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公开(公告)号：CN102422121A
公开(公告)日：2012-04-18
申请号：CN201080020216.4
申请日：2010-04-13
Applicant: SNU精度株式会社
CPC classification number: G01B11/005 , G01B11/03 , G01C11/025
Abstract: 本发明涉及视觉检测系统及利用该系统的坐标转换方法。该系统包括：工作台，支撑被检测体；台架，使工作台在Y轴方向上直线往复运动；多个摄像机，为了获得被检测体或工作台的图像，沿X轴方向相隔配置，其中包括：多个第一标记，沿着与Y轴交叉的X轴方向相隔配置在工作台的一端；多个第二标记，一部分从多个第一标记中最左侧的第一标记开始在工作台的一侧沿Y轴方向相隔配置，另一部分从多个第一标记中最右侧的第一标记开始在工作台的另一侧沿Y轴方向相隔配置。获得多个第一标记的图像后，将此图像坐标值转换成台架坐标值，获得多个第二标记的图像后，将此图像坐标值和台架坐标值转换成台架的精确度得到补偿的以被检测体为基准的绝对坐标值。
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公开(公告)号：CN106344105A
公开(公告)日：2017-01-25
申请号：CN201510419719.3
申请日：2015-07-16
Applicant: SNU精度株式会社
IPC: A61B17/16
CPC classification number: A61B17/1626
Abstract: 本发明的手术用披锋刀的控制方法及控制装置可通过比较简单的结构实时监视给患者留下不可逆损伤的大颤及微颤，并同时防止大颤及微颤。
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公开(公告)号：CN103890895B
公开(公告)日：2016-05-18
申请号：CN201180073721.X
申请日：2011-09-28
Applicant: SNU精度株式会社
IPC: H01J37/28 , H01J37/244
CPC classification number: H01J37/244 , H01J37/05 , H01J37/28 , H01J2237/24475 , H01J2237/2448 , H01J2237/24485 , H01J2237/24495
Abstract: 本发明涉及一种具备反射电子检测功能的扫描电子显微镜，本发明的具备反射电子检测功能的扫描电子显微镜将从光源产生的原电子(Primary Electron)射入试样，并且检测在所述原电子射入后从试样发射的发射电子，其特征在于，包括：维恩速度过滤部，配置在所述光源和所述试样之间，产生磁场及电场，从而将所述发射电子分离为次级电子(Secondary Electron)和反射电子(Back Scattered Electron)；和探测部，分别探测从所述维恩速度过滤部分离的次级电子和反射电子。由此，提供一种通过使用维恩速度过滤器，能够分离并探测次级电子和反射电子的具备反射电子检测功能的扫描电子显微镜。
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公开(公告)号：CN103890895A
公开(公告)日：2014-06-25
申请号：CN201180073721.X
申请日：2011-09-28
Applicant: SNU精度株式会社
IPC: H01J37/28 , H01J37/244
CPC classification number: H01J37/244 , H01J37/05 , H01J37/28 , H01J2237/24475 , H01J2237/2448 , H01J2237/24485 , H01J2237/24495
Abstract: 本发明涉及一种具备反射电子检测功能的扫描电子显微镜，本发明的具备反射电子检测功能的扫描电子显微镜将从光源产生的原电子(Primary？Electron)射入试样，并且检测在所述原电子射入后从试样发射的发射电子，其特征在于，包括：维恩速度过滤部，配置在所述光源和所述试样之间，产生磁场及电场，从而将所述发射电子分离为次级电子(Secondary？Electron)和反射电子(Back？Scattered？Electron)；和探测部，分别探测从所述维恩速度过滤部分离的次级电子和反射电子。由此，提供一种通过使用维恩速度过滤器，能够分离并探测次级电子和反射电子的具备反射电子检测功能的扫描电子显微镜。
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公开(公告)号：CN103579037A
公开(公告)日：2014-02-12
申请号：CN201310311671.5
申请日：2013-07-23
Applicant: SNU精度株式会社
CPC classification number: H01L22/12 , G01B11/06 , G02B27/108
