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公开(公告)号：CN113917791B
公开(公告)日：2022-07-12
申请号：CN202111109804.1
申请日：2021-09-22
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G03F7/20 , F16F15/02 , F16F15/023
Abstract: 本发明涉及光刻设备技术领域，公开了一种用于光刻机的隔振装置，其包括基座、隔振平台、悬挂部、第一隔振机构、第二隔振机构和控制器，控制器可控制第一隔振机构对外界环境传递到隔振平台的振动或隔振平台上其他部件产生的振动进行减振处理，使得隔振平台下的悬挂部受到的振动干扰最小化，为安装在悬挂部上的工件台提供稳定的外部工作环境，控制器可控制第二隔振机构对工件台自身产生的振动进行减振处理，从而维持内部工作环境的稳定，也即，第一隔振机构和第二隔振机构相配合，协同优化了悬挂部内部和外部的隔振效果，为光刻机工件台及整机提供了稳定的运作环境，提高了工件台的运动精度。
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公开(公告)号：CN113917791A
公开(公告)日：2022-01-11
申请号：CN202111109804.1
申请日：2021-09-22
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G03F7/20 , F16F15/02 , F16F15/023
Abstract: 本发明涉及光刻设备技术领域，公开了一种用于光刻机的隔振装置，其包括基座、隔振平台、悬挂部、第一隔振机构、第二隔振机构和控制器，控制器可控制第一隔振机构对外界环境传递到隔振平台的振动或隔振平台上其他部件产生的振动进行减振处理，使得隔振平台下的悬挂部受到的振动干扰最小化，为安装在悬挂部上的工件台提供稳定的外部工作环境，控制器可控制第二隔振机构对工件台自身产生的振动进行减振处理，从而维持内部工作环境的稳定，也即，第一隔振机构和第二隔振机构相配合，协同优化了悬挂部内部和外部的隔振效果，为光刻机工件台及整机提供了稳定的运作环境，提高了工件台的运动精度。
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公开(公告)号：CN114217509A
公开(公告)日：2022-03-22
申请号：CN202111542248.7
申请日：2021-12-16
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明提出了一种基于拉线式机构的机械复眼旋转驱动装置，属于精密仪器及机械技术领域。解决了现有机械复眼集成度低，难以对光路精准导向的问题。它包括机架、水平致动器、垂直致动器、张紧装置、球铰和光学元件，所述光学元件通过球铰与机架上端铰接相连，所述水平致动器设置在机架的底部中心位置，所述水平致动器与拉线相连，所述水平致动器带动拉线运动，所述拉线两侧分别穿过张紧装置后，拉线的两端与光学元件长度方向的两端相连，所述垂直致动器固定在机架的中部，所述垂直致动器两侧分别与两个拉杆相连，通过垂直致动器驱动两个拉杆运动，所述两个拉杆的上端与光学元件宽度方向的两侧相连。它主要用于机械复眼旋转驱动。
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公开(公告)号：CN114200782A
公开(公告)日：2022-03-18
申请号：CN202111542240.0
申请日：2021-12-16
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 一种柔性二维导向机构，包含二维线性运动平台，还包含外壳、驱动杆、输入端二维同位柔性铰链、直线解耦补偿结构和输出端二维同位柔性铰链；所述二维线性运动平台的固定部安装在所述外壳上，所述输入端二维同位柔性铰链下端安装在二维线性运动平台的活动平台上，输入端二维同位柔性铰链的中部插装有一根驱动杆，输出端二维同位柔性铰链布置在外壳的外部，其下端固定在外壳上，另一根驱动杆插装在输出端二维同位柔性铰链的中部，并伸入外壳内，直线解耦补偿结构连接在两根驱动杆之间，以补偿在运动过程中，两个二维同位柔性铰链旋转中心之间的相对距离变化。本发明占用空间小，运动精度高，并具有较高的可行性。
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公开(公告)号：CN113820924A
公开(公告)日：2021-12-21
申请号：CN202111110624.5
申请日：2021-09-22
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明提供了一种光刻机的微动平台，涉及微动台领域。光刻机的微动平台包括底座、驱动机构和运动座，运动座间隔设于底座上侧，驱动机构安装于底座和运动座之间；驱动机构包括至少三个周向间隔布置的驱动件，驱动件的驱动方向垂直于运动座的支撑平面，且驱动件的驱动端与运动座柔性连接；底座与运动座之间设有至少三个高度传感器和至少三个平面传感器，至少三个高度传感器和平面传感器分布于运动座的边角位置，高度传感器检测运动座的高度位移，平面传感器检测运动座的平面位移，且至少三个平面传感器的检测方向呈相交布置。本专利实现了运动座的Z向、RX向和RY向运动，提高了微动平台六自由度运动的控制精度，提高了微动平台的运动平稳性和精度。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN113867106A
