述轨迹生成器Cr生成气动人工肌肉的期望运动轨迹yd，气动人工肌肉的闭环系统根据气动人工肌肉的实际运动轨迹y减去气动人工肌肉的期望运动轨迹yd，得到气动人工肌肉的位置误差误差e，气动人工肌肉的位置误差信号e经过反馈控制器C得到控制信号u，控制信号u作用于气动人工肌肉的模型P，得到气动人工肌肉的实际运动轨迹y。本发明消除了在线设计控制器方法在对高阶系统设计过程中需对控制器参数进行复杂、繁琐的递归选取的限制。
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公开(公告)号：CN117283260B
公开(公告)日：2024-03-12
申请号：CN202311457252.2
申请日：2023-11-03
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: B23P19/00
Abstract: 本发明提供一种用于气浮导轨导向槽间隙调整的装配机构，属于精密加工设备技术领域。该机构具体应用时测量精准，令工件装配尺寸稳定标准，采用自动测量的方式，替代了人工测量的工作步骤，令测量更快速更精准。该机构的柔性调整模块基于三坐标测量机进行使用，柔性调整模块包括柔性基座、锁紧机构及定位机构，待装配模块通过定位机构调整定位，通过锁紧机构安装在柔性基座上，三坐标测量机用于测量待装配模块的两个装配块间距，通过调整两个装配块之间连接螺钉松紧，实现两个装配块间距的准确调整。本发明能够实现对U形导轨的高效、精准装配，能够解决当前手动调整螺钉和卡尺测量存在的费时费力和精度不足的问题。
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公开(公告)号：CN117283261A
公开(公告)日：2023-12-26
申请号：CN202311460333.8
申请日：2023-11-03
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: B23P19/00
Abstract: 一种气浮导轨气浮支撑结构精密装配装置及方法，属于超精密装配技术领域。装置是：导轨沿大底板的Y向固定在大底板上，测量尺固定架通过连接块与导轨滑动连接，测量尺套与固定架固定连接，测量尺沿大底板的X向滑动穿出测量尺套，调向台固定在大底板上，调向台与导轨平行设置，气浮导轨装配台通过旋转轴承与调向台连接，I形结构件平行于导轨设置并与气浮导轨装配台定位连接，L形结构件与I形结构件相平行设置并固定安装在气浮导轨装配台上，L形结构件与I形结构件之间的间隙与气浮导轨的气膜厚度相同。本发明的装置及方法便于L形结构件与I形结构件装配，装配过程省时省力，有效提高了装配效率与精度，能够满足超精密设备和装置的高要求。
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公开(公告)号：CN118331315B
公开(公告)日：2024-10-11
申请号：CN202410442423.2
申请日：2024-04-12
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G05D1/485 , G05D101/10
Abstract: 本发明公开了一种预设跟踪精度的潜航器容错输出约束控制系统及方法，所述控制系统包括期望轨迹输入、潜航器的闭环系统，所述潜航器的闭环系统包括反馈控制器、潜航器的模型；期望轨迹输入输入潜航器的期望运动轨迹，潜航器的闭环系统根据潜航器的实际运动轨迹减去潜航器的期望运动轨迹，得到潜航器的位置误差，位置误差经过反馈控制器得到系统输入，系统输入作用于潜航器的模型，得到潜航器的实际运动轨迹。本发明摆脱了对于辨识、逼近、估计、观测以及求导等环节的依赖，进而简化了控制器结构，同时可对潜航器的位置跟踪误差的超调量、收敛时间/速度以及稳态值进行预先设定，保证了控制信号连续且无剧增现象。
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公开(公告)号：CN118331315A
公开(公告)日：2024-07-12
申请号：CN202410442423.2
申请日：2024-04-12
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G05D1/485 , G05D101/10
Abstract: 本发明公开了一种预设跟踪精度的潜航器容错输出约束控制系统及方法，所述控制系统包括期望轨迹输入、潜航器的闭环系统，所述潜航器的闭环系统包括反馈控制器、潜航器的模型；期望轨迹输入输入潜航器的期望运动轨迹，潜航器的闭环系统根据潜航器的实际运动轨迹减去潜航器的期望运动轨迹，得到潜航器的位置误差，位置误差经过反馈控制器得到系统输入，系统输入作用于潜航器的模型，得到潜航器的实际运动轨迹。本发明摆脱了对于辨识、逼近、估计、观测以及求导等环节的依赖，进而简化了控制器结构，同时可对潜航器的位置跟踪误差的超调量、收敛时间/速度以及稳态值进行预先设定，保证了控制信号连续且无剧增现象。
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