公开(公告)号：CN114153126B

公开(公告)日：2022-10-04

申请号：CN202111541826.5

申请日：2021-12-16

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 吴剑威 ,  叶奕霄 ,  赵鹏越 ,  晏祯卓 ,  方锴

IPC: G03F7/20

Abstract: 本发明提出了一种基于轴承定心的微型镜面组驱动装置，属于半导体加工设备技术领域。解决了现有的镜面驱动结构尺寸较大，不能在避免运动干涉的问题。它包括底座、微型镜面驱动单元和反射镜，所述微型镜面驱动单元包括第一驱动部件、第二驱动部件、滑块部件、传动部件和定心部件，所述滑块部件设置在底座内部，所述第一驱动部件带动滑块部件沿x轴作线性运动，所述第二驱动部件带动滑块部件沿y轴作线性运动，所述传动部件上部与定心部件相连，所述定心部件通过固定架与底座相连，所述传动部件和定心部件将滑块部件的平面移动转化为反射镜围绕顶部镜面几何中心的旋转运动。它主要用于微型镜面组的驱动。

公开(公告)号：CN114153126A

公开(公告)日：2022-03-08

申请号：CN202111541826.5

申请日：2021-12-16

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 吴剑威 ,  叶奕霄 ,  赵鹏越 ,  晏祯卓 ,  方锴

IPC: G03F7/20

Abstract: 本发明提出了一种基于轴承定心的微型镜面组驱动装置，属于半导体加工设备技术领域。解决了现有的镜面驱动结构尺寸较大，不能在避免运动干涉的问题。它包括底座、微型镜面驱动单元和反射镜，所述微型镜面驱动单元包括第一驱动部件、第二驱动部件、滑块部件、传动部件和定心部件，所述滑块部件设置在底座内部，所述第一驱动部件带动滑块部件沿x轴作线性运动，所述第二驱动部件带动滑块部件沿y轴作线性运动，所述传动部件上部与定心部件相连，所述定心部件通过固定架与底座相连，所述传动部件和定心部件将滑块部件的平面移动转化为反射镜围绕顶部镜面几何中心的旋转运动。它主要用于微型镜面组的驱动。

公开(公告)号：CN114137804A

公开(公告)日：2022-03-04

申请号：CN202111542258.0

申请日：2021-12-16

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 赵鹏越 ,  晏祯卓 ,  方锴 ,  吴剑威 ,  郑健

IPC: G03F7/20

Abstract: 本发明提出了一种用于柔性照明器的多连杆耦合两轴驱动机构，属于属于精密仪器及机械技术领域。解决了现有多自由度驱动机构无法兼顾设备尺寸限制和调整范围，无法适用于光刻机设备的问题。它包括外壳、底座、第一连杆组、第二连杆组、连杆组悬架和球型铰链，所述底座设置在外壳内，所述球型铰链包括球头和球头座，所述球头与底座相连，所述球头座与球头铰接相连，所述球头座上端与光学元件相连，所述第一连杆组与底座相连，所述第二连杆组通过连杆组悬架在球头座上与第一连杆组耦合，第一连杆组和第二连杆组共同作用，实现驱动机构的多自由度输出。它主要用于柔性照明器的驱动。

公开(公告)号：CN114137804B

公开(公告)日：2022-10-04

申请号：CN202111542258.0

申请日：2021-12-16

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 赵鹏越 ,  晏祯卓 ,  方锴 ,  吴剑威 ,  郑健

IPC: G03F7/20

Abstract: 本发明提出了一种用于柔性照明器的多连杆耦合两轴驱动机构，属于属于精密仪器及机械技术领域。解决了现有多自由度驱动机构无法兼顾设备尺寸限制和调整范围，无法适用于光刻机设备的问题。它包括外壳、底座、第一连杆组、第二连杆组、连杆组悬架和球型铰链，所述底座设置在外壳内，所述球型铰链包括球头和球头座，所述球头与底座相连，所述球头座与球头铰接相连，所述球头座上端与光学元件相连，所述第一连杆组与底座相连，所述第二连杆组通过连杆组悬架在球头座上与第一连杆组耦合，第一连杆组和第二连杆组共同作用，实现驱动机构的多自由度输出。它主要用于柔性照明器的驱动。