-
公开(公告)号：CN112352164A
公开(公告)日：2021-02-09
申请号：CN201980043486.8
申请日：2019-08-08
Applicant: 国立大学法人东北大学 , OHT株式会社
Abstract: 电容检测区域传感器将多个电容传感器元件配置成二维阵列状，呈任意的形状，并与外部电极电容耦合。向外部电极供电具有电位差的检查信号。针对所选择的与外部电极电容耦合的电容传感器元件，在上述检查信号的第一信号时和第二信号时的定时从上述电容传感器元件获取第一传感器输出信号、第二传感器输出信号。生成将所获取到的第一传感器输出信号、第二传感器输出信号取差分而得的差分信号，并基于差分信号的电平来生成以不同的颜色或者不同的灰度表示外部电极的形状的图像。
-
公开(公告)号：CN112352164B
公开(公告)日：2023-08-18
申请号：CN201980043486.8
申请日：2019-08-08
Applicant: 国立大学法人东北大学 , OHT株式会社
Abstract: 电容检测区域传感器将多个电容传感器元件配置成二维阵列状，呈任意的形状，并与外部电极电容耦合。向外部电极供电具有电位差的检查信号。针对所选择的与外部电极电容耦合的电容传感器元件，在上述检查信号的第一信号时和第二信号时的定时从上述电容传感器元件获取第一传感器输出信号、第二传感器输出信号。生成将所获取到的第一传感器输出信号、第二传感器输出信号取差分而得的差分信号，并基于差分信号的电平来生成以不同的颜色或者不同的灰度表示外部电极的形状的图像。
-
公开(公告)号：CN103913667A
公开(公告)日：2014-07-09
申请号：CN201410056938.5
申请日：2014-01-08
Applicant: OHT株式会社
Inventor： 羽森宽
IPC: G01R31/02
Abstract: 在电路布图检查装置中，按照邻接或接近于检查部的供电电极的两侧的方式，排列有多个消弧电极，将相对于施加于检查对象的导电体布图的检查信号而发生相移的交流的消弧信号施加于各消弧电极，形成与检查信号的电场方向相反方向的电场分布，切削检查信号的电场分布的底侧部分，形成进行了尖锐化的合成电场分布，有选择地对检查对象的导电体布图供电，根据已获得的检测信号，实施导电体布图的良好缺陷的适当的判断。
-
公开(公告)号：CN103308813A
公开(公告)日：2013-09-18
申请号：CN201210590237.0
申请日：2012-12-28
Abstract: 本发明提供一种电极基板、以及具有该电极基板的电路图案检查装置。在电路图案检查装置的检查中所使用的传感器电极基板或供电电极基板为，将形成配线构图之后的玻璃板贴合，从玻璃板切下玻璃片，在厚度方向上贴合其他玻璃片，制作电极基板，由此成为形成了贯穿基板正反面的贯通配线的电极基板。
-
公开(公告)号：CN101398464A
公开(公告)日：2009-04-01
申请号：CN200810211471.1
申请日：2008-09-26
Applicant: OHT株式会社
IPC: G01R31/02
Abstract: 本发明提供一种通过非接触式传感器进行导电图案检查的电路图案检查装置，解决由于大型化的衬底产生检查台表面高度差或者衬底弯曲，检查时传感器部移动机构的移动精度和技术难度提高，影响制造成本的问题。本发明的电路图案检查装置中，在检查时非接触式传感器部和检查台固定，传送的衬底距离检查台一定距离处上浮状态下通过，使作为检查对象的衬底上的导电图案与传感器部之间保持一定距离，能够抑制检测出的检测信号的电位发生波动等上下变动，能够使用简单的传送机构。
-
Patent Agency Ranking
-
-
公开(公告)号：CN101107536A
公开(公告)日：2008-01-16
申请号：CN200680002739.X
申请日：2006-01-18
Applicant: OHT株式会社
IPC: G01R31/02
CPC classification number: G01R31/2829 , G01R31/025 , G01R31/2812
Abstract: 本发明提供一种可以以单一的传感器单元检测导电图案的断路/短路的电路图案检查装置及其方法。当以非接触式检查被设在玻璃衬底3上成为行状的导电图案2是否良好时，将用以供给检查信号的供电部12，和用以检测该信号的传感器13配置成互相接近。利用此种构造，当传感器13位于没有断路状态的正常的导电图案上时，和传感器13位于有断路部位的导电图案上时，该传感器13检测到的检查电流的检测电平产生显著不同，所以可以准确地进行断路状态的检测。
-
公开(公告)号：CN101995545B
公开(公告)日：2015-03-18
申请号：CN201010243928.4
申请日：2010-08-02
Applicant: OHT株式会社
IPC: G01R31/302 , G01R31/28
Abstract: 本发明涉及一种电路图案检查装置，能够解决在采用非接触方式与导体图案进行电容耦合的电极的电路图案检查装置中，随着检查对象的导电图案的微细化的进展，得到的检查信号值变小，判断缺陷变难的问题。本发明的电路图案检查装置将具备空开间隔配置的两组的传感器对的检查部移动的同时，通过电容耦合对各导电图案施加由交流信号构成的检查信号，并且通过电容耦合检测传输于导电图案的检查信号，通过利用一次移动的检查分别检测来自各导电图案的检查信号，将这些检测信号与判断基准值进行比较，从而选出缺陷候补，使在各检查信号中的导电图案的位置一致，将缺陷候补彼此进行比较，将在相同图案位置上共通存在缺陷候补的导电图案判断为不良。
-
公开(公告)号：CN1720458B
公开(公告)日：2010-06-23
申请号：CN200380104631.8
申请日：2003-11-28
Applicant: OHT株式会社
IPC: G01R31/02
CPC classification number: G01R31/2805
Abstract: 本发明的目的在于，提供可确实且容易检测电路基板的不良的电路检查装置。作为解决问题的手段，本发明是在检查至少端部配设为行状的检查对象图案时，在检查对象图案(15)的两端部边保持与图案离开指定距离的状态边以横过图案的方式使检查信号供给电极(35)与检查信号检测感测电极(25)移动，以同样与检查对象图案电容耦合的感测电极来检测从供给电极(35)通过电容耦合而供给检查对象图案(15)的检查信号，在检测信号值较指定范围小的情况，则判定为图案断线，而在检测信号值较指定范围大的情况，则判定为图案短路。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
21
records
(took 0.027 seconds)
