公开(公告)号：CN105712292A

公开(公告)日：2016-06-29

申请号：CN201510959028.2

申请日：2015-12-18

Applicant: 德尔福芒斯公司

Inventor： 安-苏菲·罗利耶 ,  安托万·博纳贝尔 ,  卡里姆·赛格尼

IPC: B81C1/00 ,  B81B7/02

CPC classification number: H01H59/0009 ,  B81B3/0051 ,  B81B2201/018 ,  B81B2203/0127 ,  B81C1/00158 ,  B81C2201/013 ,  H01H49/00 ,  H01H2059/0027 ,  H01H2059/0036 ,  H01H2227/004 ,  B81C1/00015 ,  B81B7/02

Abstract: 本发明涉及制造MEMS器件的方法，其包括以下步骤：在牺牲基层上方形成第一隔膜层，在第一隔膜层上方形成第二隔膜层，其中第二隔膜层包括暴露第一隔膜层的侧向部分的侧向凹入部，以及形成止动件以限定第一隔膜层的移动。此外，提供了MEMS器件，其包括可移动隔膜，可移动隔膜包括第一隔膜层与形成在第一隔膜层上方的第二隔膜层，其中第二隔膜层包括暴露第一隔膜层的侧向部分的侧向凹入部。