公开(公告)号：CN102470483B

公开(公告)日：2015-04-01

申请号：CN201080032097.4

申请日：2010-03-01

Applicant: 东丽工程株式会社

Inventor： 谷川央树 ,  森英治

IPC: B23K26/00 ,  B23K26/08

CPC classification number: B23K26/082 ,  B23K26/03 ,  B23K26/083 ,  B23K26/355 ,  B23K26/36

Abstract: 本发明提供一种标记装置及其方法，将标记光线照射在以规定速度进行移动的对象物上以进行标记，该装置包括：工作台(22)、位置检测器(4)、标记头部(3)和控制用计算机(90)，工作台(22)使对象物以规定的速度进行移动，位置检测器(4)与工作台(22)同步移动，标记头部(3)是将照准光线照射在位置检测器(4)上的装置，其包括用来跟踪位置检测器(4)的移动使照准光线发生偏向的电流扫描器(308S)，控制用计算机(90)用来检测照射在位置检测器(4)的照准光线的照射位置变化。

公开(公告)号：CN104160062A

公开(公告)日：2014-11-19

申请号：CN201380011711.2

申请日：2013-01-16

Applicant: 东丽工程株式会社

Inventor： 山下雅充 ,  藤元高佳 ,  岩出卓

IPC: C23C16/40 ,  C23C16/02 ,  H01L51/44 ,  H01L51/52 ,  H05B33/04

CPC classification number: H01L31/028 ,  B82Y10/00 ,  C23C16/0272 ,  C23C16/401 ,  H01L21/0245 ,  H01L21/02532 ,  H01L21/0262 ,  H01L31/0224 ,  H01L31/022475 ,  H01L31/022483 ,  H01L31/03926 ,  H01L31/0481 ,  H01L31/1804 ,  H01L51/0046 ,  H01L51/0078 ,  H01L51/424 ,  H01L51/448 ,  H01L51/5253 ,  H01L2251/308 ,  Y02E10/549

Abstract: 本发明提供一种膜，该膜通过为低应力且水分吸收少的密封膜结构，从而在经时变化中不会发生剥离，具有稳定的阻隔性。具体地说，提供一种含硅膜，该含硅膜具备：通过等离子体CVD法形成的包含硅元素且氧浓度为0元素％以上且小于10元素％的第1化学沉积层；和通过等离子体CVD法形成的包含硅元素且氧浓度超过35元素％且为70元素％以下的第2化学沉积层，其中，上述第1化学沉积层的厚度(L1)与上述第2化学沉积层的厚度(L2)之比L2/L1为1.5～9。

公开(公告)号：CN103662694A

公开(公告)日：2014-03-26

申请号：CN201310372965.9

申请日：2013-08-23

Applicant: 东丽工程株式会社

Inventor： 滨川健史 ,  森俊裕 ,  奥田哲也

IPC: B65G35/00

Abstract: 本发明提供一种基板浮起装置和基板浮起量测量方法，能够将基板的浮起量始终准确地计算和控制。基板浮起装置（1）使基板浮起，该装置包括浮起单元（2）和解析装置（21），该浮起单元包括与浮起的基板（W）背面相对而置的对向面（14），且将基板浮起至对向面上方，该解析装置计算从该对向面浮起的基板的浮起量；其中，在该对向面下方进一步设置有向输送浮起单元上浮起的基板发射光的光反射型高度测量器（12），所述浮起单元包括贯通孔（15）和板体状基准板（13），该贯通孔使从高度测量器发射的光和在基板上反射后入射到高度测量器的光通过，该基准板设置在通过该贯通孔从高度测量器向基板发射的光的路径上且反射和透射一部分光。

公开(公告)号：CN103579062A

公开(公告)日：2014-02-12

申请号：CN201310297548.2

申请日：2013-07-16

Applicant: 东丽工程株式会社

Inventor： 内泻外茂夫 ,  滨川健史 ,  宫岛勇也

IPC: H01L21/677 ,  H01L21/027 ,  B65G49/06 ,  B65G49/07

CPC classification number: H01L21/67742 ,  B65G49/06 ,  B65G49/07 ,  H01L21/6838 ,  H01L2221/68363

Abstract: 本发明提供一种基板输送装置，通过该装置能够在抑制基板上的涂布膜上产生干燥不匀的情况下输送基板。该装置是用基板导向件夹持通过超声波振动浮起的基板的同时使基板导向件行进，以浮起基板的状态输送基板的基板输送装置，所述基板导向件包括：基板抵接部，与基板抵接；浮起单元，将该基板抵接部从振动板浮起至规定高度，浮起单元包括：空气垫部，包括向振动板排出空气的空气排出部；脱气通道，用于将从空气排出部排出的空气逃出；脱气通道至少设置在空气排出部和与基板抵接部抵接的基板之间，并按照使空气垫部和振动板之间形成的间隙的空气向高于所述基板高度位置逃出的方式形成。

公开(公告)号：CN103460029A

公开(公告)日：2013-12-18

申请号：CN201280014931.6

申请日：2012-03-13

Applicant: 东丽工程株式会社

Inventor： 久世康之 ,  山本比佐史

IPC: G01N21/956 ,  G06T1/00 ,  H01L21/66

CPC classification number: G01N21/956 ,  G06T7/0004 ,  G06T7/136 ,  G06T2207/10056 ,  G06T2207/30148 ,  H01L22/12

Abstract: 为了使被检查对象物的形状物在外观检查装置的平台上的平台坐标和形状物地址相关联而保持，在利用外观检查装置的低倍率透镜进行的预扫描工序中，利用所得到的摄像图像，与平台坐标相关联地赋予形状物地址，在实际检查工序中，利用形状物地址削减被检查对象物的搜索时间，由此缩短检查准备工序和实际检查的综合的检查节拍时间。

