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公开(公告)号：CN119644676A
公开(公告)日：2025-03-18
申请号：CN202411825797.9
申请日：2024-12-12
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明提供了一种抑制对外接口反作用力的步进式运动装置，涉及半导体制造装备技术领域，抑制对外接口反作用力的步进式运动装置包括负载、Y向执行机构、X向执行机构、Y向反作用力平衡机构、X向反作用力平衡机构、支撑框架和大理石平台，负载设置于Y向执行机构上，Y向执行机构设置于X向执行机构上，X向执行机构设置于支撑框架上，支撑框架设置于大理石平台上，Y向反作用力平衡机构和X向反作用力平衡机构均设置于支撑框架上。本发明的抑制对外接口反作用力的步进式运动装置，相比于现有技术，可以抑制步进式运动装置工作过程中对基础框架的机械安装接口产生的反作用力，保证步进式运动装置的运动及测量精度。
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公开(公告)号：CN118192220A
公开(公告)日：2024-06-14
申请号：CN202410062020.5
申请日：2024-01-16
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G05B13/04
Abstract: 一种PAM驱动的双节CM角位置跟踪控制系统及算法，属于CM角位置控制系统技术领域，为解决多输入多输出且非线性的CM角位置控制系统所具有的模型不确定性和神经网络、模糊逻辑系统、自适应技术和迭代学习等带来的算法计算负担、残差集无法预知等问题。设计一款结构简单的状态反馈控制器。该控制器通过将调节函数与误差变换技术相融合，使得设计的控制器无需使用自适应机制、神经网络或模糊逻辑系统以及迭代学习算法，且避免了对于跟踪误差初值的限制，不仅保证了预先设定的暂态与稳态跟踪性能，还确保了控制信号连续且无剧增现象。本发明设计的控制器可以有效实现PAM驱动的双节CM角位置跟踪控制。
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公开(公告)号：CN118884897A
公开(公告)日：2024-11-01
申请号：CN202410936557.X
申请日：2024-07-12
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G05B19/19
Abstract: 本发明公开了一种广义非对称S型曲线轨迹运动参数规划方法，所述方法如下：假设：T1＝T3，T5＝T7；在t0和t7时刻的速度和加速度均为零以获得启停运动，移动距离满足P(t0)＝0且P(t7)＝P，实际可达的峰值速度以速度界为界，加速阶段和减速阶段实际可达的峰值加速度以加速度界为界；推导广义非对称S曲线每一时间间隔内的描述，得到广义非对称S曲线的一般性质，简化广义非对称S曲线每一时间间隔内的描述，确定时间间隔，计算广义非对称S型曲线轨迹的各个运动参数。本发明解决了对目标受限空间内由运动引起的残余振动抑制问题。
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公开(公告)号：CN118842352A
公开(公告)日：2024-10-25
申请号：CN202410839519.2
申请日：2024-06-26
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: H02N2/06
Abstract: 一种基于EUPI的压电致动器迟滞补偿控制系统及方法，涉及压电致动器控制技术领域。期望轨迹输入减去预测轨迹得到压电致动器的预测偏差，预测偏差经过前馈逆模型补偿器的比例环节和积分环节得到控制信号u1(t)，控制信号u1(t)作用于EUPI迟滞模型更新预测轨迹，期望轨迹输入减去压电致动器的实际运动轨迹得到压电致动器的位置误差，位置误差经过反馈控制器得到控制信号u2(t)，u2(t)与u1(t)叠加得到u(t)作用于被控对象得到压电致动器的实际运动轨迹。通过EUPI迟滞模型对具有不对称的迟滞现象的描述，显著提高系统响应速度。
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公开(公告)号：CN118622856A
公开(公告)日：2024-09-10
申请号：CN202410910934.2
申请日：2024-07-09
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明提供了一种用于交叉滚柱导轨的密封结构，涉及交叉滚柱导轨技术领域，密封结构包括固定组件和移动座；固定组件上形成有朝一侧开口的安装槽，安装槽用于供交叉滚柱导轨安装；移动座穿设于安装槽的开口，移动座的一端用于与安装槽内的交叉滚柱导轨的动轨相连，移动座的上侧与安装槽的上槽壁形成有呈连续弯折设置的第一连通缝，第一连通缝的两端分别连通安装槽的内部和外部，移动座的下侧与安装槽的下槽壁形成有呈连续弯折设置的第二连通缝，第二连通缝的两端分别连通安装槽的内部和外部。本密封结构可提高导轨的使用可靠性，防止润滑介质由内向外挥发，避免了润滑介质的浪费，确保了润滑效果的持久性，同时可防止润滑介质挥发污染外部环境。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN114296323B
