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公开(公告)号：CN100483783C
公开(公告)日：2009-04-29
申请号：CN200410076968.9
申请日：2004-08-30
Applicant: 株式会社半导体能源研究所
CPC classification number: H01L51/5088 , H01L27/3244 , H01L51/5246 , H01L51/5259
Abstract: 根据本发明，一个绝缘的或半绝缘的具有隧道电流能流过的厚度的壁垒层设置在空穴注入电极和带有空穴传输特性的有机化合物层(空穴注入层或空穴传输层)之间。具体地说，含有硅或二氧化硅的绝缘的或半绝缘的薄壁垒层；硅或二氧化硅和光传送导电氧化物材料；或硅或二氧化硅，光传送导电氧化物材料，以及碳可以被设置在由光传送导电氧化物材料形成的光传送导电氧化物薄膜和含有有机化合物的空穴注入层之间。
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公开(公告)号：CN100468823C
公开(公告)日：2009-03-11
申请号：CN03121782.6
申请日：2003-01-31
Applicant: 株式会社半导体能源研究所
CPC classification number: C23C14/564 , C23C14/12 , C23C14/246 , C23C14/56 , H01L51/001 , H01L51/005 , H01L51/0059 , H01L51/0078 , H01L51/0081 , H01L51/0084 , H01L51/56
Abstract: 提供了一种能够提高发光器件的可靠性和亮度的制造系统，它使用很高纯度的蒸发用的EL材料。该系统还能有效使用EL材料代替玻璃瓶，使用放入蒸发装置中的容器(第一容器11a)，并且材料制造商(18)直接在容器中存储EL材料(12)，或者通过升华来提纯和存储。容器然后输送到发光器件制造者(19)处进行蒸发。用该制造系统，可以防止杂质污染高纯度的EL材料。该系统还消除了从玻璃瓶给容器输送EL材料的麻烦。该容器可以由材料制造商回收，并且剩余在容器中的EL材料可以被收集，由制造系统重复使用。
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公开(公告)号：CN100354452C
公开(公告)日：2007-12-12
申请号：CN03106346.2
申请日：2003-02-25
Applicant: 株式会社半导体能源研究所
CPC classification number: C23C14/12 , C23C14/24 , C23C14/505
Abstract: 提供了一种对EL材料具有很高的利用率并且薄膜的均匀度良好的蒸发装置。本发明是一种具有可移动蒸发源和衬底旋转单元的蒸发装置，其中蒸发源支持器与工件(衬底)的距离减小到30cm或更小，20cm更好，5到15cm最好，以便提高对EL材料的利用率。在蒸发过程中，为了进行沉积，使蒸发源支持器沿着X方向和Y方向移动并且使工件(衬底)旋转。因此，提高了薄膜的均匀度。
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公开(公告)号：CN1319116C
公开(公告)日：2007-05-30
申请号：CN02154229.5
申请日：2002-12-12
Applicant: 株式会社半导体能源研究所
CPC classification number: C23C14/5806 , B05D1/60 , C23C14/042 , C23C14/12 , C23C14/56 , C23C14/564 , C23C14/568 , C23C16/45514 , H01L51/001 , H01L51/5008 , H01L51/56 , Y10S438/905
Abstract: 本发明的目的在于提供一种能够形成高密度和高纯度EL层的膜形成装置和清洁方法。本发明为通过加热衬底的加热装置加热衬底10、借助连接到膜形成室的减压装置(如涡轮分子泵、干泵、低温抽气泵等的真空泵)将膜形成室的压力减小到5×10-3乇(0.665Pa)或以下，优选减小到1×10-3乇(0.133Pa)或以下并通过从淀积源淀积有机化合物材料进行膜形成，形成高密度EL层。在膜形成室中，通过等离子体进行淀积掩模的清洁。
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公开(公告)号：CN1708852A
公开(公告)日：2005-12-14
申请号：CN200380102145.2
申请日：2003-10-23
Applicant: 株式会社半导体能源研究所
IPC: H01L27/12 , H01L21/336 , H01L29/786
CPC classification number: H01L27/3276 , H01L27/12 , H01L27/1214 , H01L27/124 , H01L27/1266 , H01L27/14634 , H01L27/14643 , H01L27/14683 , H01L27/3272 , H01L29/66757 , H01L29/78603 , H01L31/105 , H01L51/0024 , H01L51/003 , H01L51/5212 , H01L51/5253 , H01L2221/68368
Abstract: 本发明的课题是提供在各种各样的基体材料粘贴被剥离层的轻量的半导体装置及其制作方法。本发明在衬底上形成被剥离层，在该被剥离层上用粘接材料粘贴设有刻蚀阻止膜的密封衬底，然后，仅刻蚀或研磨去除密封衬底。残留的刻蚀阻止膜直接作为阻挡膜。另外，粘接材料也可采用粘接磁片。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1458666A
公开(公告)日：2003-11-26
申请号：CN03131448.1
申请日：2003-05-16
Applicant: 株式会社半导体能源研究所
