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公开(公告)号：CN119644676A
公开(公告)日：2025-03-18
申请号：CN202411825797.9
申请日：2024-12-12
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明提供了一种抑制对外接口反作用力的步进式运动装置，涉及半导体制造装备技术领域，抑制对外接口反作用力的步进式运动装置包括负载、Y向执行机构、X向执行机构、Y向反作用力平衡机构、X向反作用力平衡机构、支撑框架和大理石平台，负载设置于Y向执行机构上，Y向执行机构设置于X向执行机构上，X向执行机构设置于支撑框架上，支撑框架设置于大理石平台上，Y向反作用力平衡机构和X向反作用力平衡机构均设置于支撑框架上。本发明的抑制对外接口反作用力的步进式运动装置，相比于现有技术，可以抑制步进式运动装置工作过程中对基础框架的机械安装接口产生的反作用力，保证步进式运动装置的运动及测量精度。
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公开(公告)号：CN113917798B
公开(公告)日：2022-10-14
申请号：CN202111110721.4
申请日：2021-09-22
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明的实施例提供了一种用于工作台Z轴方向宏动的运动装置，包括：工作台；四个校正模块，所述校正模块与所述工作台相连接，所述校正模块包括可发生柔性形变的柔性结构；以及四个驱动模块，所述驱动模块的顶部与所述校正模块一一对应连接，各所述驱动模块底部与宏动台相连接；其中，四个所述驱动模块的投影的连线构成四边形，各所述驱动模块驱动对应的所述校正模块沿Z轴方向移动；当任意两个所述驱动模块驱动对应的所述校正模块沿Z轴方向移动时，所述柔性结构发生柔性形变，实现所述工作台的位置调整。
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公开(公告)号：CN113917793A
公开(公告)日：2022-01-11
申请号：CN202111110518.7
申请日：2021-09-22
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明的实施例提供了一种支撑机构及光刻机，包括：底座；移动部件，其装设于所述底座的底部；气足，其装设于所述底座的底部，且其最低点高于所述移动部件的最低点，其上具有气孔，在通气时，在其底部形成支撑所述底座的气层；支撑部件，其安装于所述底座的底部，其具有第一状态和第二状态，当其处于第一状态时，其最低点低于所述移动部件的最低点以支撑所述底座；当其处于第二状态时，其最低点高于所述移动部件，以使得所述移动部件带动所述底座移动。
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公开(公告)号：CN120010113A
公开(公告)日：2025-05-16
申请号：CN202311523074.9
申请日：2023-11-14
IPC: G02B26/08
Abstract: 一种摆镜装置、光束调整阵列及精密光机系统，其中，该摆镜装置包括反射镜组件、定位组件、摆动组件和致动器，定位组件的一端与反射镜组件连接，使反射镜组件绕设定的转动中心旋转。摆动组件的一端与定位组件连接，摆动组件上设置有第一柔性部和第二柔性部。致动器与摆动组件上远离定位组件的一端连接，致动器能够带动摆动组件上远离定位组件的一端移动，以使第一柔性部绕第一轴线旋转，或者使第二柔性部绕第二轴线旋转，第一轴线与第二轴线相互交叉。本申请中，反射镜组件、定位组件、摆动组件和致动器依次连接，即各组成部分之间构成一种串联的结构，从而可以提升装置的集成度，减小空间占用，有利于在精密光机系统有限的空间中布置。
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公开(公告)号：CN114198389B
公开(公告)日：2022-07-05
申请号：CN202111351439.5
申请日：2021-11-15
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明提供了一种用于工件台微转动的柔性铰链组件，涉及铰链领域。该柔性铰链组件包括第一部件、第二部件和柔性铰链本体，柔性铰链本体包括层叠设置的第一铰链单体和第二铰链单体，第一铰链单体包括两个第一弧形段及第一X形连接段，两个第一弧形段相对间隔布置形成第一缺口；第二铰链单体包括两个第二弧形段及第二X形连接段，两个第二弧形段相对间隔布置形成第二缺口；第一缺口与第二缺口沿层叠方向连通构成缺口空间，第一部件连接于缺口空间一侧的弧形段上，第二部件连接于缺口空间另一侧的弧形段上；第一X形连接段的锐角朝向第一缺口，第二X形连接段的钝角朝向第二缺口。实现了Rz向的精密转动，适应性强，在重复工作条件下的稳定性好。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN114296322A
