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公开(公告)号：CN114198389B
公开(公告)日：2022-07-05
申请号：CN202111351439.5
申请日：2021-11-15
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明提供了一种用于工件台微转动的柔性铰链组件，涉及铰链领域。该柔性铰链组件包括第一部件、第二部件和柔性铰链本体，柔性铰链本体包括层叠设置的第一铰链单体和第二铰链单体，第一铰链单体包括两个第一弧形段及第一X形连接段，两个第一弧形段相对间隔布置形成第一缺口；第二铰链单体包括两个第二弧形段及第二X形连接段，两个第二弧形段相对间隔布置形成第二缺口；第一缺口与第二缺口沿层叠方向连通构成缺口空间，第一部件连接于缺口空间一侧的弧形段上，第二部件连接于缺口空间另一侧的弧形段上；第一X形连接段的锐角朝向第一缺口，第二X形连接段的钝角朝向第二缺口。实现了Rz向的精密转动，适应性强，在重复工作条件下的稳定性好。
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公开(公告)号：CN114198389A
公开(公告)日：2022-03-18
申请号：CN202111351439.5
申请日：2021-11-15
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明提供了一种用于工件台微转动的柔性铰链组件，涉及铰链领域。该柔性铰链组件包括第一部件、第二部件和柔性铰链本体，柔性铰链本体包括层叠设置的第一铰链单体和第二铰链单体，第一铰链单体包括两个第一弧形段及第一X形连接段，两个第一弧形段相对间隔布置形成第一缺口；第二铰链单体包括两个第二弧形段及第二X形连接段，两个第二弧形段相对间隔布置形成第二缺口；第一缺口与第二缺口沿层叠方向连通构成缺口空间，第一部件连接于缺口空间一侧的弧形段上，第二部件连接于缺口空间另一侧的弧形段上；第一X形连接段的锐角朝向第一缺口，第二X形连接段的钝角朝向第二缺口。实现了Rz向的精密转动，适应性强，在重复工作条件下的稳定性好。
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公开(公告)号：CN112987504B
公开(公告)日：2023-10-20
申请号：CN202110154693.X
申请日：2021-02-04
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明公开了焦点校准系统及基于光束扫描角度调制的焦点校准方法，属于光学技术领域。本发明提出了一个理论模型，该模型描述了聚焦校准信号的振幅，该信号是在基准光栅后面使用相敏检测测量的，作为对准光栅标记z位置的函数。本发明的焦点校准系统及基于光束扫描角度调制的焦点校准方法，该方法的优点是可以通过对准测量系统自身测量性能对光栅标记z向位置进行精确确定，改变了以往需要通过光刻系统其他传感器进行z方向校准的情况。该方法对于对准测量系统焦点校准精度较高，可以达到亚纳米级别，并给出了算法支持，使得调节更加精准。
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公开(公告)号：CN112987504A
公开(公告)日：2021-06-18
申请号：CN202110154693.X
申请日：2021-02-04
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明公开了焦点校准系统及基于光束扫描角度调制的焦点校准方法，属于光学技术领域。本发明提出了一个理论模型，该模型描述了聚焦校准信号的振幅，该信号是在基准光栅后面使用相敏检测测量的，作为对准光栅标记z位置的函数。本发明的焦点校准系统及基于光束扫描角度调制的焦点校准方法，该方法的优点是可以通过对准测量系统自身测量性能对光栅标记z向位置进行精确确定，改变了以往需要通过光刻系统其他传感器进行z方向校准的情况。该方法对于对准测量系统焦点校准精度较高，可以达到亚纳米级别，并给出了算法支持，使得调节更加精准。
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