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公开(公告)号:CN105762247A
公开(公告)日:2016-07-13
申请号:CN201610117133.6
申请日:2016-03-02
Applicant: 厦门乾照光电股份有限公司
CPC classification number: H01L21/02505 , H01L21/02458 , H01L21/0251 , H01L21/02538 , H01L21/0254 , H01L21/0262 , H01L33/12 , H01L33/007
Abstract: 本发明公开一种具有复合结构的氮化物缓冲层制作方法:一,在衬底上制作AlN缓冲层;二,在AlN缓冲层上依次生长多组复合结构缓冲层,每组复合结构缓冲层中的AlN层和GaN层都使用脉冲法生长,并且生长AlN层时TMAl和NH3的脉冲周期都比生长上一个AlN层时的TMAl和NH3的脉冲周期递减1个,而生长GaN层时TMGa和NH3的脉冲周期都比生长上一个GaN层时的TMGa和NH3的脉冲周期递增1个,直至生长最后一组复合结构缓冲层中的AlN层时,TMAl和NH3的脉冲周期减小为0。本发明可以避免在GaN外延层中产生失配位错,从而提高器件的性能和寿命,同时能够精确控制外延层的厚度,提高原子的表面迁移率。
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公开(公告)号:CN105720153A
公开(公告)日:2016-06-29
申请号:CN201610219667.X
申请日:2016-04-11
Applicant: 厦门乾照光电股份有限公司
Abstract: 本发明公开一种提高背光源亮度的衬底,在衬底表面设置多个凸起的立体图案,在多个凸起的立体图案之间的衬底表面上设置凹陷的立体图案,从而在衬底表面设置多个凹陷的立体图案。本发明可以获得更好的单向性光源,且有效提高发光效率。
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公开(公告)号:CN105355768A
公开(公告)日:2016-02-24
申请号:CN201510912084.0
申请日:2015-12-11
Applicant: 厦门乾照光电股份有限公司
CPC classification number: H01L33/642 , H01L33/005 , H01L33/44 , H01L33/52
Abstract: 一种具有高发光效率的发光二极管,涉及发光二极管的生产技术领域,在朝向缓冲层的衬底表面设置形貌不同的PSS表面图形,在p电极下方设置位错阻挡层,所述位错阻挡层设置在p电极设置区域内的ITO透明导电层以下至部分n型导电层;在位错阻挡层下方设置位错线密集区,所述位错线密集区设置在p电极设置区域内的部分n型导电层以下至非故意掺杂层。本发明在位错阻挡层下设置位错集合区,减少发光区域的位错密度,改善了发光区域的外延晶体质量,减弱大工作电流下Efficiency-Droop效应及提高了发光二极管的可靠性;采用位错阻挡层起到了增加P电极的电流扩展效果,有效提高发光二极管的发光效率。
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公开(公告)号:CN105355732A
公开(公告)日:2016-02-24
申请号:CN201510912092.5
申请日:2015-12-11
Applicant: 厦门乾照光电股份有限公司
CPC classification number: H01L33/005 , H01L33/22 , H01L33/36 , H01L33/38
Abstract: 一种倒装蓝绿发光二极管芯片的制备方法,涉及发光二极管的生产技术领域,本发明工艺特点是:在制作第一型欧姆接触层时,采用不同三五族化合物外延生长形成至少两层第一型欧姆接触结构层;对各第一型欧姆接触结构层依次刻蚀,裸露出具有台阶状的第一型欧姆接触结构层;在步骤5)中第一电极分别与各第一型欧姆接触结构层连接。本发明通过在外延生长结构,设置不同材料的第一型欧姆接触层,通过芯片结构设置台阶式第一型欧姆接触面,形成有效地电流扩展趋势,增强了第一型电流扩展效果,降低了工作电压,有效提高发光二极管的发光效率。
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公开(公告)号:CN105355728A
公开(公告)日:2016-02-24
申请号:CN201510774057.1
申请日:2015-11-13
Applicant: 厦门乾照光电股份有限公司
CPC classification number: H01L33/007 , H01L33/12
Abstract: 一种发光表面有周期性图案的高光效倒装LED的制作方法,涉及LED生产技术领域,本发明通过在硅衬底上蒸镀AlN,然后刻蚀出图形,再在图形上生长氮化物材料,最终做成倒装的LED器件且剥离掉硅衬底,使背发射LED芯片达到了提高出光效率的效果。
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公开(公告)号:CN105206729A
