一种低维二氧化碲晶体的异质外延方法

    公开(公告)号:CN118308786B

    公开(公告)日:2024-10-01

    申请号:CN202410402261.X

    申请日:2024-04-03

    Abstract: 本发明公开了一种低维二氧化碲晶体的异质外延方法,针对现有技术中制备成品质量差的问题提出本方案。本发明中所述一种低维二氧化碲晶体的异质外延方法,依次进行物理沉积和化学沉积;所述物理沉积:通过磁控溅射在基片上制备碲膜;所述化学沉积:在所述碲膜上方间隔距离h设置衬底;在预设气氛中加热至温度T并恒温维持时间t,在衬底面向碲膜的一侧制得所述低维二氧化碲晶体。优点在于,使物理沉积和化学沉积两种技术互补,克服了难以形核和晶体质量低的难点,实现了低维二氧化碲晶体外延纳米片/纳米线。合理控制衬底与碲膜之间的距离,提高了形核效率。

    一种基于单晶薄膜的滤波器及制备方法

    公开(公告)号:CN116455341A

    公开(公告)日:2023-07-18

    申请号:CN202310311558.0

    申请日:2023-03-27

    Abstract: 本发明公开了一种基于单晶薄膜的滤波器及制备方法,其中滤波器包括:衬底;中间层,中间层的第一表面与衬底的第一表面连接;空腔,空腔为通过腐蚀中间层的中间部分获得的腔体;底电极层,底电极层的中间部分设有开口,底电极层的第一表面的一部分与中间层的第二表面连接,另一部分与空腔连接;压电层,压电层的第一表面与底电极层的第二表面连接;顶电极层,顶电极层的第一表面与压电层的第二表面连接。本发明采用对中间层进行腐蚀获得空腔的方式,避免了传统加工中为了制作谐振空腔需要一步单独的工艺制作牺牲层,极大地简化了加工工艺,使得制备成本低、可靠性高。本发明可广泛应用于滤波器技术领域。

    一种温度自适应FBAR振荡电路

    公开(公告)号:CN110460307B

    公开(公告)日:2023-07-14

    申请号:CN201910701242.6

    申请日:2019-07-31

    Abstract: 本发明公开了一种温度自适应FBAR振荡电路,涉及集成电路的技术领域,解决了FBAR振荡器的温度频率特性随温度漂移大的技术问题。它包括FBAR振荡器,还包括控制模块、调谐模块和驱动模块,所述控制模块通过调谐模块与驱动模块电路连接,所述FBAR振荡器与驱动模块电路连接。本发明可对FBAR振荡器的温度频率特性进行补偿,减小其频率随温度的漂移,且补偿后的FBAR振荡器的频率更加稳定,补偿精度高。

    一种基于delta-sigma调制器的锁相环小数分频方法

    公开(公告)号:CN112953531B

    公开(公告)日:2022-03-18

    申请号:CN202110188196.1

    申请日:2021-02-18

    Abstract: 本发明提出一种基于delta‑sigma调制器的锁相环小数分频方法,采用吞脉冲式可编程分频器实现分频,该分频器其包括包括高速8/9预分频器、可编程M计数器、可编程A计数器、delta‑sigma调制器和符号拓展模块;该分频器架构中:M计数器为n位计数器,而A计数器为m位计数器,以及分频比的整数部分的位数为(n+m)位、小数部分的位数为p位。通过调整n,m,p的值,获取不同的分频比和频率分辨率。该delta‑sigma调制器为MASH型,并增加了一个位数少的误差反馈调制器和LFSR伪随机序列产生器,该MASH型delta‑sigma调制器设计简单,易满足时序要求,版图面积小。尽管通过LFSR引入了抖动,但是并不会恶化delta‑sigma调制器输出序列的低频处的噪声。

    一种柔性热释电探测器及其制作方法

    公开(公告)号:CN113432729A

    公开(公告)日:2021-09-24

    申请号:CN202110684397.0

    申请日:2021-06-21

    Abstract: 本发明公开了一种柔性热释电探测器及其制作方法,涉及高精度探测技术。针对现有技术中单晶或陶瓷无法应用在柔质薄膜上的问题提出本方案。主要利用敏感单元和柔质衬底分别制作结合转印的方式,将单晶或陶瓷材料支撑的敏感单元附着于柔性衬底上。优点在于,敏感单元仅有几百纳米的厚度,大大减小热容,这使得探测响应速度非常快。解决了难以将高性能的单晶或陶瓷制备在柔性衬底上的问题。将单晶或陶瓷材料与柔性衬底相结合,一方面保留了优良的热释电性能,另一方面利用柔性衬底可以扩大探测器的视野范围与灵活性,并有望应用在人体生物医疗等柔性传感器领域。

    一种基于新型delta-sigma调制器的锁相环小数分频方法

    公开(公告)号:CN112953531A

    公开(公告)日:2021-06-11

    申请号:CN202110188196.1

    申请日:2021-02-18

    Abstract: 本发明提出一种基于新型delta‑sigma调制器的锁相环小数分频方法,采用吞脉冲式可编程分频器实现分频,该分频器其包括包括高速8/9预分频器、可编程M计数器、可编程A计数器、新型ΔΣ调制器和符号拓展模块;该分频器架构中:M计数器为n位计数器,而A计数器为m位计数器,以及分频比的整数部分的位数为(n+m)位、小数部分的位数为p位。通过调整n,m,p的值,获取不同的分频比和频率分辨率。该新型ΔΣ调制器为MASH型,并增加了一个位数少的误差反馈调制器和LFSR伪随机序列产生器,该MASH型ΔΣ调制器设计简单,易满足时序要求,版图面积小。尽管通过LFSR引入了抖动,但是并不会恶化ΔΣ调制器输出序列的低频处的噪声。

    一种采用声波谐振器和碳纳米管的探测器及其制造方法

    公开(公告)号:CN109708766B

    公开(公告)日:2021-01-15

    申请号:CN201910002036.6

    申请日:2019-01-02

    Inventor: 周长见 王琪

    Abstract: 本发明公开了一种采用声波谐振器和碳纳米管的探测器及其制造方法,探测器包括声波谐振器,所述的声波谐振器包括衬底,在所述的声波谐振器远离衬底的一侧设有碳纳米管。制造方法为在声波谐振器远离衬底的一侧生长碳纳米管。其优点在于:所述的探测器响应时间短、灵敏度高,同时具有较高的工作频率,具有在无线通信领域的应用前景。

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