公开(公告)日：2022-11-22
申请号：CN202111651845.3
申请日：2021-12-30
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明提出了一种长行程准零刚度柔性导向机构，属于精密仪器及机械技术领域。解决了现有柔性导向机构无法保证大行程恒力输出的问题。它包括间接驱动部件、直接驱动部件、第一正刚度簧片组件、第二正刚度簧片组件、负刚度簧片组件和直线电机驱动模块，直接驱动部件左右两侧分别通过两个第一正刚度簧片组件与两个间接驱动部件相连，两个间接驱动部件前后两侧分别通过两个第二正刚度簧片组件与两个固定组件相连，第一正刚度簧片组件和第二正刚度簧片组件结构相同，直接驱动部件左右两侧均与负刚度簧片组件一端相连，两个负刚度簧片组件的另一端均连接有负刚度簧片固定组件，直线电机驱动模块与直接驱动部件相连。
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公开(公告)号：CN114296323A
公开(公告)日：2022-04-08
申请号：CN202111651845.3
申请日：2021-12-30
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明提出了一种长行程准零刚度柔性导向机构，属于精密仪器及机械技术领域。解决了现有柔性导向机构无法保证大行程恒力输出的问题。它包括间接驱动部件、直接驱动部件、第一正刚度簧片组件、第二正刚度簧片组件、负刚度簧片组件和直线电机驱动模块，直接驱动部件左右两侧分别通过两个第一正刚度簧片组件与两个间接驱动部件相连，两个间接驱动部件前后两侧分别通过两个第二正刚度簧片组件与两个固定组件相连，第一正刚度簧片组件和第二正刚度簧片组件结构相同，直接驱动部件左右两侧均与负刚度簧片组件一端相连，两个负刚度簧片组件的另一端均连接有负刚度簧片固定组件，直线电机驱动模块与直接驱动部件相连。
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公开(公告)号：CN114217509A
公开(公告)日：2022-03-22
申请号：CN202111542248.7
申请日：2021-12-16
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明提出了一种基于拉线式机构的机械复眼旋转驱动装置，属于精密仪器及机械技术领域。解决了现有机械复眼集成度低，难以对光路精准导向的问题。它包括机架、水平致动器、垂直致动器、张紧装置、球铰和光学元件，所述光学元件通过球铰与机架上端铰接相连，所述水平致动器设置在机架的底部中心位置，所述水平致动器与拉线相连，所述水平致动器带动拉线运动，所述拉线两侧分别穿过张紧装置后，拉线的两端与光学元件长度方向的两端相连，所述垂直致动器固定在机架的中部，所述垂直致动器两侧分别与两个拉杆相连，通过垂直致动器驱动两个拉杆运动，所述两个拉杆的上端与光学元件宽度方向的两侧相连。它主要用于机械复眼旋转驱动。
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公开(公告)号：CN114216396B
公开(公告)日：2022-10-04
申请号：CN202111542273.5
申请日：2021-12-16
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种基于激光干涉仪的复眼单元运动误差测量装置，属于精密仪器以及精密测量技术领域，本发明为了解决现有技术中无法测量复眼单元在运动时的俯仰角和翻滚角误差，无法评估复眼单元工作时的运动精度与运动稳定性的问题，本发明提供的一种基于激光干涉仪的复眼单元运动误差测量装置包括基座、测量框架、复眼单元、第一干涉仪测量组和第二干涉仪测量组。本发明利用两组所述干涉仪实时测量复眼单元运动时待测点的位置信息，并与理论模型对比得出复眼单元的在两个自由度上的运动误差，从而为复眼单元运动的误差标定提供数据支撑，对评估复眼单元运动精度、环境相应与运动稳定性具有重要意义。
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公开(公告)号：CN114198389A
公开(公告)日：2022-03-18
申请号：CN202111351439.5
申请日：2021-11-15
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明提供了一种用于工件台微转动的柔性铰链组件，涉及铰链领域。该柔性铰链组件包括第一部件、第二部件和柔性铰链本体，柔性铰链本体包括层叠设置的第一铰链单体和第二铰链单体，第一铰链单体包括两个第一弧形段及第一X形连接段，两个第一弧形段相对间隔布置形成第一缺口；第二铰链单体包括两个第二弧形段及第二X形连接段，两个第二弧形段相对间隔布置形成第二缺口；第一缺口与第二缺口沿层叠方向连通构成缺口空间，第一部件连接于缺口空间一侧的弧形段上，第二部件连接于缺口空间另一侧的弧形段上；第一X形连接段的锐角朝向第一缺口，第二X形连接段的钝角朝向第二缺口。实现了Rz向的精密转动，适应性强，在重复工作条件下的稳定性好。
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