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公开(公告)号：CN100550429C
公开(公告)日：2009-10-14
申请号：CN02826974.8
申请日：2002-11-08
Inventor： 达纳·R·德吕斯
CPC classification number: B81B3/0024 , B81B3/0051 , B81B2201/014 , B81B2201/018 , B81B2203/0118 , B81B2203/04 , B81B2207/07 , B81C1/0015 , B81C2201/0107 , B81C2201/0108 , B81C2201/0109 , H01H1/04 , H01H1/504 , H01H59/0009 , H01H61/04 , H01H2001/0042 , H01H2001/0063 , H01H2001/0089 , H01H2059/0072 , H01H2061/006 , H01L23/3735 , H01L23/522 , H01L27/1203 , H01L2924/0002 , H01L2924/09701 , H02N1/006 , H02N10/00 , Y10T29/49222 , H01L2924/00
Abstract: 根据一个实施例，提供一种悬挂在基板上方的可移动MEMS部件。该部件可包括结构层，该结构层具有与基板分开一定间隙的可移动电极。该部件还可包括至少一个支座凸块，该支座凸块固定到结构层上并延伸到所述间隙中，当该部件移动时用于防止可移动电极与导电材料接触。
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公开(公告)号：CN101427336A
公开(公告)日：2009-05-06
申请号：CN200780014646.3
申请日：2007-04-25
Applicant: 松下电器产业株式会社
CPC classification number: B81B5/00 , B81B2201/018 , B81B2201/034 , H01H1/0036 , H01P1/127
Abstract: 本发明的微机械开关是一种响应来自外部的控制信号，切换信号电极间的电连接的微机械开关，其中，来自外部的控制信号包括实现信号应通过的信号电极之间的电连接的第1控制信号，以及切断该信号电极之间的电连接的第2控制信号，所述微机械开关具备：基板；设置于基板上，并能在基板上旋转的旋转体；设置于旋转体上的可动电极；第1信号电极，一端与可动电极的一端进行电连接，另一端设置于基板上；第2信号电极，设置于旋转体的周围，并位于因旋转体的旋转，能够与可动电极的另一端实现电连接的位置；及驱动部，响应第1控制信号，使旋转体旋转到使可动电极的另一端与第2信号电极实现电连接的位置，响应第2控制信号，使旋转体旋转到使可动电极的另一端与第2信号电极之间的电连接被切断的位置。
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公开(公告)号：CN1292447C
公开(公告)日：2006-12-27
申请号：CN02826914.4
申请日：2002-11-08
Inventor： 肖恩·J·坎宁安 , 达纳·R·德吕斯 , 苏巴哈姆·塞特 , 斯韦特兰娜·塔蒂克-卢奇克
IPC: H01H57/00
CPC classification number: B81B3/0024 , B81B3/0051 , B81B2201/014 , B81B2201/018 , B81B2203/0118 , B81B2203/04 , B81B2207/07 , B81C1/0015 , B81C2201/0107 , B81C2201/0108 , B81C2201/0109 , H01H1/04 , H01H1/504 , H01H59/0009 , H01H61/04 , H01H2001/0042 , H01H2001/0063 , H01H2001/0089 , H01H2059/0072 , H01H2061/006 , H01L23/3735 , H01L23/522 , H01L27/1203 , H01L2924/0002 , H01L2924/09701 , H02N1/006 , H02N10/00 , Y10T29/49222 , H01L2924/00
Abstract: 提供一种悬挂在基板(102)上的活动的、三层微元件(108)，并且包括第一导电层(116)，将该第一导电层构图限定活动电极(114)。用间隙将基板(102)与第一金属层(116)分开。微元件(108)还包括在第一金属层(116)上形成并且一端相对于基板(102)固定的电介质层(112)。此外，微元件(102)包括在介质层(112)上形成的第二导电层(120)，并且构图限定与活动电极(114)电连接的电极互连(124)。
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公开(公告)号：CN1574151A
公开(公告)日：2005-02-02
申请号：CN200310119761.0
申请日：2003-12-05
Applicant: 诺思路·格鲁曼公司
Inventor： 戴维·伊普
CPC classification number: G02B26/0841 , B81B5/00 , B81B2201/018 , H01H9/40 , H01H59/0009 , H01H2001/0078
Abstract: 一个微型机电系统(MEMS)开关(10)包括一个基底(12)以及一个被设置在基底(12)之上的不受应力的梁(14)。该不受应力的梁(14)被设置在第一和第二台架(16、18)以内，用以限制不受应力的梁(14)在基本上不平行于基底(12)的方向上的位移。被设置在不受应力的梁(14)的第一纵侧面(22)附近的一组一个或多个控制垫(20)，用以在不受应力的梁(14)的第一纵侧面(22)上产生一个电位。该不受应力的梁(14)可以按照该电位，沿着基本上平行于基底(12)的方向产生位移，以便提供一条信号通路。
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公开(公告)号：CN106328598A
公开(公告)日：2017-01-11
申请号：CN201610500334.4
申请日：2016-06-29
Applicant: 英飞凌科技股份有限公司
Inventor： M·胡茨勒
CPC classification number: H01L29/4236 , B81B3/001 , B81B3/0086 , B81B2201/018 , B81B2203/051 , H01L27/088 , H01L23/13 , H01L27/0218
