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公开(公告)号：CN103032515A
公开(公告)日：2013-04-10
申请号：CN201210578292.8
申请日：2012-12-19
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: F16F15/027
Abstract: 滑动关节轴承角度解耦的零刚度隔振器与隔振系统属于精密隔振技术领域，隔振器主体的套筒与下安装板、活塞筒与套筒之间分别通过气浮面进行润滑与支撑，上安装板与下安装板之间的角运动自由度通过滑动关节轴承进行解耦，音圈电机、位移传感器、限位开关和控制器、驱动器构成位置闭环反馈控制系统，对上、下安装板的相对位置进行精确控制；本发明具有垂向和水平方向零刚度、高定位精度及角度解耦特性，可获得极低的固有频率和突出的低频/超低频隔振性能，从而有效解决超精密测量仪器与加工装备、尤其是步进扫描光刻机中的高性能隔振问题。
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公开(公告)号：CN103032514A
公开(公告)日：2013-04-10
申请号：CN201210578285.8
申请日：2012-12-19
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: F16F15/027
Abstract: 双层气浮正交解耦与滑动关节轴承角度解耦的零刚度隔振器属于精密隔振技术领域，隔振器主体的套筒与气浮板、气浮板与下安装板、活塞筒与套筒之间通过气浮面进行润滑与支撑，上、下安装板之间的水平直线运动自由度通过双层正交气浮导轨进行解耦，二者之间的角运动自由度通过滑动关节轴承进行解耦，音圈电机、位移传感器、限位开关和控制器、驱动器构成位置闭环反馈控制系统，对上、下安装板的相对位置进行精确控制；本发明具有三维零刚度、高定位精度、直线运动自由度和角运动自由度解耦的特性，可有效解决超精密测量仪器与加工装备、尤其是步进扫描光刻机中的高性能隔振问题。
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公开(公告)号：CN101493310B
公开(公告)日：2010-11-10
申请号：CN200910071305.0
申请日：2009-01-21
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 具有对径双窗口极板结构的圆柱型双向电容位移传感器属于精密仪器与测量技术领域，其圆柱型双向电容测头由测杆、极板屏蔽件、左极板、右极板、销钉、信号导杆组成，在测杆端部上安装整体呈圆柱形的极板屏蔽件，左、右极板对径设置在极板屏蔽件上且相互对称，在极板与极板屏蔽件之间设有绝缘间隙；在极板屏蔽件内配装一根销钉，在测杆内配装一根信号导杆，销钉的两端分别与左、右极板连接，信号导杆的一端与销钉连接；或者在极板屏蔽件内配装两根销钉，在测杆内配装两根信号导杆，两根销钉各自的一端分别与左、右极板连接，另一端分别与两根信号导杆的一端连接；本发明具有可测深径比大、可进行双向瞄准触发、传感器具有一定量程等特点。
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公开(公告)号：CN101561240B
公开(公告)日：2010-10-20
申请号：CN200910072143.2
申请日：2009-05-31
Applicant: 哈尔滨工业大学
CPC classification number: G01B7/012
Abstract: 基于球形电容极板的超精密非接触式三维瞄准与测量传感器属于精密仪器与测量技术领域，其测头由球形测端、测杆、信号导线、等位驱动管、绝缘部件、测杆装卡机构和测头主体构成，信号导线、等位驱动管和测杆同轴装配，三者通过绝缘部件相互绝缘定位，在绝缘部件端部安装球形测端，球形测端的外表面设有球形电容极板，并通过信号导线输出传感信号；传感器采用电容信号转换与处理电路，并采用等位驱动与屏蔽消除寄生电容和空间电磁干扰的影响；本发明最大可测深径比可达到100∶1以上，分辨力可达纳米量级，且在空间三维任意方向都具有一致的传感特性，为具有大深径比与深宽比的深孔、狭槽及内腔体零件的高精度测量提供了一种有效的传感器。
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公开(公告)号：CN101561240A
公开(公告)日：2009-10-21
申请号：CN200910072143.2
申请日：2009-05-31
Applicant: 哈尔滨工业大学
CPC classification number: G01B7/012
Abstract: 基于球形电容极板的超精密非接触式三维瞄准与测量传感器属于精密仪器与测量技术领域，其测头由球形测端、测杆、信号导线、等位驱动管、绝缘部件、测杆装卡机构和测头主体构成，信号导线、等位驱动管和测杆同轴装配，三者通过绝缘部件相互绝缘定位，在绝缘部件端部安装球形测端，球形测端的外表面设有球形电容极板，并通过信号导线输出传感信号；传感器采用电容信号转换与处理电路，并采用等位驱动与屏蔽消除寄生电容和空间电磁干扰的影响；本发明最大可测深径比可达到100∶1以上，分辨力可达纳米量级，且在空间三维任意方向都具有一致的传感特性，为具有大深径比与深宽比的深孔、狭槽及内腔体零件的高精度测量提供了一种有效的传感器。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN115420369B