Abstract: 本发明公开了一种利用数字光学技术的厚度检测装置及其方法。本发明的利用数字光学技术的厚度检测装置及其方法，包括：光源，用于放射光线；光分束器，用于反射从光源放射的光线或者通过被检测对象反射的光线；透镜部，用于将被光分束器反射的光线汇聚到检测对象；反射型光路变换部，用于有选择地反射从光分束器透射的光线；分光器，用于分析从反射型光路变换部反射的光线以获取所述检测对象的厚度信息。因此根据本发明，提供一种利用光线的反射能够使光损失最小化，并且能够同时检测多个检测区域厚度的利用数字光学技术的厚度检测装置及其方法。
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公开(公告)号：CN105492861A
公开(公告)日：2016-04-13
申请号：CN201480046738.X
申请日：2014-09-23
Applicant: SNU精度株式会社
IPC: G01B11/06
CPC classification number: G01B11/0625
Abstract: 本发明涉及厚度检测装置，本发明的厚度检测装置利用反射光度计(Reflectometer)，其特征在于包括：光源，用于发射光；滤光部，接收从所述光源发射的光后，相对于不同的多个频率选择性地透射所述光而调制为具有强度分布的光，并能调节所述具有强度分布的光的波长宽度；光学系统，将由所述滤光部调制后的光向检测对象侧照射，并且接收从所述检测对象侧反射的光；光检测部，接收通过所述光学系统的光，并获得反射度信息；及控制部，通过设定能够透射所述滤光部的多个频率来调节由所述滤光部调制的光的波长宽度，并且通过比较理论反射度信息和由所述光检测部获得的反射度信息来检测检测对象的厚度，所述理论反射度信息通过数学式建模后预先被储存。
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公开(公告)号：CN104220633B
公开(公告)日：2016-04-06
申请号：CN201280071246.7
申请日：2012-03-06
Applicant: SNU精度株式会社
CPC classification number: C23C14/042 , C23C14/562
Abstract: 本发明涉及一种能够形成图案的沉积装置，本发明的能够形成图案的沉积装置，其为用于在基板上沉积原料的装置，其特征在于，进一步包括：喷嘴部，形成有喷射口，用于向所述基板侧喷射原料；快门部，用于选择性地开闭喷嘴部的喷射口，从而选择性地喷射所述原料；及移送部，用于移送所述基板或所述喷嘴部中的至少一个。
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公开(公告)号：CN105190227A
公开(公告)日：2015-12-23
申请号：CN201480015329.3
申请日：2014-03-17
Applicant: SNU精度株式会社
CPC classification number: G01B11/2441 , G01B9/02029 , G01B9/02034 , G01B9/02057 , G01J3/0208 , G01J3/0229 , G01J3/50 , G01J3/506 , G01N21/8806 , G01N21/95 , G01N2021/8845 , G01N2021/9513
Abstract: 本发明涉及一种能够检测颜色信息的三维形状检测装置，该装置利用干涉光对检测对象的形状进行检测，其特征在于，包括：光源，用于发射光线；光线分割器，用于对从所述光源发射的光线进行反射或对通过检测对象反射的光线进行透射；透镜部，用于使通过所述光线分割器反射的光线聚集到所述检测对象；光线检测部，用于检测从所述检测对象反射的光线；及光线调节部，配置在所述光源和所述光线分割器之间的光路上，用于阻断从所述光源的中心区域发射的光线，从而减弱在所述透镜部中产生的光线的干涉。
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公开(公告)号：CN104220633A
公开(公告)日：2014-12-17
申请号：CN201280071246.7
申请日：2012-03-06
Applicant: SNU精度株式会社
CPC classification number: C23C14/042 , C23C14/562
Abstract: 本发明涉及一种能够形成图案的沉积装置，本发明的能够形成图案的沉积装置，其为用于在基板上沉积原料的装置，其特征在于，进一步包括：喷嘴部，形成有喷射口，用于向所述基板侧喷射原料；快门部，用于选择性地开闭喷嘴部的喷射口，从而选择性地喷射所述原料；及移送部，用于移送所述基板或所述喷嘴部中的至少一个。
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公开(公告)号：CN103460368A9
公开(公告)日：2014-03-12
申请号：CN201280018215.5
申请日：2012-04-13
Applicant: SNU精度株式会社
IPC: H01L21/66
Abstract: 本发明涉及一种TSV检测用干涉仪以及利用该干涉仪的检测方法，本发明的TSV检测用干涉仪在检测TSV时，利用可变视场光阑检测TSV的直径及深度，从而能够缩短检测时间，并且减少结果数据容量，其中可变视场光阑将光线的焦点调节到TSV的入口和底面。而且，本发明利用远心透镜，从而即使在如TSV那样纵横比大的情况下也能确保到达底面的光量，从而提高检测精度，其中远心透镜使向TSV入射的光线实质上成为直线光。
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