Abstract: 一种开关器件，包括设置在衬底中的开口。源极邻近开口地布置并且具有与开口的侧壁平行的接触表面。漏极邻近开口地布置并且具有与开口的侧壁平行的接触表面。可移动栅极堆叠包括沟道和栅极。可移动栅极堆叠设置在开口之内。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN105712292A
公开(公告)日：2016-06-29
申请号：CN201510959028.2
申请日：2015-12-18
Applicant: 德尔福芒斯公司
CPC classification number: H01H59/0009 , B81B3/0051 , B81B2201/018 , B81B2203/0127 , B81C1/00158 , B81C2201/013 , H01H49/00 , H01H2059/0027 , H01H2059/0036 , H01H2227/004 , B81C1/00015 , B81B7/02
Abstract: 本发明涉及制造MEMS器件的方法，其包括以下步骤：在牺牲基层上方形成第一隔膜层，在第一隔膜层上方形成第二隔膜层，其中第二隔膜层包括暴露第一隔膜层的侧向部分的侧向凹入部，以及形成止动件以限定第一隔膜层的移动。此外，提供了MEMS器件，其包括可移动隔膜，可移动隔膜包括第一隔膜层与形成在第一隔膜层上方的第二隔膜层，其中第二隔膜层包括暴露第一隔膜层的侧向部分的侧向凹入部。
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公开(公告)号：CN105712285A
公开(公告)日：2016-06-29
申请号：CN201510971269.9
申请日：2015-12-22
Applicant: 德尔福芒斯公司
CPC classification number: H01H59/0009 , B81B3/0086 , B81B2201/018 , B81B2203/0127 , B81C1/00158 , B81C2201/0188 , H01H49/00 , H01H2059/0027 , H01H2059/0036 , H01H2227/004 , B81B7/02 , H01H59/00
Abstract: 本发明涉及制造尤其是MEMS开关的MEMS设备的方法，其包括在基板上方形成柱与传导(传输)线以及在柱与传导线上方形成隔膜的步骤，形成隔膜步骤包括形成第一隔膜层和在柱中的一个上方的区域和/或传导线上方的区域中在第一隔膜层上方形成第二隔膜层使得第一隔膜层具有第二隔膜层未形成在其中的区域，该区域邻近第二隔膜层形成于其中的区域。此外，提供了尤其是MEMS开关的MEMS设备，其包括形成在基板上方的柱与传导(传输)线以及在柱与传导线上方的隔膜。隔膜包括第一隔膜层与在柱中的一个上方的区域和/或传导线上方的区域中形成在第一隔膜层上方的第二隔膜层，使得第一隔膜层具有第二隔膜层未形成在其中的区域，该区域邻近第二隔膜层形成于其中的区域。
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公开(公告)号：CN102362330B
公开(公告)日：2014-09-03
申请号：CN201080012592.9
申请日：2010-03-18
Applicant: 德尔福芒斯公司
IPC: H01H59/00
CPC classification number: H01H59/0009 , B81B5/00 , B81B2201/018
Abstract: 一种MEMS结构包括：柔性膜(6)，具有限定纵向(X)的主纵轴(5a)；至少一个支柱(3、3’)，位于柔性膜(6)下面；电降低致动装置(7)，适用于使柔性膜(6)向下弯曲到向下强制状态；电升高致动装置(8)，适用于使柔性膜(6)向上弯曲到向上强制状态。电降低致动装置(7)或者电升高致动装置(8)包括在膜(6)的一部分下面延伸并且适用于在纵向(X)在所述至少一个支柱(3)的两侧上同时对膜(6)施加拉力的致动区(7c或8c)。
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公开(公告)号：CN103858199A
公开(公告)日：2014-06-11
申请号：CN201180073766.7
申请日：2011-09-30
Applicant: 富士通株式会社
CPC classification number: H01H1/0036 , B81B3/0072 , B81B3/0097 , B81B2201/018 , B81B2203/0118 , H01G5/16 , H01H59/0009
Abstract: 形成具有翘曲被抑制的可动部的电气设备。在形成在衬底上的第一种子层上并与第一空间区域相邻的位置，通过镀敷形成至少一个第二金属材料的台座部和相向电极，利用第一牺牲层填埋第一空间区域，利用相同的抗蚀图案，通过连续镀敷，形成从第一牺牲层上延伸至台座部的表面的一部分的金属材料的第二牺牲层以及在第二牺牲层上的具有与第二金属材料相同的组分、热膨胀系数的第三金属材料的下部结构体，露出未形成有第二牺牲层的台座部表面，在台座部、下部结构体上，通过镀敷形成与第二金属材料、第三金属材料具有相同的组分、热膨胀系数的第四金属材料的上部结构体，去除第一牺牲层、第二牺牲层，制成具有可动部的电气设备。
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公开(公告)号：CN103828050A
公开(公告)日：2014-05-28
申请号：CN201280042848.X
申请日：2012-09-04
Applicant: 卡文迪什动力有限公司
Inventor： 罗伯托·彼得勒斯·范-卡普恩 , 阿奈兹·乌纳穆诺 , 理查德·L·奈普 , 罗伯特·加迪 , 拉希德·马哈米德
IPC: H01L27/14
CPC classification number: H01H59/0009 , B81B3/0097 , B81B7/04 , B81B2201/018 , B81B2203/0109 , B81B2203/0118 , B81B2203/0172 , B81B2203/0307
Abstract: 本发明一般涉及一种MEMS装置，该装置具有多个悬臂，所述悬臂在锚固区耦连和/或通过在所述悬臂中心区域耦连的管脚耦连。所述管脚保证了每个悬臂能够在相同的电压下从RF电极上移动/释放。所述锚固区的耦连在悬臂的所有部分中匹配机械刚度，使得所有的悬臂同时移动。
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