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公开(公告)号:CN103866244A
公开(公告)日:2014-06-18
申请号:CN201210550283.8
申请日:2012-12-18
Applicant: 宁夏东方钽业股份有限公司
Abstract: 本发明提供了一种铌管状靶材的生产方法,包括以下步骤:将铌管坯进行第一次加热;向加热后的铌管坯表面第一次喷涂玻璃粉;将喷涂玻璃粉后的铌管坯进行热挤压;将热挤压后的铌管坯进行酸洗;将酸洗后的铌管坯进行热处理,得到铌管状靶材。本发明将玻璃粉喷涂至铌管坯的表面,由于玻璃粉导热系数较小,其存在于铌管坯与挤压机工模具接触面之间,形成一层绝热、抗氧化层,从而使铌管坯易于成型;另一方面,由于铌管坯表面喷涂有玻璃粉,使其在挤压过程中具有较好的润滑效果,避免了与铌管坯表面粘连的问题,从而使铌管坯的表面质量较好,同时由于玻璃粉的润滑效果,使铌管状靶材挤压易成型。本发明还提供了一种铌管状靶材。
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公开(公告)号:CN103243285A
公开(公告)日:2013-08-14
申请号:CN201310200521.7
申请日:2013-05-27
Applicant: 宁夏东方钽业股份有限公司
Abstract: 本发明提供了一种钽钨材料的制备方法,包括以下步骤:1)将钽钨铸锭进行第一次锻造,将第一次锻造后的钽钨铸锭进行第一次热处理;2)将步骤1)得到的钽钨铸锭进行第二次锻造,将第二次锻造后的钽钨铸锭进行第二次热处理;3)将步骤2)得到的钽钨铸锭轧制,将轧制后的钽钨铸锭进行第三次热处理,得到钽钨材料。在制备钽钨材料的过程中,通过两次锻造,使铸锭内部晶粒得到充分的破碎,得到均匀的内部组织,而随后进行的轧制,使铸锭各个方向发生均匀变形,保证了材料各个方向具有均匀的力学性能和微观组织。本发明还提供了上述方案制备的钽钨材料。
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公开(公告)号:CN102990216A
公开(公告)日:2013-03-27
申请号:CN201210291643.7
申请日:2012-08-16
Applicant: 宁夏东方钽业股份有限公司
IPC: B23K15/00
Abstract: 本发明涉及一种一次真空将溅射钽环件凸台焊接在环体上的方法,其特征是:首先将凸台和环件分别酸洗,然后将所有凸台固定在环件上,最后将固定好凸台的环件装夹在三爪卡盘上,通过W轴的旋转依次完成多个凸台的焊接。本发明采用夹具将凸台和环体进行固定,然后进行电子束焊接,这样只需要抽一次真空即可完成所有凸台的焊接,最大限度的简化了加工工艺,从而大大提高了加工效率,降低了加工成本,同时由于先将凸台全部固定,避免电子束焊接时凸台变形,减少了废品的产生,提高了加工质量。
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公开(公告)号:CN102989767A
公开(公告)日:2013-03-27
申请号:CN201210291462.4
申请日:2012-08-16
Applicant: 宁夏东方钽业股份有限公司
CPC classification number: C23C14/3414
Abstract: 本发明涉及一种高性能钽靶材的热轧工艺,该方法首先将锻造坯料预热至900-1200℃,然后轧制,酸洗至钽金属光泽无杂斑即可。本发明通过对加热轧制生产高性能钽靶材轧制坯料,利用该高性能轧制坯料可获得靶材厚度方向(100)织构占优的织构组分(所占比例在50%以上),并且均匀一致,满足高端溅射基台使用要求的高性能钽靶材,与普通钽靶材相比较,高性能钽靶材不但实现了靶材厚度方向(100)织构达到50%以上的织构组分,而且对织构均匀性也提出更高的要求,从而确保了在使用中溅射速率一致。
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公开(公告)号:CN102921850A
公开(公告)日:2013-02-13
申请号:CN201210426588.8
申请日:2012-10-31
Applicant: 宁夏东方钽业股份有限公司
Abstract: 本发明提供一种钽十钨棒材的生产方法,包括以下步骤:a)将钽十钨铸锭预热,在预热后的钽十钨铸锭表面涂覆抗氧化涂层;b)将步骤a)得到的钽十钨铸锭置于中频感应圈中,依次在20KW~40KW和60KW~80KW的功率下加热;c)将步骤b)得到的钽十钨铸锭进行径向墩粗和径向拔长,循环多次;d)将步骤c)得到的钽十钨铸锭进行退火,得到钽十钨棒材。本发明还提供了一种钽十钨棒材。本发明通过将钽十钨铸锭在不同功率加热,使钽十钨铸锭受热均匀,有效降低内应力的产生与集中;而锻造加工则采用径向墩粗和拔长的方式,改善了钽十钨铸锭铸造态组织的不均匀程度及破碎程度,防止钽十钨棒材在高温高压使用环境下出现开裂失效的问题。
