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公开(公告)号:CN1556927A
公开(公告)日:2004-12-22
申请号:CN02818477.7
申请日:2002-09-18
Applicant: OHT株式会社
IPC: G01R31/02
CPC classification number: G01R31/312 , G01R31/2834
Abstract: 本发明的目的在于提供一种其采用简单结构可准确且容易地检测电路布线的状况的电路布线的检查装置。检查系统(20),在实际检查前预先就标准的电路图案的全部电路布线进行图象数据的取出作为标准电路图案(目标数据)予以录入(图14),将实际的检查对象的电路布线的检测结果与目标数据之间用最小二乘法进行比较(S167),并求得它们之间的相关值判定检查对象电路布线的状态(S168),在显示器21a上显示出来(S169)以便显示出比较结果的与目标数据不同的部分。
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公开(公告)号:CN1247999C
公开(公告)日:2006-03-29
申请号:CN01801921.8
申请日:2001-07-05
Applicant: OHT株式会社
CPC classification number: G09G3/006 , G02F2001/136254
Abstract: 本发明的目的在于,提供一种可精细且有效地检查液晶面板用基板的形状的检查装置及检查方法。作为本发明的解决课题的手段,计算机21是通过控制X电极选择部22以及Y电极选择部23,以便于选择性地驱动基板100上的液晶电极。快闪冲击传感器1非接触性地配置在与基板100对向的位置上,以检测液晶电极101~104的电位变化,并作为检测信号输出至计算机21。计算机21接受快闪冲击传感器1的检测信号,生成影像资料,并根据该影像资料来检测液晶电极的断线、短路以及缺陷等等。又,计算机21将显示液晶电极的形状的影像显示于液晶显示器21a。
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公开(公告)号:CN1189756C
公开(公告)日:2005-02-16
申请号:CN01800096.7
申请日:2001-02-21
Applicant: OHT株式会社
IPC: G01R31/02 , G01R31/302 , H01L21/66
CPC classification number: G01R31/2812
Abstract: 本发明提供了一种可以对导电图形的形状实施精细检测的检测装置和相应的传感器。其中传感元件可以包含有MOSFET,取表面积比较大的一侧扩散层构成被动元件,并且与导电图形相对设置。这种被动元件与MOSFET的源极相连接,门极与纵向选择部相连接,漏极与横向选择部相连接。当通过时间信号生成部对传感元件实施选择时,可以由纵向选择部向门极传送出信号,使MOSFET处于导通状态。此时,如果由电极触头输出检查信号,则导电图形上的电位将产生变化,而且随该变化会有电流由源极流入至漏极,进而通过横向选择部输出至信号处理部处。通过对输出有检出信号的传感元件的位置实施分析,便可以确定导电图形相对于回路基板上的位置。
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公开(公告)号:CN1549932A
公开(公告)日:2004-11-24
申请号:CN02816803.8
申请日:2002-08-27
Applicant: OHT株式会社
IPC: G01R31/02
CPC classification number: G01R31/311 , G01R31/2805 , G01R31/309
Abstract: 供给一种可以简单结构来确实且容易地检测电路布线状况的电路布线检查装置。检查系统(20)向电路基板上的电路布线供给检查信号(S141),用多个传感器部件检测对应供给的检查信号的电路布线上的特定部位的电位变化(S142),在该部位的检测结果不在规定范围内的情况下(S143-N),进行表示电路布线形状的图像数据的生成(S151以下),在该部位的检测结果在规定范围内的情况下(S143-Y),省略表示电路布线形状的图像数据的生成。
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公开(公告)号:CN1358276A
公开(公告)日:2002-07-10
申请号:CN01800096.7
申请日:2001-02-21
Applicant: OHT株式会社
IPC: G01R31/02
CPC classification number: G01R31/2812
Abstract: 本发明提供了一种可以对导电图形的形状实施精细检测的检测装置和相应的传感器。其中传感元件可以包含有MOSFET,取表面积比较大的一侧扩散层构成被动元件,并且与导电图形相对设置。这种被动元件与MOSFET的源极相连接,门极与纵向选择部相连接,漏极与横向选择部相连接。当通过时间信号生成部对传感元件实施选择时,可以由纵向选择部向门极传送出信号,使MOSFET处于导通状态。此时,如果由电极触头输出检查信号,则导电图形上的电位将产生变化,而且随该变化会有电流由源极流入至漏极,进而通过横向选择部输出至信号处理部处。通过对输出有检出信号的传感元件的位置实施分析,便可以确定导电图形相对于回路基板上的位置。