公开(公告)日：2025-01-10
申请号：CN202211002139.0
申请日：2022-08-21
Applicant: 哈尔滨工业大学 , 中广核研究院有限公司 , 中国广核电力股份有限公司
Abstract: 本发明涉及振动计量技术领域，特别是涉及一种驱动与导向一体的单端侧边励磁圆柱形电磁驱动装置，包括电磁驱动部件和运动部件；电磁驱动部件包括下磁轭、设置于下磁轭上侧的呈环形的永磁体、设置于永磁体上侧的呈环形的上磁轭；下磁轭、永磁体和上磁轭内侧形成运动腔；在下磁轭上且位于运动腔内侧安装有中心磁轭；中心磁轭和上磁轭之间设置有气隙；运动部件包括位于中心磁轭上侧的工作台面，在工作台面靠近中心磁轭的一侧面设置有线圈骨架，线圈骨架滑动套接于中心磁轭的外侧；线圈骨架的外侧壁缠绕有直流线圈和激励线圈。通过采用上述方案，最大程度地降低了运动部件装配难度，并减小了运动部件自重，有效提高了电磁驱动装置的装配精度和驱动能力。
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公开(公告)号：CN119273737A
公开(公告)日：2025-01-07
申请号：CN202411297073.1
申请日：2024-09-18
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明涉及一种用于弥散型金属伪影工况下的高精度工业CT尺寸测量方法，属于无损检测和图像处理领域。该方法通过获取被测工件的三维CT图像，经过切片处理后，采用泊松分布降噪技术减少图像噪声，并利用“双阈值法”去除高亮金属伪影。随后，通过二值化、腐蚀膨胀与开闭运算处理，提取初级粗略边缘并进行精细修正。利用数据增强技术，增强模型的适应性。通过“高精度”条件式对抗生成网络的训练，获得带有精细边缘信息的图像。最终，计算并输出管状材料的直线度、内径和外径、凸曲率半径和凹曲率半径、管壁厚度及厚度标准差等关键参数。本方法能够在弥散型金属伪影条件下显著提高工业CT尺寸测量的精度和可靠性。
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公开(公告)号：CN119267484A
公开(公告)日：2025-01-07
申请号：CN202411528389.7
申请日：2024-10-30
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 刚度自适应的三自由度低频电磁隔振器属于精密隔振技术领域，包含三套由刚度自适应电磁阵列与螺旋弹簧并联构成的低频电磁隔振器。螺旋弹簧以被动方式稳定支撑负载，并有效隔绝中高频段的振动；刚度自适应电磁阵列通过由四列垂直磁化的等横截面立方永磁体构成的动磁阵列与定磁阵列产生高负刚度，并采用加速度反馈即时调节线圈电流，响应外部激励与负载质量变化，动态调整负刚度，匹配三自由度近全频带隔振需求。该隔振器在垂向及水平旋转自由度上具备可调低动态刚度，隔振频率低且频带宽，为尖端设备提供“超静”环境，显著提升仪器精度。
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公开(公告)号：CN119267480A
公开(公告)日：2025-01-07
申请号：CN202411528378.9
申请日：2024-10-30
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: F16F6/00
Abstract: 刚度与阻尼自适应协同调控的三自由度隔微振器属于精密隔振技术领域，可在变载荷下实现三自由度的近全频带隔振性能。包括上板、基板以及连接两者的三套低频隔振阻尼器；低频隔振阻尼器中的负刚度阻尼调控器利用多层沿轴向阵列排布、相邻层间垂直磁化的等截面磁环阵列构建单边高磁密励磁磁场，并将垂直磁化的定磁环阵列与动磁环阵列同轴嵌套产生高负刚度特性、与线圈同轴嵌套产生高阻尼特性；通过实时感知隔振负载质量或激励频率的变化，调节通电线圈中电流的大小，产生精密可控的励磁磁通，匹配近全频带隔振的负刚度与阻尼需求，达到多方位、近全频带与高性能隔振效果。
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公开(公告)号：CN117325140B
公开(公告)日：2024-12-10
申请号：CN202311373755.1
申请日：2023-10-23
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: B25J9/10
Abstract: 本发明公开了一种基于滑轮的线驱动柔性机械臂，包括椎节、容纳槽、安装槽、第二端板、关节组件、万向节、凸块、螺纹孔、耳板、轴承、螺丝、滚轮组件、连接轴、固定轮、安装座、张紧轮、第一导向轮、牵引绳、绳环、第三端板和第二导向轮；本发明利用滚轮组件代替绳孔，使得牵引绳与绳孔间的滑动摩擦变为滚动摩擦，以此减小牵引绳受到的摩擦阻力，从而避免了机械臂运动过程中的振颤问题，保证了机械臂的运动精度；本发明中的牵引绳通过绳环套在固定轮上，使得牵引绳与自身所驱动的椎节之间实现固定连接，因此具有较强的稳定性；本发明中利用张紧轮为牵引绳提供预紧力，保证牵引绳运行的稳定性定。
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