公开(公告)号：CN100343682C

公开(公告)日：2007-10-17

申请号：CN02816283.8

申请日：2002-08-27

Applicant: OHT株式会社

Inventor： 藤井达久 ,  门田和浩 ,  笠井干也 ,  石冈圣悟 ,  山冈秀嗣

IPC: G01R31/02 ,  G01R31/302

CPC classification number: G01R31/312

Abstract: 本发明提供一种可精密检查导体图案形状的检查装置用传感器及使用该传感器的检查装置。传感元件12a包含MOSFET，配置铝电极(AL)，作为无源元件80。作为无源元件80的铝电极80连接于MOSFET81的栅极及MOSFET82的源极上。另外，从电源电路部18向MOSFET81的漏极施加电压VDD，将MOSFET81的源极连接于MOSFET83的漏极上。向MOSFET82的栅极输入来自纵向选择部14的复位信号，从电源电路部18向MOSFET82的漏极施加电压VDD。从纵向选择部14向MOSFET83的栅极输入选择信号，向横向选择部13输入来自MOSFET83的源极的输出。

公开(公告)号：CN1292260C

公开(公告)日：2006-12-27

申请号：CN01801478.X

申请日：2001-06-13

Applicant: OHT株式会社

Inventor： 石冈圣悟 ,  山冈秀嗣

IPC: G01R31/02 ,  G01R31/28 ,  H01L21/66 ,  H05K3/00

CPC classification number: G01R31/312 ,  G01R31/2805 ,  G01R31/2812 ,  G01R31/304 ,  H01L22/12 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/00

Abstract: 本发明提供一种在将检查信号供给到电路配线时，不需要与该电路配线接触的端子，而连无法以肉眼辨识的微细缺陷也会检测出的检查装置及检查方法。用来检查电路基板100的电路配线的检查装置A，是由：配置在电路基板100的其中一面而被供给检查信号的导电构件1、将检查信号供给到导电构件1的信号源2、具有面向导电构件1而被配置在电路基板100另一面的多个单元3a的感测单元3、以及通过将检查信号供给到导电构件1，而取得在各单元3a所出现信号的计算机5所构成。

公开(公告)号：CN1263996C

公开(公告)日：2006-07-12

申请号：CN02810544.3

申请日：2002-05-23

Applicant: OHT株式会社

Inventor： 山冈秀嗣 ,  石冈圣悟

IPC: G01B7/00 ,  G01R31/02

CPC classification number: G01B7/003

Abstract: 本发明提供用非接触的简单的结构，可准确地检测出基板位置偏差的基板位置偏差检测装置和基板位置偏差检测方法。通过向基板表面配设的导电图形供电的供电部(3)，向基板(20)表面的导电图形(25)提供交流信号，让基板(20)沿箭头A方向移动，从基板位置偏差传感器(1)、(2)的交流信号的检测信号的输出电平正好在中间电平时的时间差和基板输送速度，检测出基板的位置偏差程度。

公开(公告)号：CN1751220A

公开(公告)日：2006-03-22

申请号：CN200480004426.9

申请日：2004-02-27

Applicant: OHT株式会社

Inventor： 山冈秀嗣 ,  涂冈明 ,  林美志夫 ,  石冈圣悟

IPC: G01B7/00

CPC classification number: G01B7/287

Abstract: 本发明的导体位置检查装置，是在检查对象为导体的情况时，可在非接触情况下，较高精度地检测出检查对象等到底在哪一位置。从供电部(5 10)对施加有交流信号的导电体(520)提供交流检查信号，在导电体(520)附近大致平行配设2片感测板(570、580)，将各个感测板所产生的检测信号，利用减法器(550)进行减计，并利用除法器(560)将其中一感测板所产生的检测值除以减计结果，而将其中一感测板所产生检测值予以规格化，并检测出由二感测板所产生相对检测信号值比率，将感测板与导电体(520)间的距离所对应的检测结果当作X而获得。

公开(公告)号：CN1720457A

公开(公告)日：2006-01-11

申请号：CN200380104616.3

申请日：2003-11-28

Applicant: OHT株式会社

Inventor： 山冈秀嗣 ,  羽森宽 ,  石冈圣悟

IPC: G01R31/02

CPC classification number: G01R31/2808

Abstract: 本发明的目的在于，提供可确实且容易检测电路基板的不良的电路检查装置。作为解决问题的手段，本发明是在至少端部被配设为行状且基部相互连接的两组梳齿状导电图案的一端(15a)供给交流检查信号，并将另一端(15b)接地，检查以相互的行状导电图案部变得互异的方式配设而成的电路基板(10)的导电性图案的状态的电路图案检查装置，其特征在于：具备两个检测机构(20、30)，具有检测来自上述梳齿状导电图案(15a、15b)的信号的检测电极；并在与相互相同的上述行状导电图案成为电容耦合状态进行定位的状态，以横过行状导电图案的方式而利用标量机器人(80)使检测机构(20、30)移动，以上述两检测机构(20、30)的检测电位为基础可辨识行状图案部是否完好。