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公开(公告)号:CN101733544B
公开(公告)日:2012-01-11
申请号:CN201010046315.1
申请日:2010-01-15
Applicant: 宁夏东方钽业股份有限公司
IPC: B23K20/22 , B23K20/24 , B23K20/14 , B23K103/18
Abstract: 本发明是一种钽和铜、铝、钛异种金属的扩散焊接方法,其工艺过程依次为:焊接表面光洁处理、焊接表面清洗,被焊物包套抽真空,热等静压处理。本发明和现有钽材和其他金属材料的扩散焊接方法的优点有三点:第一:本发明提高了材料的利用率;第二:本发明简便了生产加工过程,提高了生产效率;第三:本发明也有利于靶材使用后的材料回收,包括回收钽材的利用率和回收方法简便。
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公开(公告)号:CN101574780B
公开(公告)日:2012-01-11
申请号:CN200910117306.4
申请日:2009-06-04
Applicant: 宁夏东方钽业股份有限公司
Abstract: 一种磁控溅射环件用钽凸结体生产方法,以钽棒为原料,采用模具冲压成型结合精密机械加工的方式完成,其工艺过程依次为:钽棒锯料、车端面、冲压成型、精修、钻中心孔、攻丝、钻侧孔。其冲压模具包括上模板(1)和下模板(9),两者之间有导向柱(3),下模板(9)上装有凹模(7),凹模之上配有凸模(6),凸模上配有退料杆(5);本发明具有材料利用率高和加工效率高的优点。
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公开(公告)号:CN101920439B
公开(公告)日:2011-10-26
申请号:CN201010258812.8
申请日:2010-08-20
Applicant: 宁夏东方钽业股份有限公司 , 国家钽铌特种金属材料工程技术研究中心
IPC: B23P15/00
Abstract: 本发明涉及一种溅射钽环件内外表面的卷圆焊接滚花工艺,其工艺过程为:首先制备钽条,卷圆,将钽条两端焊接,热处理,整形,内外表面滚花,车削侧边圆弧,进行侧边圆弧滚花,切断焊口即可。通过本发明可实现开口溅射钽环件的内外表面及侧边形成均匀一致的80TPI凸菱形花纹,从而满足半导体用户的使用要求。
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公开(公告)号:CN102061468A
公开(公告)日:2011-05-18
申请号:CN201110024938.3
申请日:2011-01-24
Applicant: 宁夏东方钽业股份有限公司
IPC: C23C24/10
Abstract: 本发明涉及目前常用于航空航天、武器装备、原子能及化工工业领域中的耐高温难熔材料,尤其是高温抗氧化材料及由其制备高温抗氧化涂层的方法。其特点是,组分为:Ta为1.5-4.8Wt%,W为5.2-8.7Wt%,Cr为11.2-15.4Wt%,Ni为2.3-5.7Wt%,B为1.3-1.6Wt%,NaF为0.4-0.8Wt%,Y为1.1-2.3%Wt%;余量为Si。本发明公开了高温抗氧化材料及由其制备的高温抗氧化涂层,这种涂层加制在钽钨合金表面后,涂层可以保护钽钨合金基体不受高温腐蚀或减缓腐蚀速率,又不会改变合金基体成分,可以最大程度的保留合金高温力学性能,且涂层的寿命长,使用温度高。
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公开(公告)号:CN101920436A
公开(公告)日:2010-12-22
申请号:CN201010258809.6
申请日:2010-08-20
Applicant: 宁夏东方钽业股份有限公司 , 国家钽铌特种金属材料工程技术研究中心
IPC: B23P15/00
Abstract: 本发明涉及一种溅射钽环件用钽条的制备工艺,其工艺过程为:首先将钽料采用先打方再拍扁的方式锻造,随后在1000℃~1100℃温度条件下热处理,保温时间60min~120min,采用换向轧制发开坯轧制,在1000℃~1100℃温度条件下进行第二次热处理,保温时间60min~120min,采用单项单向轧制进行成品轧制,最后在1200℃~1400℃温度条件下进行第三次热处理,保温时间120min~180min,校平下料即得。本发明可以将材料利用率提高6个百分点,由于简化了加工工艺,可以提高产品的加工效率,同时由于压力加工的工序要求易于操作、控制,工艺的一致性容易保证,产品的材料性能一致性也容易保证。
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