公开(公告)号：CN101561240B

公开(公告)日：2010-10-20

申请号：CN200910072143.2

申请日：2009-05-31

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 谭久彬 ,  崔俊宁 ,  欧耀东 ,  韩璐

IPC: G01B7/00 ,  G01B7/02 ,  G01B7/28 ,  G01B7/004 ,  G01B7/016

CPC classification number: G01B7/012

Abstract: 基于球形电容极板的超精密非接触式三维瞄准与测量传感器属于精密仪器与测量技术领域，其测头由球形测端、测杆、信号导线、等位驱动管、绝缘部件、测杆装卡机构和测头主体构成，信号导线、等位驱动管和测杆同轴装配，三者通过绝缘部件相互绝缘定位，在绝缘部件端部安装球形测端，球形测端的外表面设有球形电容极板，并通过信号导线输出传感信号；传感器采用电容信号转换与处理电路，并采用等位驱动与屏蔽消除寄生电容和空间电磁干扰的影响；本发明最大可测深径比可达到100∶1以上，分辨力可达纳米量级，且在空间三维任意方向都具有一致的传感特性，为具有大深径比与深宽比的深孔、狭槽及内腔体零件的高精度测量提供了一种有效的传感器。

公开(公告)号：CN101561240A

公开(公告)日：2009-10-21

申请号：CN200910072143.2

申请日：2009-05-31

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 谭久彬 ,  崔俊宁 ,  欧耀东 ,  韩璐

IPC: G01B7/00 ,  G01B7/02 ,  G01B7/28 ,  G01B7/004 ,  G01B7/016

CPC classification number: G01B7/012

Abstract: 基于球形电容极板的超精密非接触式三维瞄准与测量传感器属于精密仪器与测量技术领域，其测头由球形测端、测杆、信号导线、等位驱动管、绝缘部件、测杆装卡机构和测头主体构成，信号导线、等位驱动管和测杆同轴装配，三者通过绝缘部件相互绝缘定位，在绝缘部件端部安装球形测端，球形测端的外表面设有球形电容极板，并通过信号导线输出传感信号；传感器采用电容信号转换与处理电路，并采用等位驱动与屏蔽消除寄生电容和空间电磁干扰的影响；本发明最大可测深径比可达到100∶1以上，分辨力可达纳米量级，且在空间三维任意方向都具有一致的传感特性，为具有大深径比与深宽比的深孔、狭槽及内腔体零件的高精度测量提供了一种有效的传感器。