公开(公告)日：2022-04-08
申请号：CN202111648320.4
申请日：2021-12-30
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 一种基于复合结构的准零刚度柔性导向结构，它涉及精密仪器及机械技术领域。本发明解决了现有的柔性导向机构存在无法通过纯柔性机构实现大行程，高精度的导向功能，且无法克服长行程柔性机构产生大变形回弹力带来的控制问题。本发明的直线电机驱动模块的动子与运动部件连接，两组负刚度复合结构组件对称设置在运动部件两侧，负刚度复合结构组件一端与运动部件侧面中部垂直连接，负刚度复合结构组件另一端与一组负刚度簧片固定组件连接，每个中部固定基座与两个中间连接体之间分别连接有一组外层导向结构，每个系统固定结构与两个中间连接体之间均分别通过一组折叠簧片结构连接。本发明在大行程直线运动中满足高精度要求，为光刻机提供高精度直线导向。
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公开(公告)号：CN114216396A
公开(公告)日：2022-03-22
申请号：CN202111542273.5
申请日：2021-12-16
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种基于激光干涉仪的复眼单元运动误差测量装置，属于精密仪器以及精密测量技术领域，本发明为了解决现有技术中无法测量复眼单元在运动时的俯仰角和翻滚角误差，无法评估复眼单元工作时的运动精度与运动稳定性的问题，本发明提供的一种基于激光干涉仪的复眼单元运动误差测量装置包括基座、测量框架、复眼单元、第一干涉仪测量组和第二干涉仪测量组。本发明利用两组所述干涉仪实时测量复眼单元运动时待测点的位置信息，并与理论模型对比得出复眼单元的在两个自由度上的运动误差，从而为复眼单元运动的误差标定提供数据支撑，对评估复眼单元运动精度、环境相应与运动稳定性具有重要意义。
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公开(公告)号：CN114137804A
公开(公告)日：2022-03-04
申请号：CN202111542258.0
申请日：2021-12-16
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明提出了一种用于柔性照明器的多连杆耦合两轴驱动机构，属于属于精密仪器及机械技术领域。解决了现有多自由度驱动机构无法兼顾设备尺寸限制和调整范围，无法适用于光刻机设备的问题。它包括外壳、底座、第一连杆组、第二连杆组、连杆组悬架和球型铰链，所述底座设置在外壳内，所述球型铰链包括球头和球头座，所述球头与底座相连，所述球头座与球头铰接相连，所述球头座上端与光学元件相连，所述第一连杆组与底座相连，所述第二连杆组通过连杆组悬架在球头座上与第一连杆组耦合，第一连杆组和第二连杆组共同作用，实现驱动机构的多自由度输出。它主要用于柔性照明器的驱动。
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公开(公告)号：CN113848684B
公开(公告)日：2022-11-04
申请号：CN202111110724.8
申请日：2021-09-22
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明涉及振动抑制领域，公开了一种光刻机掩模台隔振装置，该光刻机掩模台隔振装置包括：掩模台基座，投影物镜套筒，以及连接所述掩模台基座及所述投影物镜套筒的连接装置，其中连接装置为柔性支撑的装置，并且竖直放置的柔性片摆放成等腰三角形形状。本发明的有益效果为：通过柔性连接装置将掩模台基座与投影物镜套筒之间的连接形式从刚性连接转变为柔性连接，并且连接装置的三个支撑组件呈等腰三角形布置，支撑平稳可靠，同时利用竖直放置的柔性片使得连接装置在掩模台水平方向上具有低刚度甚至零刚度的特性，进而在掩模台水平方向上起到隔振效果。
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公开(公告)号：CN114216396B
公开(公告)日：2022-10-04
申请号：CN202111542273.5
申请日：2021-12-16
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种基于激光干涉仪的复眼单元运动误差测量装置，属于精密仪器以及精密测量技术领域，本发明为了解决现有技术中无法测量复眼单元在运动时的俯仰角和翻滚角误差，无法评估复眼单元工作时的运动精度与运动稳定性的问题，本发明提供的一种基于激光干涉仪的复眼单元运动误差测量装置包括基座、测量框架、复眼单元、第一干涉仪测量组和第二干涉仪测量组。本发明利用两组所述干涉仪实时测量复眼单元运动时待测点的位置信息，并与理论模型对比得出复眼单元的在两个自由度上的运动误差，从而为复眼单元运动的误差标定提供数据支撑，对评估复眼单元运动精度、环境相应与运动稳定性具有重要意义。
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