CPC classification number: H01L21/67745 , C23C14/12 , C23C14/243 , C23C14/568 , H01L21/67276 , H01L51/001 , Y10S414/135 , Y10S438/908
Abstract: 提供一种制造装置，它能提高蒸发材料的利用效率，减少具有有机光发射元件的光发射器件的制造成本，并缩短制造光发射器件所必需的制造时间。根据本发明，具有多个成膜室的多室制造装置包括用于对第一衬底蒸发的第一成膜室和用于对第二衬底蒸发的第二成膜室。在每个成膜室中，层叠多个有机化合物层，由此提高生产量。此外，可以以同样方式并行对多个成膜室中的各个衬底进行蒸发，同时另一个成膜室进行清洗。
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公开(公告)号：CN102709493B
公开(公告)日：2015-11-25
申请号：CN201210200200.2
申请日：2003-03-07
Applicant: 株式会社半导体能源研究所
IPC: H01L51/56
CPC classification number: H01L51/5203 , H01L27/12 , H01L27/322 , H01L27/3246 , H01L51/0003 , H01L51/0014 , H01L51/0037 , H01L51/0042 , H01L51/005 , H01L51/0059 , H01L51/5228 , H01L51/5262 , H01L51/56 , H01L2251/5315
Abstract: 虽然作为选择性地形成高分子形式有机化合物膜的一种方法的喷墨方法能够在一个步骤中涂敷分割用来发射3种(R、G、B)光的有机化合物，但成膜精度很差，难以控制此方法，因而达不到均匀性，且构造易于弥散。相反，根据本发明，用涂敷方法，包含高分子形式材料的膜被形成在连接到薄膜晶体管的下电极的整个表面上，然后用等离子体腐蚀方法对包含高分子形式材料的膜进行腐蚀，从而能够选择性地形成高分子形式材料层。而且，由用来进行白色发光或单色发光的材料构成了有机化合物层，并与颜色改变层或成色层组合，从而实现了全色形成。
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公开(公告)号：CN102709493A
公开(公告)日：2012-10-03
申请号：CN201210200200.2
申请日：2003-03-07
Applicant: 株式会社半导体能源研究所
IPC: H01L51/56
CPC classification number: H01L51/5203 , H01L27/12 , H01L27/322 , H01L27/3246 , H01L51/0003 , H01L51/0014 , H01L51/0037 , H01L51/0042 , H01L51/005 , H01L51/0059 , H01L51/5228 , H01L51/5262 , H01L51/56 , H01L2251/5315
Abstract: 虽然作为选择性地形成高分子形式有机化合物膜的一种方法的喷墨方法能够在一个步骤中涂敷分割用来发射3种(R、G、B)光的有机化合物，但成膜精度很差，难以控制此方法，因而达不到均匀性，且构造易于弥散。相反，根据本发明，用涂敷方法，包含高分子形式材料的膜被形成在连接到薄膜晶体管的下电极的整个表面上，然后用等离子体腐蚀方法对包含高分子形式材料的膜进行腐蚀，从而能够选择性地形成高分子形式材料层。而且，由用来进行白色发光或单色发光的材料构成了有机化合物层，并与颜色改变层或成色层组合，从而实现了全色形成。
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公开(公告)号：CN102214796A
公开(公告)日：2011-10-12
申请号：CN201110131454.9
申请日：2003-01-24
Applicant: 株式会社半导体能源研究所
CPC classification number: H01L27/3248 , H01L27/3211 , H01L27/3216 , H01L27/322 , H01L27/3246 , H01L27/3272 , H01L27/3276 , H01L27/3279 , H01L51/5212 , H01L51/5228 , H01L51/5253 , H01L2251/5315 , Y10S257/929
Abstract: 本发明涉及发光器件及其制造方法。提供一种具有高清晰度、大屏幕的象素部分的高可靠性的发光器件。根据本发明的发光器件，在提供在象素电极之间的绝缘体(24)上形成由金属膜制成的辅助电极(21)，因而可以制造低电阻和很薄的导电层(20)，该导电层与辅助电极接触由透明导电膜制成。此外，利用辅助电极(21)以获得与下层上的电极的连接，因而可以用在EL层上形成的透明导电膜将该电极引出。此外，形成由叠置形成的含有氢的薄膜和氮化硅膜的保护膜(32)，由此获得高可靠性。
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公开(公告)号：CN101673756A
公开(公告)日：2010-03-17
申请号：CN200910150562.3
申请日：2003-03-26
Applicant: 株式会社半导体能源研究所
CPC classification number: H01L27/3276 , H01L27/322 , H01L27/3246 , H01L51/5243 , H01L51/5246 , H01L51/525 , H01L51/5253 , H01L51/56
Abstract: 本发明公开了一种发光装置和制造这种发光装置的方法，含有机化合物的层通过涂敷形成于连接到薄膜晶体管的下电极的整个表面上。在下电极上形成上电极之后，含有机化合物的层用上电极作为掩模通过等离子体刻蚀以自对准方式被刻蚀，以便于允许含有机化合物的层的选择形成。另外，为与上电极的连接，电连接通过用含导电颗粒或浆的粘结剂实现。另外，发白光的材料或发单色光的材料被用作含有机化合物的层。通过将含有机化合物的层与颜色转换层或色彩层组合实现全色显示。
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