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    加速度传感器及其制造方法
    1.
    发明公开
    加速度传感器及其制造方法 有权 转让

    公开(公告)号：CN106809799A

    公开(公告)日：2017-06-09

    申请号：CN201510849497.9

    申请日：2015-11-27

    申请人： 上海微联传感科技有限公司

    发明人： 缪建民 ,  郭帅

    IPC分类号： B81C1/00 ,  B81C3/00 ,  B81B3/00 ,  B81B5/00 ,  G01P15/125

    CPC分类号： B81C3/00 ,  B81B3/0021 ,  B81B3/0051 ,  B81B5/00 ,  B81C1/0015 ,  B81C1/00198 ,  B81C1/0065 ,  G01P15/125

    摘要： 本发明提供一种加速度传感器及其制造方法。所述制造方法包括：在单晶硅基底上刻蚀包括为z轴向加速度敏感电容提供空间的第一腔体；在刻蚀了各所述腔体的单晶硅基底上生成氧化硅层；在生成氧化硅层后的所述单晶硅基底上采用硅硅键合方式覆盖单晶硅基板，并予以减薄，以形成敏感器件层；所述敏感器件层用于形成包含z轴向加速度敏感电容的敏感电容；在所述敏感器件层上生成氧化硅薄膜，并将除所述z轴向加速度敏感电容结构中悬臂梁处以外的氧化硅薄膜腐蚀掉；在敏感器件层上沉淀与各敏感电容相连的金属电极；按照预设的包含竖直轴向加速度敏感电容的结构图案，将位于相应腔体上的敏感器件层进行刻蚀。本发明解决了z轴加速度传感器灵敏度低的问题。

    具有宽带反射特性的干涉式光学调制器
    4.
    发明授权
    具有宽带反射特性的干涉式光学调制器 失效

    公开(公告)号：CN101801838B

    公开(公告)日：2012-11-14

    申请号：CN200880107832.6

    申请日：2008-08-19

    申请人： 高通MEMS科技公司

    发明人： 徐刚

    IPC分类号： G02B26/00 ,  B81C1/00 ,  G02B26/08 ,  G09F9/37

    CPC分类号： G02B26/001 ,  B81B5/00 ,  G02B5/0858 ,  G06T1/20

    摘要： 本发明提供一种适合于在视频显示器中形成像素的光学装置800。所述光学装置800包含：第一层802，其具有第一折射率；在所述第一层802上的第二层804，所述第二层804具有小于所述第一折射率的第二折射率；及在所述第二层804上的第三层806，所述第三层806具有大于所述第二折射率的第三折射率；及第四层810，其为至少部分光学吸收性的，其中光学堆叠808与所述第四层810在所述装置处于第一状态下时彼此相距第一距离，且在所述装置处于第二状态下时彼此相距第二距离，所述第一距离不同于所述第二距离。

    一种微纳米发动机及其制备方法
    7.
    发明公开
    一种微纳米发动机及其制备方法 无效

    公开(公告)号：CN106927418A

    公开(公告)日：2017-07-07

    申请号：CN201710197517.8

    申请日：2017-03-29

    申请人： 广东工业大学

    发明人： 王少彬 ,  叶恒 ,  孙红旗 ,  敖志敏

    IPC分类号： B81B5/00 ,  B81C1/00

    CPC分类号： B81B5/00 ,  B81C1/00015

    摘要： 本发明提供了一种微纳米发动机的制备方法，包括：A)在多孔模板上沉积金属，得到导电模板；B)将包含氧化石墨烯的电解质溶液作为第一电镀液，在以导电模板作为工作电极的三电极体系电镀池中将氧化石墨烯电镀沉积至导电模板的孔内壁上；C)将包含高锰酸根离子的电解质溶液作为第二电镀液，在步骤B)去除第一电镀液的三电极体系的电镀池中电还原沉积二氧化锰至导电模板的孔内壁上；D)去除所述导电模板上的金属层以及导电模板，得到微纳米发动机。本发明利用阴极电化学还原沉积方法制备微纳米发动机。在低浓度双氧水燃料中具有高的运动速度。在生物医学和环境治理领域具有巨大的应用前景。

    一种静电驱动结构及其制作方法
    8.
    发明公开
    一种静电驱动结构及其制作方法 无效

    公开(公告)号：CN106698322A

    公开(公告)日：2017-05-24

    申请号：CN201510779710.3

    申请日：2015-11-13

    申请人： 中国科学院上海微系统与信息技术研究所

    发明人： 熊斌 ,  刘松 ,  徐德辉 ,  马颖蕾

    IPC分类号： B81B5/00 ,  B81C1/00

    CPC分类号： B81B5/00 ,  B81C1/00198

    摘要： 本发明提供一种静电驱动结构，包括固定叉指电极及两端由支撑梁支撑而悬空的可动叉指电极；所述固定叉指电极包括若干呈周期性排列的第一叉指，所述可动叉指电极包括若干与所述第一叉指交错排列的第二叉指；其中：所述第一叉指及第二叉指均在所述支撑梁方向上左右对称；所述第二叉指在往所述固定叉指电极方向上宽度逐渐减小；所述第一叉指在往所述可动叉指电极方向上宽度逐渐减小。本发明中，固定叉指电极与可动叉指电极相对运动时受到滑膜阻尼和压膜阻尼的共同作用，电极的驱动力和阻尼力介于平板电极和普通叉指电极之间，既解决了普通叉指电极驱动力过小的问题，又使得阻尼力小于平板电极。因此本发明的静电驱动结构能够获得更大的可动位移。

    梳形致动器
    9.
    发明公开
    梳形致动器 失效

    公开(公告)号：CN106467286A

    公开(公告)日：2017-03-01

    申请号：CN201610638305.4

    申请日：2016-08-05

    申请人： 先进微系统科技股份有限公司

    发明人： 洪昌黎 ,  林大为 ,  蒋铠宇

    IPC分类号： B81B5/00

    CPC分类号： H02N1/008 ,  B81B5/00

    摘要： 本发明揭示一种梳形致动器，包括支承基座，设置第一梳形电极及第一表面，第一梳形电极自第一表面延伸；可移动体，依附于支承基座，设置第二梳形电极以及第二表面，第二梳形电极自第二表面延伸，可移动体可绕着一旋转轴作转动并且使第一梳形电极叉合于第二梳形电极；其中，第二梳形电极朝向第一方向延伸，旋转轴朝向第二方向延伸，第一梳形电极朝向第三方向延伸，第一梳形电极的第一侧面与第二表面之间的距离小于第二梳形电极的端面与第二表面之间的第二长度。本发明的梳形致动器可解决可移动体过度的侧向位移或电性短路问题。