公开(公告)号：CN1556927A

公开(公告)日：2004-12-22

申请号：CN02818477.7

申请日：2002-09-18

Applicant: OHT株式会社

Inventor： 藤井达久 ,  门田和浩 ,  笠井干也 ,  石冈圣悟 ,  山冈秀嗣

IPC: G01R31/02

CPC classification number: G01R31/312 ,  G01R31/2834

Abstract: 本发明的目的在于提供一种其采用简单结构可准确且容易地检测电路布线的状况的电路布线的检查装置。检查系统(20)，在实际检查前预先就标准的电路图案的全部电路布线进行图象数据的取出作为标准电路图案(目标数据)予以录入(图14)，将实际的检查对象的电路布线的检测结果与目标数据之间用最小二乘法进行比较(S167)，并求得它们之间的相关值判定检查对象电路布线的状态(S168)，在显示器21a上显示出来(S169)以便显示出比较结果的与目标数据不同的部分。

公开(公告)号：CN100343682C

公开(公告)日：2007-10-17

申请号：CN02816283.8

申请日：2002-08-27

Applicant: OHT株式会社

Inventor： 藤井达久 ,  门田和浩 ,  笠井干也 ,  石冈圣悟 ,  山冈秀嗣

IPC: G01R31/02 ,  G01R31/302

CPC classification number: G01R31/312

Abstract: 本发明提供一种可精密检查导体图案形状的检查装置用传感器及使用该传感器的检查装置。传感元件12a包含MOSFET，配置铝电极(AL)，作为无源元件80。作为无源元件80的铝电极80连接于MOSFET81的栅极及MOSFET82的源极上。另外，从电源电路部18向MOSFET81的漏极施加电压VDD，将MOSFET81的源极连接于MOSFET83的漏极上。向MOSFET82的栅极输入来自纵向选择部14的复位信号，从电源电路部18向MOSFET82的漏极施加电压VDD。从纵向选择部14向MOSFET83的栅极输入选择信号，向横向选择部13输入来自MOSFET83的源极的输出。

公开(公告)号：CN1549932A

公开(公告)日：2004-11-24

申请号：CN02816803.8

申请日：2002-08-27

Applicant: OHT株式会社

Inventor： 藤井达久 ,  门田和浩 ,  笠井干也 ,  石冈圣悟 ,  山冈秀嗣

IPC: G01R31/02

CPC classification number: G01R31/311 ,  G01R31/2805 ,  G01R31/309

Abstract: 供给一种可以简单结构来确实且容易地检测电路布线状况的电路布线检查装置。检查系统(20)向电路基板上的电路布线供给检查信号(S141)，用多个传感器部件检测对应供给的检查信号的电路布线上的特定部位的电位变化(S142)，在该部位的检测结果不在规定范围内的情况下(S143－N)，进行表示电路布线形状的图像数据的生成(S151以下)，在该部位的检测结果在规定范围内的情况下(S143－Y)，省略表示电路布线形状的图像数据的生成。

公开(公告)号：CN1556926A

公开(公告)日：2004-12-22

申请号：CN02818476.9

申请日：2002-09-18

Applicant: OHT株式会社

Inventor： 藤井达久 ,  门田和浩 ,  笠井干也 ,  石冈圣悟 ,  山冈秀嗣

IPC: G01R31/02

CPC classification number: G01R1/07385

Abstract: 本发明提供一种能可靠并正确地检查电路布线的状况的电路布线检查装置。检查系统(20)，对电路基板上的电路布线供给检查信号(S141)，再用多个传感器元件来检测与所供给的检查信号相对应的电路布线上的特定部位处的电位变化(S142)，进列表示电路布线形状的图像数据的生成(S151以下)，将该电路布线形状和预先注册的标准形状进行比较(S167)检查电路布线的状况(S168/9)。

公开(公告)号：CN1545622A

公开(公告)日：2004-11-10

申请号：CN02816283.8

申请日：2002-08-27

Applicant: OHT株式会社

Inventor： 藤井达久 ,  门田和浩 ,  笠井干也 ,  石冈圣悟 ,  山冈秀嗣

IPC: G01R31/02

CPC classification number: G01R31/312

Abstract: 本发明提供一种可精密检查导体图案形状的检查装置用传感器及使用该传感器的检查装置。传感元件12a包含MOSFET，配置铝电极(AL)，作为无源元件80。作为无源元件80的铝电极80连接于MOSFET81的栅极及MOSFET82的源极上。另外，从电源电路部18向MOSFET81的漏极施加电压VDD，将MOSFET81的源极连接于MOSFET83的漏极上。向MOSFET82的栅极输入来自纵向选择部14的复位信号，从电源电路部18向MOSFET82的漏极施加电压VDD。从纵向选择部14向MOSFET83的栅极输入选择信号，向横向选择部13输入来自MOSFET83的源极的输出。