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公开(公告)号:CN104898010A
公开(公告)日:2015-09-09
申请号:CN201510161578.X
申请日:2015-03-03
Applicant: OHT株式会社
IPC: G01R31/02
Abstract: 提供一种能够有效地进行多个印刷电路板单片的拍摄和检查的接触型电路图案检查装置和方法。用于检查包括多个印刷电路板单片的印刷电路板的接触型电路图案检查装置,其包括设置有照相机单元和检查部的探针单元。每个单片上具有位置对准特征点,照相机单元拍摄位置对准特征点,检查部与单片接触以检查单片的导电图案。该装置进一步地包括:使探针单元移动的移动机构、和计算拍摄以及检查时探针单元的最小移动路径的运算部。最小移动路径是通过对多个单片内的1个单片,采用在拍摄该单片上的所有位置对准特征点之后进行该单片的检查的条件,且对所有的多个单片采用该条件而计算得到的。
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公开(公告)号:CN104898010B
公开(公告)日:2017-10-13
申请号:CN201510161578.X
申请日:2015-03-03
Applicant: OHT株式会社
IPC: G01R31/02
Abstract: 提供一种能够有效地进行多个印刷电路板单片的拍摄和检查的接触型电路图案检查装置和方法。用于检查包括多个印刷电路板单片的印刷电路板的接触型电路图案检查装置,其包括设置有照相机单元和检查部的探针单元。每个单片上具有位置对准特征点,照相机单元拍摄位置对准特征点,检查部与单片接触以检查单片的导电图案。该装置进一步地包括:使探针单元移动的移动机构、和计算拍摄以及检查时探针单元的最小移动路径的运算部。最小移动路径是通过对多个单片内的1个单片,采用在拍摄该单片上的所有位置对准特征点之后进行该单片的检查的条件,且对所有的多个单片采用该条件而计算得到的。
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