公开(公告)号：CN102674702A

公开(公告)日：2012-09-19

申请号：CN201210034636.9

申请日：2012-02-16

Applicant: 东丽工程株式会社

Inventor： 北村义之 ,  谷义则 ,  西元美纪 ,  伊藤祯彦 ,  内山悟 ,  山田浩志

IPC: C03C17/00

Abstract: 本发明涉及清扫部件和涂布器的清扫方法、清扫装置以及显示器用部件的制造方法，该清扫部件在清扫时通过提高从涂布器去除的涂布液沿着清扫部件流出的速度，使该涂布液不再附着在涂布器上，且由于涂布液或清洗用溶剂等不残留而不会导致涂布膜厚度异常或涂布膜面的缺陷，该清扫部件具有相对而置的第一面和第二面、且一边与在涂布器的一个方向上延伸的排出口的排出口面和该排出口面的两个邻接面接触一边在该一个方向上滑动，由此对该排出口面和该两个邻接面进行清扫，并且包括：清扫部，设置在第一面侧上，并与排出口面和两个邻接面同时接触；多个流出路径面，以清扫部为起点，一直延伸到第二面侧；其中，在流出路径面上，在第二面侧设置有切槽。

公开(公告)号：CN104661759B

公开(公告)日：2017-11-28

申请号：CN201380048511.4

申请日：2013-09-12

Applicant: 东丽工程株式会社

Inventor： 林田健儿 ,  北村义之 ,  川竹洋 ,  大霜征彦 ,  村尾幸一

IPC: B05C5/02 ,  B05C11/10 ,  B05D1/26 ,  B05D3/00

CPC classification number: B05C5/0254 ,  B05C5/001 ,  B05C5/0208 ,  B05C11/1007 ,  B05C11/1015 ,  B05C11/1042 ,  B05D1/26

Abstract: 即使在向基板涂布粘度比较高的涂布液的情况下，也能够在基板上高精度并且高速地形成涂膜。具体而言，涂布装置(1)具有：容器(9)，其积存涂布液；以及喷嘴(3)，其形成有缝(21)，该缝(21)喷出从该容器(9)供给的涂布液，该涂布装置(1)通过从缝(21)喷出涂布液从而向基板涂布涂布液。涂布装置(1)具有：升温部(30)，其使从容器(9)供给的涂布液升温；以及均温部(40)，其在从缝(21)喷出由该升温部升温后的涂布液之前，使该涂布液的温度均匀化。

公开(公告)号：CN102674702B

公开(公告)日：2014-05-28

申请号：CN201210034636.9

申请日：2012-02-16

Applicant: 东丽工程株式会社

Inventor： 北村义之 ,  谷义则 ,  西元美纪 ,  伊藤祯彦 ,  内山悟 ,  山田浩志

IPC: C03C17/00

Abstract: 本发明涉及清扫部件和涂布器的清扫方法、清扫装置以及显示器用部件的制造方法，该清扫部件在清扫时通过提高从涂布器去除的涂布液沿着清扫部件流出的速度，使该涂布液不再附着在涂布器上，且由于涂布液或清洗用溶剂等不残留而不会导致涂布膜厚度异常或涂布膜面的缺陷，该清扫部件具有相对而置的第一面和第二面、且一边与在涂布器的一个方向上延伸的排出口的排出口面和该排出口面的两个邻接面接触一边在该一个方向上滑动，由此对该排出口面和该两个邻接面进行清扫，并且包括：清扫部，设置在第一面侧上，并与排出口面和两个邻接面同时接触；多个流出路径面，以清扫部为起点，一直延伸到第二面侧；其中，在流出路径面上，在第二面侧设置有切槽。

公开(公告)号：CN106007391A

公开(公告)日：2016-10-12

申请号：CN201610172096.9

申请日：2016-03-24

Applicant: 东丽工程株式会社

Inventor： 铃木晓雄 ,  谷义则 ,  北村义之

IPC: C03C17/00

CPC classification number: C03C17/002 ,  C03C2218/112

Abstract: 提供一种缝喷嘴、涂布方法以及涂布装置，该缝喷嘴能够减小存在于涂布膜的宽度方向两端部的膜厚不良部的长度而扩大膜厚均匀的产品区域。本发明的缝喷嘴(10)具有：供给口(16)，其供给涂布液；集流腔(13)，其使从供给口供给的涂布液在长度方向上分散；以及流路部(14)，其与集流腔连接而将涂布液引导至喷出口(17)，该缝喷嘴还具有：喷出口面(20)，其与喷出口大致同一平面；以及一对上升面(21L、21R)，它们分别与喷出口面的长度方向两端的缘部相连并向集流腔侧延伸，当流路部的与集流腔的连接位置处的长度方向长度为We、喷出口的长度方向长度为Wd时，We＞Wd。

公开(公告)号：CN104661759A

公开(公告)日：2015-05-27

申请号：CN201380048511.4

申请日：2013-09-12

Applicant: 东丽工程株式会社

Inventor： 林田健儿 ,  北村义之 ,  川竹洋 ,  大霜征彦 ,  村尾幸一

IPC: B05C5/02 ,  B05C11/10 ,  B05D1/26 ,  B05D3/00

CPC classification number: B05C5/0254 ,  B05C5/001 ,  B05C5/0208 ,  B05C11/1007 ,  B05C11/1015 ,  B05C11/1042 ,  B05D1/26

Abstract: 即使在向基板涂布粘度比较高的涂布液的情况下，也能够在基板上高精度并且高速地形成涂膜。具体而言，涂布装置(1)具有：容器(9)，其积存涂布液；以及喷嘴(3)，其形成有缝(21)，该缝(21)喷出从该容器(9)供给的涂布液，该涂布装置(1)通过从缝(21)喷出涂布液从而向基板涂布涂布液。涂布装置(1)具有：升温部(30)，其使从容器(9)供给的涂布液升温；以及均温部(40)，其在从缝(21)喷出由该升温部升温后的涂布液之前，使该涂布液的温度均匀化。