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公开(公告)号：CN106914366B
公开(公告)日：2020-11-17
申请号：CN201611149559.6
申请日：2016-12-13
Applicant: 东丽工程株式会社
Inventor： 堀内展雄
Abstract: 提供涂布器清洗装置和涂布装置，抑制在涂布器中产生因热变形而导致的变形。涂布器清洗装置对涂布器进行清洗，涂布器从沿一个方向延伸的缝喷嘴喷出涂布液而在基板上形成涂布膜，其中，涂布器清洗装置具有：清洗槽，其是以能够浸渍涂布器的缝喷嘴的方式沿一个方向延伸的形状；清洗液提供部，其向清洗槽提供清洗液；以及振子，其对清洗槽内的清洗液施加振动波，清洗液提供部在长度方向上对清洗槽内提供清洗液，并且清洗液的提供量被设定为与清洗槽的长度方向两端部相比在中央部分多，清洗槽具有使清洗液排出到长度方向两端部的溢流部，构成为在使缝喷嘴浸渍在清洗槽中的状态下，清洗槽内的清洗液的流动从长度方向中央部分朝向溢流部流动。
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公开(公告)号：CN101846884A
公开(公告)日：2010-09-29
申请号：CN201010124625.0
申请日：2010-03-16
Applicant: 东丽工程株式会社
IPC: G03F7/16
Abstract: 本发明提供一种涂布装置，其中，无需增加在异物检测部检测出异物后喷嘴移动至异物的距离，从而能够抑制装置的的大型化。本发明的涂布装置(11)通过行走机构(25)使管头部(22)行走的同时，在载物台(14)上的基板(12)上涂布从管头部(22)的喷嘴(44)处流出的涂布液。而且，涂布装置(11)包括：异物检测部(45，33)，对与喷嘴(44)相比位于靠行走方向前方侧的异物P进行检测；升降控制部(退避控制部)(32)，通过异物检测部(45，33)而检测出异物P时，控制升降机构(24)以使管头部(22)朝向上方退避。
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公开(公告)号：CN103506238A
公开(公告)日：2014-01-15
申请号：CN201310244298.6
申请日：2013-06-19
Applicant: 东丽工程株式会社
Inventor： 堀内展雄
CPC classification number: B05C5/0254 , B05B15/55
Abstract: 本发明提供能够强有力地去除粘着在唇上的粘着物且价格低廉的洗涤装置和洗涤方法。该洗涤装置(4)包括：洗涤单元(5)；洗涤液供给口(14)，其供给用于洗涤唇面(23)的洗涤液，通过移动装置(6)使洗涤单元和洗涤液供给口向唇面的长尺寸方向移动的同时对唇面进行洗涤，洗涤单元包括超声波振动部(11)，在该超声波振动部上安装有超声波振子(15)且形成有对向槽(13)，通过使对向槽和唇面接近，并从洗涤液供给口向该对向槽和唇面的间隙供给洗涤液，由此形成浸渍部(19)，并在该状态下通过使超声波振动部产生超声波振动来进行对唇面的部分洗涤，进而通过使洗涤单元和洗涤液供给口向所述长尺寸方向移动，使唇面沿长尺寸方向被洗涤。
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公开(公告)号：CN103125012A
公开(公告)日：2013-05-29
申请号：CN201180046080.9
申请日：2011-07-29
Applicant: 东丽工程株式会社
Inventor： 堀内展雄
IPC: H01L21/027 , B05C15/00
CPC classification number: C23C16/45557 , G03F7/16 , H01L21/67017 , H01L21/67253
Abstract: 本发明提供一种基板处理系统，即使惰性气体的供给流量产生偏差，也能够稳定地保持腔室内的压力，在初期运行时，通过增加惰性气体的供给流量来能够缩短被惰性气体化所需的时间，为此，该基板处理系统包括：基板处理部，对基板进行规定的处理；腔室，将所述基板处理部以密封状态收纳；气体供给部，向腔室内供给惰性气体；气体排放部，排放腔室内的气体，其中，按照所述腔室内的压力达到比腔室外的压力大的腔室设定压力的方式调节所述气体供给部的惰性气体的供给流量和所述气体排放部的排放流量。
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公开(公告)号：CN114423529B
公开(公告)日：2023-09-05
申请号：CN202080063588.9
申请日：2020-08-28
Applicant: 东丽工程株式会社
Inventor： 堀内展雄
Abstract: 提供即使在垫片部件介于涂布器的状态下也能够准确地掌握垫片部件的尺寸的涂布器、涂布装置和涂布方法。具体而言，涂布器具有狭缝喷嘴，该狭缝喷嘴形成为喷出涂布液的喷出口在一个方向上延伸的狭缝形状，其中，所述涂布器是使由所述狭缝喷嘴分割的半分割形状的半接头合体而形成的，所述涂布器构成为具有：垫片部件，其形成为固定的厚度，通过介于所述半接头之间，对所述喷出口的涂布方向上的狭缝宽度进行调节；以及垫片检测部，其检测介于所述半接头之间的所述垫片部件的尺寸。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN105413957B
