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公开(公告)号：CN112352164A
公开(公告)日：2021-02-09
申请号：CN201980043486.8
申请日：2019-08-08
Applicant: 国立大学法人东北大学 , OHT株式会社
Abstract: 电容检测区域传感器将多个电容传感器元件配置成二维阵列状，呈任意的形状，并与外部电极电容耦合。向外部电极供电具有电位差的检查信号。针对所选择的与外部电极电容耦合的电容传感器元件，在上述检查信号的第一信号时和第二信号时的定时从上述电容传感器元件获取第一传感器输出信号、第二传感器输出信号。生成将所获取到的第一传感器输出信号、第二传感器输出信号取差分而得的差分信号，并基于差分信号的电平来生成以不同的颜色或者不同的灰度表示外部电极的形状的图像。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN112352164B
公开(公告)日：2023-08-18
申请号：CN201980043486.8
申请日：2019-08-08
Applicant: 国立大学法人东北大学 , OHT株式会社
Abstract: 电容检测区域传感器将多个电容传感器元件配置成二维阵列状，呈任意的形状，并与外部电极电容耦合。向外部电极供电具有电位差的检查信号。针对所选择的与外部电极电容耦合的电容传感器元件，在上述检查信号的第一信号时和第二信号时的定时从上述电容传感器元件获取第一传感器输出信号、第二传感器输出信号。生成将所获取到的第一传感器输出信号、第二传感器输出信号取差分而得的差分信号，并基于差分信号的电平来生成以不同的颜色或者不同的灰度表示外部电极的形状的图像。
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公开(公告)号：CN107064706B
公开(公告)日：2019-07-30
申请号：CN201611060604.0
申请日：2016-11-25
Applicant: OHT株式会社
IPC: G01R31/02
Abstract: 导电体图案检查装置中，第一传感器电极与供电了检查信号的第一导电体图案电容耦合而检测第一检测信号，第二传感器电极与没有供电检查信号的第二导电体图案电容耦合而在第二导电体图案中流过了检查信号时检测其作为第二检测信号，检测信号处理部算出将第一检测信号和第二检测信号相加后的和信号、和从第一检测信号减去了第二检测信号的差信号，将差信号除以和信号，生成判定用信号。将该判定用信号与阈值进行比较，判定有无短路的缺陷。
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公开(公告)号：CN107064706A
公开(公告)日：2017-08-18
申请号：CN201611060604.0
申请日：2016-11-25
Applicant: OHT株式会社
IPC: G01R31/02
CPC classification number: G01R31/024
Abstract: 导电体图案检查装置中，第一传感器电极与供电了检查信号的第一导电体图案电容耦合而检测第一检测信号，第二传感器电极与没有供电检查信号的第二导电体图案电容耦合而在第二导电体图案中流过了检查信号时检测其作为第二检测信号，检测信号处理部算出将第一检测信号和第二检测信号相加后的和信号、和从第一检测信号减去了第二检测信号的差信号，将差信号除以和信号，生成判定用信号。将该判定用信号与阈值进行比较，判定有无短路的缺陷。
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公开(公告)号：CN101023317A
公开(公告)日：2007-08-22
申请号：CN200580028794.1
申请日：2005-08-25
Applicant: OHT株式会社 , 社会钻石系统株式会社
CPC classification number: G09G3/006 , G09G3/3622 , G09G2300/06
Abstract: 本发明的目的在于提供一种当检查对象为导电体时，利用非接触方式即可高精确度检测出检查对象状态的导电体状态检查装置。在由供电部的输送检查信号的检查对象导电体附近，设置有绝缘基板。在绝缘基板表面上，以既定间隔大致平行设置有多片X轴传感器板；而在绝缘基板背面，以既定间隔大致平行配置有与X轴传感器板大致正交的多片Y轴传感器板，通过比较传感器板的测量信号电平，计算出传感器板的测量信号电平的相对值，从而检测出检查对象导电体的位置。
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