公开(公告)号：CN104661759B

公开(公告)日：2017-11-28

申请号：CN201380048511.4

申请日：2013-09-12

Applicant: 东丽工程株式会社

Inventor： 林田健儿 ,  北村义之 ,  川竹洋 ,  大霜征彦 ,  村尾幸一

IPC: B05C5/02 ,  B05C11/10 ,  B05D1/26 ,  B05D3/00

CPC classification number: B05C5/0254 ,  B05C5/001 ,  B05C5/0208 ,  B05C11/1007 ,  B05C11/1015 ,  B05C11/1042 ,  B05D1/26

Abstract: 即使在向基板涂布粘度比较高的涂布液的情况下，也能够在基板上高精度并且高速地形成涂膜。具体而言，涂布装置(1)具有：容器(9)，其积存涂布液；以及喷嘴(3)，其形成有缝(21)，该缝(21)喷出从该容器(9)供给的涂布液，该涂布装置(1)通过从缝(21)喷出涂布液从而向基板涂布涂布液。涂布装置(1)具有：升温部(30)，其使从容器(9)供给的涂布液升温；以及均温部(40)，其在从缝(21)喷出由该升温部升温后的涂布液之前，使该涂布液的温度均匀化。

公开(公告)号：CN102873052B

公开(公告)日：2016-08-24

申请号：CN201210241658.2

申请日：2012-07-12

Applicant: 东丽株式会社 ,  东丽工程株式会社

Inventor： 林田健儿 ,  川竹洋 ,  堀内展雄 ,  伊藤祯彦 ,  釜谷学

IPC: B08B3/12 ,  B05C9/08

Abstract: 本发明的目的在于在金属件（3）中，能够使现有技术中由于振动波（基于振动波的空穴现象）的传播不充分而残留的粘着物浮起，在短时间内得到期望的清洗结果，其中该金属件（3）内形成有在该金属件（3）宽度方向上长、且在该金属件（3）的前端开口的缝隙（7）。本发明提供的金属件的清洗方法包括：使金属件前端（9）浸渍在清洗槽（11）内的施加了振动波的清洗液（L）中，使该清洗液（L）通过缝隙（7）向金属件内部流入；由此状态，使气体在缝隙（7）的宽度方向的全长通过缝隙（7）流入金属件内部；其后，使金属件前端（9）浸渍在清洗槽（11）内的施加了振动波的清洗液（L）中，使该清洗液L通过缝隙（7）向金属件内部流入。

公开(公告)号：CN104226542A

公开(公告)日：2014-12-24

申请号：CN201410204719.7

申请日：2014-05-15

Applicant: 东丽工程株式会社

Inventor： 林田健儿 ,  谷野圣 ,  川竹洋 ,  堀内展雄 ,  伊藤祯彦

IPC: B05C5/00 ,  B05C11/10

Abstract: 本发明提供一种涂布器以及涂布装置，能够迅速排出涂布器(3)的上侧歧管(11)和下侧歧管(12)内的空气。所述涂布器包括：流入口(18)，用于流入涂布液；排出细缝(21)，用于排出涂布液，所述排出细缝在一个方向上长长地形成且在与所述一个方向垂直的方向上狭窄地形成。所述涂布器进一步包括：上侧歧管，与流入口连接；下侧歧管，与排出细缝连接；节流流路(22)，连接上侧歧管与下侧歧管的同时在一个方向上长长地形成且在与一个方向垂直的方向上狭窄地形成；排气孔(32)，在包含该节流流路与下侧歧管的境界(40)的区域(A)上开口。

公开(公告)号：CN104226542B

公开(公告)日：2017-10-24

申请号：CN201410204719.7

申请日：2014-05-15

Applicant: 东丽工程株式会社

Inventor： 林田健儿 ,  谷野圣 ,  川竹洋 ,  堀内展雄 ,  伊藤祯彦

IPC: B05C5/00 ,  B05C11/10

Abstract: 本发明提供一种涂布器以及涂布装置，能够迅速排出涂布器(3)的上侧歧管(11)和下侧歧管(12)内的空气。所述涂布器包括：流入口(18)，用于流入涂布液；排出细缝(21)，用于排出涂布液，所述排出细缝在一个方向上长长地形成且在与所述一个方向垂直的方向上狭窄地形成。所述涂布器进一步包括：上侧歧管，与流入口连接；下侧歧管，与排出细缝连接；节流流路(22)，连接上侧歧管与下侧歧管的同时在一个方向上长长地形成且在与一个方向垂直的方向上狭窄地形成；排气孔(32)，在包含该节流流路与下侧歧管的境界(40)的区域(A)上开口。

公开(公告)号：CN104661759A

公开(公告)日：2015-05-27

申请号：CN201380048511.4

申请日：2013-09-12

Applicant: 东丽工程株式会社

Inventor： 林田健儿 ,  北村义之 ,  川竹洋 ,  大霜征彦 ,  村尾幸一

IPC: B05C5/02 ,  B05C11/10 ,  B05D1/26 ,  B05D3/00

CPC classification number: B05C5/0254 ,  B05C5/001 ,  B05C5/0208 ,  B05C11/1007 ,  B05C11/1015 ,  B05C11/1042 ,  B05D1/26

Abstract: 即使在向基板涂布粘度比较高的涂布液的情况下，也能够在基板上高精度并且高速地形成涂膜。具体而言，涂布装置(1)具有：容器(9)，其积存涂布液；以及喷嘴(3)，其形成有缝(21)，该缝(21)喷出从该容器(9)供给的涂布液，该涂布装置(1)通过从缝(21)喷出涂布液从而向基板涂布涂布液。涂布装置(1)具有：升温部(30)，其使从容器(9)供给的涂布液升温；以及均温部(40)，其在从缝(21)喷出由该升温部升温后的涂布液之前，使该涂布液的温度均匀化。

公开(公告)号：CN102873052A

公开(公告)日：2013-01-16

申请号：CN201210241658.2

申请日：2012-07-12

Applicant: 东丽株式会社 ,  东丽工程株式会社

Inventor： 林田健儿 ,  川竹洋 ,  堀内展雄 ,  伊藤祯彦 ,  釜谷学

IPC: B08B3/12 ,  B05C9/08

Abstract: 本发明的目的在于在金属件（3）中，能够使现有技术中由于振动波（基于振动波的空穴现象）的传播不充分而残留的粘着物浮起，在短时间内得到期望的清洗结果，其中该金属件（3）内形成有在该金属件（3）宽度方向上长、且在该金属件（3）的前端开口的缝隙（7）。本发明提供的金属件的清洗方法包括：使金属件前端（9）浸渍在清洗槽（11）内的施加了振动波的清洗液（L）中，使该清洗液（L）通过缝隙（7）向金属件内部流入；由此状态，使气体在缝隙（7）的宽度方向的全长通过缝隙（7）流入金属件内部；其后，使金属件前端（9）浸渍在清洗槽（11）内的施加了振动波的清洗液（L）中，使该清洗液L通过缝隙（7）向金属件内部流入。