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公开(公告)号:CN1358275A
公开(公告)日:2002-07-10
申请号:CN01800076.2
申请日:2001-02-16
Applicant: OHT株式会社
IPC: G01R31/02
CPC classification number: G01R1/0433 , G01R1/0483 , G01R31/2886
Abstract: 本发明提供了一种可以使检测用芯片相对于作为检测对象的导电图形实施适当配置的检测装置。这种检测装置中的检测用芯片1上的电极连接部1b,与壳体2上的引线2a相连接,而且在两者上均设置有突起电极3和4,这种检测装置还设有覆盖着突起电极3和4的各向异性导电部件5,跨接在突起电极3和4之间的、位于各向异性导电部件5上的导电薄膜6,通过对各向异性导电部件5实施热压接,而使导电薄膜6与突起电极3和4间实现电气导通的方式,这种检测装置可以将检测用芯片1的表面设置的比较薄。
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公开(公告)号:CN1556926A
公开(公告)日:2004-12-22
申请号:CN02818476.9
申请日:2002-09-18
Applicant: OHT株式会社
IPC: G01R31/02
CPC classification number: G01R1/07385
Abstract: 本发明提供一种能可靠并正确地检查电路布线的状况的电路布线检查装置。检查系统(20),对电路基板上的电路布线供给检查信号(S141),再用多个传感器元件来检测与所供给的检查信号相对应的电路布线上的特定部位处的电位变化(S142),进列表示电路布线形状的图像数据的生成(S151以下),将该电路布线形状和预先注册的标准形状进行比较(S167)检查电路布线的状况(S168/9)。
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公开(公告)号:CN1545622A
公开(公告)日:2004-11-10
申请号:CN02816283.8
申请日:2002-08-27
Applicant: OHT株式会社
IPC: G01R31/02
CPC classification number: G01R31/312
Abstract: 本发明提供一种可精密检查导体图案形状的检查装置用传感器及使用该传感器的检查装置。传感元件12a包含MOSFET,配置铝电极(AL),作为无源元件80。作为无源元件80的铝电极80连接于MOSFET81的栅极及MOSFET82的源极上。另外,从电源电路部18向MOSFET81的漏极施加电压VDD,将MOSFET81的源极连接于MOSFET83的漏极上。向MOSFET82的栅极输入来自纵向选择部14的复位信号,从电源电路部18向MOSFET82的漏极施加电压VDD。从纵向选择部14向MOSFET83的栅极输入选择信号,向横向选择部13输入来自MOSFET83的源极的输出。
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公开(公告)号:CN1383489A
公开(公告)日:2002-12-04
申请号:CN01801921.8
申请日:2001-07-05
Applicant: OHT株式会社
CPC classification number: G09G3/006 , G02F2001/136254
Abstract: 本发明的目的在于,提供一种可精细且有效地检查液晶面板用基板的形状的检查装置及检查方法。作为本发明的解决课题的手段,计算机21是通过控制X电极选择部22以及Y电极选择部23,以便于选择性地驱动基板100上的液晶电极。快闪冲击传感器1非接触性地配置在与基板100对向的位置上,以检测液晶电极101~104的电位变化,并作为检测信号输出至计算机21。计算机21接受快闪冲击传感器1的检测信号,生成影像资料,并根据该影像资料来检测液晶电极的断线、短路以及缺陷等等。又,计算机21将显示液晶电极的形状的影像显示于液晶显示器21a。
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公开(公告)号:CN1363042A
公开(公告)日:2002-08-07
申请号:CN01800308.7
申请日:2001-03-23
Applicant: OHT株式会社
CPC classification number: G01R31/302 , G01R31/304 , G01R31/312
Abstract: 本发明提供了一种可以借助直感获得回路配线检测结果的检测装置和检测方法。检测系统20,具有配置着多个传感元件的传感器芯片1,电子计算机21,向回路配线101供给检测信号的电极触头22,对供给至电极触头22处的检测信号实施切换的选择部件23。电子计算机21可以对由传感器芯片1给出的检测信号实施接收,生成图象数据,进而可以将作为检测对象的回路配线图象显示在显示部件21a上。采用这种构成形式,便可以对特定回路配线的形状实施分析,并且可以依据所生成的图象数据和表示设计上的回路配线的图象数据,对回路配线101中出现的断线、短路、脱落等等故障实施检测。
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