公开(公告)号：CN1216295C

公开(公告)日：2005-08-24

申请号：CN01800308.7

申请日：2001-03-23

Applicant: OHT株式会社

Inventor： 藤井达久 ,  石冈圣悟 ,  山冈秀嗣

IPC: G01R31/02 ,  H05K3/00

CPC classification number: G01R31/302 ,  G01R31/304 ,  G01R31/312

Abstract: 本发明提供了一种可以借助直感获得回路配线检测结果的检测装置和检测方法。检测系统20，具有配置着多个传感元件的传感器芯片1，电子计算机21，向回路配线101供给检测信号的电极触头22，对供给至电极触头22处的检测信号实施切换的选择部件23。电子计算机21可以对由传感器芯片1给出的检测信号实施接收，生成图象数据，进而可以将作为检测对象的回路配线图象显示在显示部件21a上。采用这种构成形式，便可以对特定回路配线的形状实施分析，并且可以依据所生成的图象数据和表示设计上的回路配线的图象数据，对回路配线101中出现的断线、短路、脱落等等故障实施检测。

公开(公告)号：CN1175274C

公开(公告)日：2004-11-10

申请号：CN01800076.2

申请日：2001-02-16

Applicant: OHT株式会社

Inventor： 石冈圣悟 ,  藤井达久

IPC: G01R31/02 ,  G01R31/04 ,  G01R31/316

CPC classification number: G01R1/0433 ,  G01R1/0483 ,  G01R31/2886

Abstract: 本发明提供了一种可以使检测用芯片相对于作为检测对象的导电图形实施适当配置的检测装置。这种检测装置中的检测用芯片1上的电极连接部1b，与壳体2上的引线2a相连接，而且在两者上均设置有突起电极3和4，这种检测装置还设有覆盖着突起电极3和4的各向异性导电部件5，跨接在突起电极3和4之间的、位于各向异性导电部件5上的导电薄膜6，通过对各向异性导电部件5实施热压接，而使导电薄膜6与突起电极3和4间实现电气导通的方式，这种检测装置可以将检测用芯片1的表面设置的比较薄。

公开(公告)号：CN112352164B

公开(公告)日：2023-08-18

申请号：CN201980043486.8

申请日：2019-08-08

Applicant: 国立大学法人东北大学 ,  OHT株式会社

Inventor： 须川成利 ,  黑田理人 ,  后藤哲也 ,  羽森宽 ,  村上真一 ,  安田俊朗

IPC: G01R29/24 ,  G01R27/26 ,  G01R31/52 ,  G01R31/54 ,  H05K3/00

Abstract: 电容检测区域传感器将多个电容传感器元件配置成二维阵列状，呈任意的形状，并与外部电极电容耦合。向外部电极供电具有电位差的检查信号。针对所选择的与外部电极电容耦合的电容传感器元件，在上述检查信号的第一信号时和第二信号时的定时从上述电容传感器元件获取第一传感器输出信号、第二传感器输出信号。生成将所获取到的第一传感器输出信号、第二传感器输出信号取差分而得的差分信号，并基于差分信号的电平来生成以不同的颜色或者不同的灰度表示外部电极的形状的图像。

公开(公告)号：CN104898010B

公开(公告)日：2017-10-13

申请号：CN201510161578.X

申请日：2015-03-03

Applicant: OHT株式会社

Inventor： 目崎正胜 ,  片桐英树

IPC: G01R31/02

Abstract: 提供一种能够有效地进行多个印刷电路板单片的拍摄和检查的接触型电路图案检查装置和方法。用于检查包括多个印刷电路板单片的印刷电路板的接触型电路图案检查装置，其包括设置有照相机单元和检查部的探针单元。每个单片上具有位置对准特征点，照相机单元拍摄位置对准特征点，检查部与单片接触以检查单片的导电图案。该装置进一步地包括：使探针单元移动的移动机构、和计算拍摄以及检查时探针单元的最小移动路径的运算部。最小移动路径是通过对多个单片内的1个单片，采用在拍摄该单片上的所有位置对准特征点之后进行该单片的检查的条件，且对所有的多个单片采用该条件而计算得到的。

公开(公告)号：CN103913667B

公开(公告)日：2016-08-17

申请号：CN201410056938.5

申请日：2014-01-08

Applicant: OHT株式会社

Inventor： 羽森宽

IPC: G01R31/02

Abstract: 在电路布图检查装置中，按照邻接或接近于检查部的供电电极的两侧的方式，排列有多个消弧电极，将相对于施加于检查对象的导电体布图的检查信号而发生相移的交流的消弧信号施加于各消弧电极，形成与检查信号的电场方向相反方向的电场分布，切削检查信号的电场分布的底侧部分，形成进行了尖锐化的合成电场分布，有选择地对检查对象的导电体布图供电，根据已获得的检测信号，实施导电体布图的良好缺陷的适当的判断。