公开(公告)号：CN109818591A

公开(公告)日：2019-05-28

申请号：CN201811375268.8

申请日：2018-11-19

Applicant: 三星电机株式会社

Inventor： 丁大勋 ,  孙尚郁 ,  韩源 ,  金锺云

IPC: H03H9/02 ,  H03H9/05 ,  H03H9/10 ,  H03H9/13 ,  H03H9/17

Abstract: 本发明提供一种声波谐振器，所述声波谐振器包括：基板；谐振区域，包括设置在所述基板上的第一电极、压电层和第二电极以及沿所述谐振区域的外围设置的反射层；以及连接电极，从所述第二电极延伸。所述反射层包括第一部分和设置在所述谐振区域和所述连接电极之间的第二部分，并且所述第一部分的截面积不同于所述第二部分的截面积。

公开(公告)号：CN107592090A

公开(公告)日：2018-01-16

申请号：CN201710059879.0

申请日：2017-01-24

Applicant: 三星电机株式会社

Inventor： 李泰勋 ,  韩源 ,  李文喆 ,  韩成

IPC: H03H9/17 ,  H03H9/19

Abstract: 提供一种声波谐振器及其制造方法，所述声波谐振器包括：基板；激活振动区域，所述激活振动区域包括顺序地堆叠在所述基板上的下电极、压电层和上电极；水平谐振抑制部，通过所述压电层形成且设置在所述压电层中，所述水平谐振抑制部具有与所述压电层的压电物理性质不同的压电物理性质。

公开(公告)号：CN111510095B

公开(公告)日：2023-10-27

申请号：CN201910552688.7

申请日：2019-06-25

Applicant: 三星电机株式会社

Inventor： 韩源 ,  金泰润 ,  孙尚郁 ,  林昶贤

IPC: H03H9/02

Abstract: 本发明提供一种体声波谐振器，所述体声波谐振器包括：基板；膜层，与所述基板形成腔；第一电极，至少部分地设置在所述腔的上部上并且包括比所述第一电极的其他部分厚的端部部分；插入层，包括邻近所述第一电极的所述端部部分设置的第一部分和设置在所述第一电极的上部上的第二部分；压电层，设置为覆盖所述插入层；以及第二电极，设置在所述压电层的上部上。

公开(公告)号：CN114793099A

公开(公告)日：2022-07-26

申请号：CN202110801186.0

申请日：2021-07-15

Applicant: 三星电机株式会社

Inventor： 孙尙郁 ,  金成昱 ,  韩源 ,  金锺云 ,  柳廷勳 ,  韩相宪

IPC: H03H9/02

Abstract: 本公开提供一种体声波谐振器。所述体声波谐振器包括：第一电极，设置在基板的上侧上；压电层，设置在所述第一电极的上表面上；以及第二电极，设置在所述压电层的上表面上，其中，所述第一电极和所述第二电极中的至少一个的上表面具有凹入区，其中，所述凹入区的深度为D，所述凹入区的宽度为W，并且谐振频率为F，并且ln为自然对数，并且其中，[{ln(D×W)}/(‑0.59×F)]大于等于[[ln{0.008(μm)2}]/{‑0.59×(3.5GHz)}]且小于等于[[ln{0.022(μm)2}]/{‑0.59×(3.5GHz)}]。

公开(公告)号：CN107592091B

公开(公告)日：2021-03-09

申请号：CN201710532587.4

申请日：2017-07-03

Applicant: 三星电机株式会社

Inventor： 林昶贤 ,  李文喆 ,  韩源 ,  李泰京 ,  金大虎

IPC: H03H9/17

Abstract: 本公开提供一种体声波滤波器装置及其制造方法，所述体声波滤波器装置包括：基板；下电极，在所述基板上；压电层，覆盖所述下电极的至少部分；及上电极，覆盖所述压电层的至少部分。所述上电极具有密度减小层，所述密度减小层设置在所述上电极的除所述体声波滤波器装置的谐振区的中央部分之外的至少部分上，所述体声波滤波器装置的谐振区在所述压电层的激发过程中随着所述压电层变形和振动。所述密度减小层的密度小于所述上电极的其他部分的密度。

