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公开(公告)号：CN113917793A
公开(公告)日：2022-01-11
申请号：CN202111110518.7
申请日：2021-09-22
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明的实施例提供了一种支撑机构及光刻机，包括：底座；移动部件，其装设于所述底座的底部；气足，其装设于所述底座的底部，且其最低点高于所述移动部件的最低点，其上具有气孔，在通气时，在其底部形成支撑所述底座的气层；支撑部件，其安装于所述底座的底部，其具有第一状态和第二状态，当其处于第一状态时，其最低点低于所述移动部件的最低点以支撑所述底座；当其处于第二状态时，其最低点高于所述移动部件，以使得所述移动部件带动所述底座移动。
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公开(公告)号：CN114153127B
公开(公告)日：2022-10-04
申请号：CN202111541834.X
申请日：2021-12-16
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明提出了一种基于多自由度柔性铰链的微型镜面阵列驱动装置，属于精密仪器及机械技术领域。解决了兼顾运动精度、运动范围、热耗散、尺寸控制的问题。它包括多个驱动单元，多个驱动单元以阵列形式排布，每个驱动单元上端均与镜面相连，所述驱动单元包括外壳、致动器、第一柔性铰链、第二柔性铰链、传动杆和滑块，所述致动器固定在外壳的内部，所述致动器与滑块相连，所述第一柔性铰链的一端与滑块相连，另一端与传动杆相连，所述第二柔性铰链一端固定在外壳上，另一端与镜面相连，所述传动杆穿过第二柔性铰链后与镜面相连。它主要用于镜面的驱动。
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公开(公告)号：CN113917794B
公开(公告)日：2022-12-06
申请号：CN202111110520.4
申请日：2021-09-22
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明涉及精密仪器的技术领域，本发明的实施例提供了一种反射镜架及反射装置，包括：架本体，所述架本体用于与反射镜连接；三个安装件，所述安装件用于与光刻机计量基准部件连接；以及三个驱动装置，所有的所述驱动装置均与所述架本体连接，且三个所述驱动装置在横截面上的相互连线形成三角形，所述驱动装置与所述安装件一一对应连接，各所述驱动装置分别用于驱动对应的所述安装件，以使所述架本体的相应部位相对各所述安装件沿Z轴方向移动并实现所述反射镜的位姿调整。
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公开(公告)号：CN114153127A
公开(公告)日：2022-03-08
申请号：CN202111541834.X
申请日：2021-12-16
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明提出了一种基于多自由度柔性铰链的微型镜面阵列驱动装置，属于精密仪器及机械技术领域。解决了兼顾运动精度、运动范围、热耗散、尺寸控制的问题。它包括多个驱动单元，多个驱动单元以阵列形式排布，每个驱动单元上端均与镜面相连，所述驱动单元包括外壳、致动器、第一柔性铰链、第二柔性铰链、传动杆和滑块，所述致动器固定在外壳的内部，所述致动器与滑块相连，所述第一柔性铰链的一端与滑块相连，另一端与传动杆相连，所述第二柔性铰链一端固定在外壳上，另一端与镜面相连，所述传动杆穿过第二柔性铰链后与镜面相连。它主要用于镜面的驱动。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN114294322B
公开(公告)日：2022-10-04
申请号：CN202111651875.4
申请日：2021-12-30
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明提出了一种基于被动补偿结构的准零刚度柔性导向机构，属于精密仪器及机械技术领域。解决了现有柔性导向机构无法保证大行程恒力输出的问题。它包括间接驱动部件、直接驱动部件、二阶簧片组件、一阶簧片组件、被动折叠簧片组件、负刚度补偿簧片组件和直线电机驱动模块，直接驱动部件左右两侧端部分别通过两个一阶簧片组件与两个间接驱动部件相连，两个间接驱动部件的两端内侧分别通过两个二阶簧片组件与两个固定模块相连，一阶簧片组件内包括一阶簧片，二阶簧片组件内包括二阶簧片，两个间接驱动部件的两端外侧均设置有被动折叠簧片组件，被动折叠簧片组件通过折叠簧片固定组件固定。
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公开(公告)号：CN114153126B
公开(公告)日：2022-10-04
申请号：CN202111541826.5
申请日：2021-12-16
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明提出了一种基于轴承定心的微型镜面组驱动装置，属于半导体加工设备技术领域。解决了现有的镜面驱动结构尺寸较大，不能在避免运动干涉的问题。它包括底座、微型镜面驱动单元和反射镜，所述微型镜面驱动单元包括第一驱动部件、第二驱动部件、滑块部件、传动部件和定心部件，所述滑块部件设置在底座内部，所述第一驱动部件带动滑块部件沿x轴作线性运动，所述第二驱动部件带动滑块部件沿y轴作线性运动，所述传动部件上部与定心部件相连，所述定心部件通过固定架与底座相连，所述传动部件和定心部件将滑块部件的平面移动转化为反射镜围绕顶部镜面几何中心的旋转运动。它主要用于微型镜面组的驱动。
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公开(公告)号：CN114294322A
公开(公告)日：2022-04-08
申请号：CN202111651875.4
申请日：2021-12-30
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明提出了一种基于被动补偿结构的准零刚度柔性导向机构，属于精密仪器及机械技术领域。解决了现有柔性导向机构无法保证大行程恒力输出的问题。它包括间接驱动部件、直接驱动部件、二阶簧片组件、一阶簧片组件、被动折叠簧片组件、负刚度补偿簧片组件和直线电机驱动模块，直接驱动部件左右两侧端部分别通过两个一阶簧片组件与两个间接驱动部件相连，两个间接驱动部件的两端内侧分别通过两个二阶簧片组件与两个固定模块相连，一阶簧片组件内包括一阶簧片，二阶簧片组件内包括二阶簧片，两个间接驱动部件的两端外侧均设置有被动折叠簧片组件，被动折叠簧片组件通过折叠簧片固定组件固定。
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公开(公告)号：CN114153126A
公开(公告)日：2022-03-08
申请号：CN202111541826.5
申请日：2021-12-16
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明提出了一种基于轴承定心的微型镜面组驱动装置，属于半导体加工设备技术领域。解决了现有的镜面驱动结构尺寸较大，不能在避免运动干涉的问题。它包括底座、微型镜面驱动单元和反射镜，所述微型镜面驱动单元包括第一驱动部件、第二驱动部件、滑块部件、传动部件和定心部件，所述滑块部件设置在底座内部，所述第一驱动部件带动滑块部件沿x轴作线性运动，所述第二驱动部件带动滑块部件沿y轴作线性运动，所述传动部件上部与定心部件相连，所述定心部件通过固定架与底座相连，所述传动部件和定心部件将滑块部件的平面移动转化为反射镜围绕顶部镜面几何中心的旋转运动。它主要用于微型镜面组的驱动。
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公开(公告)号：CN113917794A
公开(公告)日：2022-01-11
申请号：CN202111110520.4
申请日：2021-09-22
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明涉及精密仪器的技术领域，本发明的实施例提供了一种反射镜架及反射装置，包括：架本体，所述架本体用于与反射镜连接；三个安装件，所述安装件用于与光刻机计量基准部件连接；以及三个驱动装置，所有的所述驱动装置均与所述架本体连接，且三个所述驱动装置在横截面上的相互连线形成三角形，所述驱动装置与所述安装件一一对应连接，各所述驱动装置分别用于驱动对应的所述安装件，以使所述架本体的相应部位相对各所述安装件沿Z轴方向移动并实现所述反射镜的位姿调整。
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