公开(公告)日：2019-06-21
申请号：CN201510593961.2
申请日：2015-09-17
Applicant: 东丽工程株式会社
Abstract: 涂布器、涂布装置和涂布方法。提供一种涂布器，能够迅速地将积存在涂布器内的气泡排出到外部。本发明的涂布器具有：第1供给口(31)，其供给涂布液；第1歧管(11)，其与第1供给口(31)连接；喷出缝(22)，其喷出涂布液；第2歧管(12)，其与喷出缝(22)连接；以及连结节流流路(21)，其连结第1歧管(11)和第2歧管(12)，第1歧管(11)连接有将积存在第1歧管(11)内的气泡排出到外部的第1排出口(41)，第2歧管(12)连接有供给涂布液的第2供给口(32)和将积存在第2歧管(12)内的气泡排出到外部的第2排出口(42)。
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公开(公告)号：CN103506238B
公开(公告)日：2017-05-24
申请号：CN201310244298.6
申请日：2013-06-19
Applicant: 东丽工程株式会社
Inventor： 堀内展雄
Abstract: 本发明提供能够强有力地去除粘着在唇上的粘着物且价格低廉的洗涤装置和洗涤方法。该洗涤装置(4)包括：洗涤单元(5)；洗涤液供给口(14)，其供给用于洗涤唇面(23)的洗涤液，通过移动装置(6)使洗涤单元和洗涤液供给口向唇面的长尺寸方向移动的同时对唇面进行洗涤，洗涤单元包括超声波振动部(11)，在该超声波振动部上安装有超声波振子(15)且形成有对向槽(13)，通过使对向槽和唇面接近，并从洗涤液供给口向该对向槽和唇面的间隙供给洗涤液，由此形成浸渍部(19)，并在该状态下通过使超声波振动部产生超声波振动来进行对唇面的部分洗涤，进而通过使洗涤单元和洗涤液供给口向所述长尺寸方向移动，使唇面沿长尺寸方向被洗涤。
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公开(公告)号：CN101846884B
公开(公告)日：2013-04-03
申请号：CN201010124625.0
申请日：2010-03-16
Applicant: 东丽工程株式会社
IPC: G03F7/16
Abstract: 本发明提供一种涂布装置，其中，无需增加在异物检测部检测出异物后喷嘴移动至异物的距离，从而能够抑制装置的大型化。本发明的涂布装置(11)通过行走机构(25)使管头部(22)行走的同时，在载物台(14)上的基板(12)上涂布从管头部(22)的喷嘴(44)处流出的涂布液。而且，涂布装置(11)包括：异物检测部(45，33)，对与喷嘴(44)相比位于靠行走方向前方侧的异物P进行检测；升降控制部(退避控制部)(32)，通过异物检测部(45，33)而检测出异物P时，控制升降机构(24)以使管头部(22)朝向上方退避。
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公开(公告)号：CN104226542B
公开(公告)日：2017-10-24
申请号：CN201410204719.7
申请日：2014-05-15
Applicant: 东丽工程株式会社
Abstract: 本发明提供一种涂布器以及涂布装置，能够迅速排出涂布器(3)的上侧歧管(11)和下侧歧管(12)内的空气。所述涂布器包括：流入口(18)，用于流入涂布液；排出细缝(21)，用于排出涂布液，所述排出细缝在一个方向上长长地形成且在与所述一个方向垂直的方向上狭窄地形成。所述涂布器进一步包括：上侧歧管，与流入口连接；下侧歧管，与排出细缝连接；节流流路(22)，连接上侧歧管与下侧歧管的同时在一个方向上长长地形成且在与一个方向垂直的方向上狭窄地形成；排气孔(32)，在包含该节流流路与下侧歧管的境界(40)的区域(A)上开口。
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公开(公告)号：CN106914366A
公开(公告)日：2017-07-04
申请号：CN201611149559.6
申请日：2016-12-13
Applicant: 东丽工程株式会社
Inventor： 堀内展雄
Abstract: 提供涂布器清洗装置和涂布装置，抑制在涂布器中产生因热变形而导致的变形。涂布器清洗装置对涂布器进行清洗，涂布器从沿一个方向延伸的缝喷嘴喷出涂布液而在基板上形成涂布膜，其中，涂布器清洗装置具有：清洗槽，其是以能够浸渍涂布器的缝喷嘴的方式沿一个方向延伸的形状；清洗液提供部，其向清洗槽提供清洗液；以及振子，其对清洗槽内的清洗液施加振动波，清洗液提供部在长度方向上对清洗槽内提供清洗液，并且清洗液的提供量被设定为与清洗槽的长度方向两端部相比在中央部分多，清洗槽具有使清洗液排出到长度方向两端部的溢流部，构成为在使缝喷嘴浸渍在清洗槽中的状态下，清洗槽内的清洗液的流动从长度方向中央部分朝向溢流部流动。
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