公开(公告)日：2021-12-31
申请号：CN202111110725.2
申请日：2021-09-22
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明涉及振动抑制领域，公开了一种光刻机掩模台隔振装置，该光刻机掩模台隔振装置包括：掩模台基座，投影物镜套筒，以及连接所述掩模台基座及所述投影物镜套筒的连接装置，其中连接装置为柔性支撑的装置，并且竖直放置的铰链摆放成菱形形状。本发明的有益效果为：通过柔性连接装置将掩模台基座与投影物镜套筒之间的连接形式从刚性连接转变为柔性连接，并且连接装置的四个支撑组件呈正方形布置，支撑平稳可靠，同时利用竖直放置的铰链使得连接装置在掩模台水平方向上具有低刚度甚至零刚度的特性，进而在掩模台水平方向上起到隔振效果。
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公开(公告)号：CN113848684B
公开(公告)日：2022-11-04
申请号：CN202111110724.8
申请日：2021-09-22
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明涉及振动抑制领域，公开了一种光刻机掩模台隔振装置，该光刻机掩模台隔振装置包括：掩模台基座，投影物镜套筒，以及连接所述掩模台基座及所述投影物镜套筒的连接装置，其中连接装置为柔性支撑的装置，并且竖直放置的柔性片摆放成等腰三角形形状。本发明的有益效果为：通过柔性连接装置将掩模台基座与投影物镜套筒之间的连接形式从刚性连接转变为柔性连接，并且连接装置的三个支撑组件呈等腰三角形布置，支撑平稳可靠，同时利用竖直放置的柔性片使得连接装置在掩模台水平方向上具有低刚度甚至零刚度的特性，进而在掩模台水平方向上起到隔振效果。
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公开(公告)号：CN114200782B
公开(公告)日：2022-10-04
申请号：CN202111542240.0
申请日：2021-12-16
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 一种柔性二维导向机构，包含二维线性运动平台，还包含外壳、驱动杆、输入端二维同位柔性铰链、直线解耦补偿结构和输出端二维同位柔性铰链；所述二维线性运动平台的固定部安装在所述外壳上，所述输入端二维同位柔性铰链下端安装在二维线性运动平台的活动平台上，输入端二维同位柔性铰链的中部插装有一根驱动杆，输出端二维同位柔性铰链布置在外壳的外部，其下端固定在外壳上，另一根驱动杆插装在输出端二维同位柔性铰链的中部，并伸入外壳内，直线解耦补偿结构连接在两根驱动杆之间，以补偿在运动过程中，两个二维同位柔性铰链旋转中心之间的相对距离变化。本发明占用空间小，运动精度高，并具有较高的可行性。
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公开(公告)号：CN113848684A
公开(公告)日：2021-12-28
申请号：CN202111110724.8
申请日：2021-09-22
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明涉及振动抑制领域，公开了一种光刻机掩模台隔振装置，该光刻机掩模台隔振装置包括：掩模台基座，投影物镜套筒，以及连接所述掩模台基座及所述投影物镜套筒的连接装置，其中连接装置为柔性支撑的装置，并且竖直放置的柔性片摆放成等腰三角形形状。本发明的有益效果为：通过柔性连接装置将掩模台基座与投影物镜套筒之间的连接形式从刚性连接转变为柔性连接，并且连接装置的三个支撑组件呈等腰三角形布置，支撑平稳可靠，同时利用竖直放置的柔性片使得连接装置在掩模台水平方向上具有低刚度甚至零刚度的特性，进而在掩模台水平方向上起到隔振效果。
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公开(公告)号：CN113867106B
公开(公告)日：2023-05-05
申请号：CN202111110725.2
申请日：2021-09-22
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明涉及振动抑制领域，公开了一种光刻机掩模台隔振装置，该光刻机掩模台隔振装置包括：掩模台基座，投影物镜套筒，以及连接所述掩模台基座及所述投影物镜套筒的连接装置，其中连接装置为柔性支撑的装置，并且竖直放置的铰链摆放成菱形形状。本发明的有益效果为：通过柔性连接装置将掩模台基座与投影物镜套筒之间的连接形式从刚性连接转变为柔性连接，并且连接装置的四个支撑组件呈正方形布置，支撑平稳可靠，同时利用竖直放置的铰链使得连接装置在掩模台水平方向上具有低刚度甚至零刚度的特性，进而在掩模台水平方向上起到隔振效果。
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