公开(公告)日:2015-12-30
申请号:CN201510717801.4
申请日:2015-10-30
Applicant: 厦门乾照光电股份有限公司
Abstract: 一种提升取光效率的GaN-LED芯片,涉及LED芯片的生产技术领域,包括设置在外延片上的芯片区域和切割道区域,其特征在于在所述切割道区域设置点阵排列的若干锥形台,各锥形台的底部连接在外延片的N-GaN层上,各锥形台具有能够将外延片的多量子阱层发出的侧向光反射至芯片正面的侧面。本发明通过在LED芯片切割道设计的锥形台,增加LED芯片侧出光的反射渠道,以此来增加LED芯片取光效率,使正向光的出光量增加,从而提升LED芯片亮度。本发明芯片区域的设计适用于现有的正装、倒装或垂直结构等。
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公开(公告)号:CN105161590A
公开(公告)日:2015-12-16
申请号:CN201510627550.0
申请日:2015-09-28
Applicant: 厦门乾照光电股份有限公司
IPC: H01L33/32
CPC classification number: H01L33/32
Abstract: 本发明公开一种氮化物系发光二极管,包括一衬底,在所述衬底上依次设置有非掺层u-GaN、n型导电层n-GaN、有源区和限制层P-AlGaN,在所述限制层P-AlGaN上设置有V型坑蚀刻层,在所述V型坑蚀刻层上设置有V型坑成核层,在所述V型坑成核层上设置有V型坑三维快速层,在所述V型坑三维快速层上设置有V型坑二维快速层,在所述V型坑二维快速层上依次设置有P型导电层、P型接触层和ITO导电层。本发明增加P型区域空穴注入有源区的数量,提高内量子效率;减少V型坑形成漏电通道,提高发光二极管的可靠性,能够提高蓝绿光芯片的内量子效率。
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公开(公告)号:CN104752452A
公开(公告)日:2015-07-01
申请号:CN201510122849.0
申请日:2015-03-20
Applicant: 厦门乾照光电股份有限公司
Abstract: 本发明公开一种具有立体发光结构的高压发光二极管制作方法,由该方法制作的高压发光二极管,由至少两层相互错开键合的子级发光二级管组成,其中一层设置n+1个子级发光二极管为底层,底层各子级发光二极管处于同一平面,另一层设置n个子级发光二极管为顶层,顶层各子级发光二极管处于同一平面,底层与顶层相邻的子级发光二极管设置于两个不同水平面上;各子级发光二级管具有独立发光结构,各子级发光二级管串联连接。本发明将各子级发光二极管串联连接,构成立体的至少双层发光结构,明显地增加单位面积发光的功率,且使得同样电压的高压芯片模块的面积缩小近一倍,有效地降低高压芯片模块的封装成本。
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公开(公告)号:CN104393136A
公开(公告)日:2015-03-04
申请号:CN201410599879.6
申请日:2014-10-31
Applicant: 厦门乾照光电股份有限公司
CPC classification number: H01L33/06 , H01L33/007 , H01L33/22 , H01L33/32
Abstract: 本发明公开一种提高发光效率的GaN基LED外延片制备方法,包括以下步骤:在衬底上依次生长缓冲层、非故意掺杂层、第一N型掺杂层、第二N型掺杂层、InGaN/GaN多量子阱有源层、电子阻挡层、P型掺杂层及接触层;生长完第一N型掺杂层之后,关闭有机源,减小或者停止NH3通入反应室,在H2或者N2氛围下停顿生长10-200s,获得表面粗糙的第一N型掺杂层。本发明可以同时提高LED内量子效率与外量子效率,且制备方法简单,制备成本较低。
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公开(公告)号:CN104332537A
公开(公告)日:2015-02-04
申请号:CN201410551529.2
申请日:2014-10-17
Applicant: 厦门乾照光电股份有限公司
CPC classification number: H01L33/04 , H01L33/12 , H01L33/285
Abstract: 本发明公开一种高浓度Te掺杂的发光二极管外延结构,在衬底上分别形成缓冲层、腐蚀阻挡层、粗化层、第一型电流扩展层、第一型限制层、有源层、第二型限制层及第二型电流扩展层;有源层一侧设置第一型电流扩展层,另一侧设置第二型电流扩展层;有源层与第一型电流扩展层设置第一型限制层,而有源层与第二型电流扩展层设置第二型限制层;第一型电流扩展层设置为n层结构,各层结构之间设置超晶格,且第一型电流扩展层掺杂Te。本发明可以减少杂质对短波长光的吸收,有效提高发光二极管的发光效率。
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