公开(公告)号：CN103329278A

公开(公告)日：2013-09-25

申请号：CN201180061411.6

申请日：2011-10-04

Applicant: 东丽工程株式会社

Inventor： 岩出卓 ,  寺田丰治 ,  中北和德 ,  酒井博史 ,  津田雄一郎

IPC: H01L31/04

CPC classification number: H01L31/0508 ,  H01L31/0201 ,  H01L31/046 ,  H01L31/0465 ,  H01L31/048 ,  H01L31/0504 ,  Y02E10/50

Abstract: 本发明涉及一种太阳能电池模块及其制造方法，提供能够防止在太阳能电池单元之间发生短路的简单的结构，具体而言，在所述太阳能电池模块中，多个在一个方向上长的太阳能电池单元(2-1、2-2、2-3)并排排列，所述太阳能电池单元包括下导电层、上导电层以及这些上下导电层之间的半导体层，相邻的太阳能电池单元的边缘部彼此重叠而电连接，各太阳能电池单元包括：在两端部中实施防止所述上导电层和所述下导电层发生短路处理的端部处理区域(A1)，和位于其中央侧的实际进行光电转换的主发电区域(A2)，在所述太阳能电池单元的边缘部上重叠的另一所述太阳能电池单元的边缘部重叠在位于下面的太阳能电池单元的主发电区域(A1)的范围内。

公开(公告)号：CN101846884B

公开(公告)日：2013-04-03

申请号：CN201010124625.0

申请日：2010-03-16

Applicant: 东丽工程株式会社

Inventor： 中泽源伸 ,  堀内展雄

IPC: G03F7/16

Abstract: 本发明提供一种涂布装置，其中，无需增加在异物检测部检测出异物后喷嘴移动至异物的距离，从而能够抑制装置的大型化。本发明的涂布装置(11)通过行走机构(25)使管头部(22)行走的同时，在载物台(14)上的基板(12)上涂布从管头部(22)的喷嘴(44)处流出的涂布液。而且，涂布装置(11)包括：异物检测部(45，33)，对与喷嘴(44)相比位于靠行走方向前方侧的异物P进行检测；升降控制部(退避控制部)(32)，通过异物检测部(45，33)而检测出异物P时，控制升降机构(24)以使管头部(22)朝向上方退避。

公开(公告)号：CN102967266A

公开(公告)日：2013-03-13

申请号：CN201210067026.9

申请日：2012-03-14

Applicant: 东丽工程株式会社

Inventor： 和田浩光 ,  田嶋久容 ,  小山恭史 ,  滨川直良 ,  水原正志

IPC: G01B11/06

Abstract: 本发明是一种膜厚不均检查装置及方法，可获取明亮度及对比度适合检查的图像，而获得准确检查结果；其特征在于，一面使表面具有皮膜的衬底在一方向上移动，一面检查在衬底的皮膜的膜厚不均，且具备检测皮膜厚度的膜厚检测部，光源部包含在摄像部侧的反射照明部、及隔着衬底而与摄像部对向的透射照明部，摄像部包括调节与衬底的相对角度的摄像部角度调整机构，反射照明部包含调节反射照明部与衬底的相对角度的反射照明角度调整机构，透射照明部包含调节透射照明部与衬底的相对角度的透射照明角度调整机构，且该装置包括控制部，其基于来自膜厚检测部的膜厚信息，控制反射照明角度调整机构及透射照明角度调整机构，调节反射照明及透射照明的光量。

公开(公告)号：CN102806179A

公开(公告)日：2012-12-05

申请号：CN201210113664.X

申请日：2012-04-18

Applicant: 东丽工程株式会社

Inventor： 宫岛勇也 ,  奥田大辅 ,  冈本俊一 ,  内泻外茂夫

IPC: B05C13/02 ,  B05D3/00

Abstract: 本发明提供一种悬浮传送加热装置，能够避免在涂布膜上产生干燥斑地对基板进行加热的同时进行传送，该悬浮传送加热装置包括：振动板部(2)，用于使基板超声波振动悬浮；加热器部(3)，用于加热所述振动板部；超声波产生部(4)，用于向所述振动板部提供超声波振动；传送部(5)，支撑基板的端部，沿与悬浮方向垂直的方向传送基板，其中，加热器部(3)在振动板部(2)的使基板悬浮的面的背面侧上与振动板部(2)形成预定间隔而设置，与基板的传送方向垂直相交的方向的振动板部(2)的尺寸大于同方向的基板(W)的尺寸，通过由加热器(3)部对振动板部(2)进行加热，悬浮传送的基板(W)的整个面被振动板部(2)加热。

公开(公告)号：CN102688830A

公开(公告)日：2012-09-26

申请号：CN201210046849.3

申请日：2012-02-28

Applicant: 东丽工程株式会社

Inventor： 西元美纪 ,  伊藤祯彦 ,  内山悟

IPC: B05C5/02 ,  G02F1/1341

Abstract: 本发明提供一种涂布装置和涂布方法，虽然在通过光学涂布机进行涂布之前用多个清扫部件擦拭排出口对于获得稳定的涂布膜来说是有效的方法，但每次更换喷嘴时更换清扫部件并使它与各排出口吻合，这要花费时间，本发明的涂布装置包括：清扫单元，通过被支撑部件支撑的清扫部件进行清扫；θ平台，在所述擦拭方向上能够放置多个所述清扫单元，并具有垂直于其上面的旋转轴；擦拭单元，包括支撑所述θ平台的台座；在所述清扫单元的所述支撑部件和所述θ平台上形成有用于夹持高度调节部件的高度调节面。