公开(公告)号：CN110829998A

公开(公告)日：2020-02-21

申请号：CN201910548840.4

申请日：2019-06-24

Applicant: 三星电机株式会社

Inventor： 丁大勳 ,  金成昱 ,  孙尚郁 ,  韩相宪 ,  韩源

IPC: H03H9/02 ,  H03H9/13 ,  H03H9/17 ,  H03H3/02

Abstract: 本公开提供一种体声波谐振器，所述体声波谐振器包括：基板；膜层，与所述基板形成腔；下电极，设置在所述膜层上；插入层，设置为覆盖所述下电极的至少一部分；压电层，设置在所述下电极上以覆盖所述插入层；以及上电极，至少部分地设置在所述压电层上，其中，所述上电极包括设置在所述插入层上的反射凹槽。

公开(公告)号：CN108336982A

公开(公告)日：2018-07-27

申请号：CN201810039429.X

申请日：2018-01-16

Applicant: 三星电机株式会社

Inventor： 韩源 ,  金大虎 ,  金龙石 ,  韩昇勋 ,  李文喆 ,  林昶贤 ,  李成俊 ,  尹湘基 ,  金泰润 ,  孙尚郁

IPC: H03H9/02 ,  H03H9/05

CPC classification number: H03H9/02118 ,  H03H3/02 ,  H03H9/02015 ,  H03H9/02157 ,  H03H9/132 ,  H03H9/17 ,  H03H9/173 ,  H03H9/174 ,  H03H2003/021 ,  H03H2003/023

Abstract: 本发明提供一种体声波谐振器，所述体声波谐振器，包括：基板；膜层，与所述基板一起形成腔；下电极，设置在所述膜层上；压电层，设置在所述下电极的平坦表面上；以及上电极，覆盖所述压电层的部分并使所述压电层的侧部暴露于空气，其中，所述压电层包括台阶部，所述台阶部从所述压电层的所述侧部延伸并设置在所述下电极的所述平坦表面上。

公开(公告)号：CN107592091A

公开(公告)日：2018-01-16

申请号：CN201710532587.4

申请日：2017-07-03

Applicant: 三星电机株式会社

Inventor： 林昶贤 ,  李文喆 ,  韩源 ,  李泰京 ,  金大虎

IPC: H03H9/17

Abstract: 本公开提供一种体声波滤波器装置及其制造方法，所述体声波滤波器装置包括：基板；下电极，在所述基板上；压电层，覆盖所述下电极的至少部分；及上电极，覆盖所述压电层的至少部分。所述上电极具有密度减小层，所述密度减小层设置在所述上电极的除所述体声波滤波器装置的谐振区的中央部分之外的至少部分上，所述体声波滤波器装置的谐振区在所述压电层的激发过程中随着所述压电层变形和振动。所述密度减小层的密度小于所述上电极的其他部分的密度。

公开(公告)号：CN107094000A

公开(公告)日：2017-08-25

申请号：CN201610911984.8

申请日：2016-10-19

Applicant: 三星电机株式会社

Inventor： 韩源 ,  丁大勋 ,  李在昌 ,  金泰润 ,  李文喆

IPC: H03H9/17 ,  H03H9/13 ,  H03H9/05 ,  H03H3/02

Abstract: 本发明提供一种声波谐振器及制造该声波谐振器的方法。所述声波谐振器包括：谐振部，包括设置在第一电极上的压电层和设置在所述压电层上的第二电极；框架，沿所述谐振部的边缘设置在所述第二电极上，其中，所述框架包括内表面和外表面，并且所述内表面包括两个斜面。

公开(公告)号：CN118868847A

公开(公告)日：2024-10-29

申请号：CN202410483538.6

申请日：2024-04-22

Applicant: 三星电机株式会社

Inventor： 金锺云 ,  金贞儿 ,  柳廷勳 ,  韩源 ,  孙尚郁 ,  李泰京

IPC: H03H9/17 ,  H03H9/02

Abstract: 本公开涉及体声波谐振器。体声波谐振器包括：有效区域，在该有效区域中，设置在基板上的第一电极、沿着高度方向设置在第一电极上的压电层、以及沿着高度方向设置在压电层上的第二电极在高度方向上彼此重叠；外围区域，在该外围区域中，第一电极或第二电极从有效区域向外延伸，使得第一电极和第二电极在外围区域中在高度方向上彼此不重叠；以及辅助层，设置在外围区域中，其中，有效区域的第一截止频率基本上等于外围区域的第二截止频率。