公开(公告)号：CN105190227B

公开(公告)日：2018-02-09

申请号：CN201480015329.3

申请日：2014-03-17

申请人： SNU精度株式会社

发明人： 赵泰英 ,  黄映珉 ,  金星龙 ,  姜相秀 ,  朴喜载

IPC分类号： G01B11/24 ,  G01B9/02 ,  G01N21/25

摘要： 本发明涉及一种能够检测颜色信息的三维形状检测装置，该装置利用干涉光对检测对象的形状进行检测，其特征在于，包括：光源，用于发射光线；光线分割器，用于对从所述光源发射的光线进行反射或对通过检测对象反射的光线进行透射；透镜部，用于使通过所述光线分割器反射的光线聚集到所述检测对象；光线检测部，用于检测从所述检测对象反射的光线；及光线调节部，配置在所述光源和所述光线分割器之间的光路上，用于阻断从所述光源的中心区域发射的光线，从而减弱在所述透镜部中产生的光线的干涉。

公开(公告)号：CN105772305A

公开(公告)日：2016-07-20

申请号：CN201510944230.8

申请日：2015-12-16

申请人： SNU精度株式会社

发明人： 姜汉默 ,  朴喜载

IPC分类号： B05B15/04

CPC分类号： B05B14/00

摘要： 本发明涉及一种薄膜沉积装置，本发明的薄膜沉积装置的特征在于，包括：腔室，其形成有内部空间，在形成上表面的遮断膜的一区域中形成有供沉积对象基板配设的开口部；原料供应部，其在所述腔室的内部空间内移动的同时向所述遮断膜提供沉积原料；及原料收集部，其在所述开口部的至少一侧设置在所述原料供应部和所述遮断膜之间，用于收集向遮断膜喷射的沉积原料。由此，能够防止沉积物质不必要地供应到腔室内部空间的同时，能够再利用通过原料收集部收集到的沉积物质。

公开(公告)号：CN105552013A

公开(公告)日：2016-05-04

申请号：CN201510659366.4

申请日：2015-10-12

申请人： SNU精度株式会社

发明人： 李亨培 ,  安庆烈 ,  朴喜载

IPC分类号： H01L21/68 ,  H01L51/56

CPC分类号： H01L21/682 ,  H01L51/001 ,  H01L51/0011

摘要： 本发明涉及基板旋转对准装置，本发明的基板旋转对准装置为在沉积工艺中在掩模上对准基板的装置，包括：连接柱，与用于安装所述基板的安装部连接；旋转载物台，设置为圆形，用于固定所述连接柱，在外周面上交替形成有向内侧凹陷的凹陷部和向外侧凸出的凸出部；动力传递部，包括彼此按规定间隔隔开配置的多个滚轮销，其中至少一个所述滚轮销在对所述旋转载物台的区域的凹陷部加压紧贴的状态下进行旋转，以向所述旋转载物台传递动力；及固定部，在彼此按规定间隔隔开配置的多个固定销中至少一个固定销紧贴于所述旋转载物台的另一区域的凹陷部，从而使固定部具有与所述动力传递部向所述旋转载物台的加压力相反方向的力的矢量。

公开(公告)号：CN102428344B

公开(公告)日：2014-04-16

申请号：CN201080022149.X

申请日：2010-04-12

申请人： SNU精度株式会社

发明人： 朴喜载 ,  安祐正

IPC分类号： G01B11/24 ,  G01B11/25 ,  G01B11/02

CPC分类号： G01B11/24

摘要： 本发明涉及一种三维形貌检测方法。该方法用于检测被检测体，所述被检测体具备基板和配置在所述基板上的焊锡球，其特征是包括：中心部确定步骤，获得焊锡球的图像后确定焊锡球的中心部；图像获得步骤，在被检测体上形成正弦波图纹，并获得同时包括基板上面和焊锡球的整合图像；相位值确定步骤，在整合图像中选定通过焊锡球中心部的虚拟直线—基准线，并在所述基准线的焊锡球的中心部获取投影了正弦波图纹部分的相位值后，将其定为焊锡球中心部的相位值，在位于基准线的基板上获取投影了正弦波图纹部分的相位值后，将其定为基板的相位值；及高度计算步骤，由焊锡球中心部的相位值和基板的相位值之间的差，计算从基板上面到焊锡球中心部的高度。

公开(公告)号：CN103574083A

公开(公告)日：2014-02-12

申请号：CN201210356945.8

申请日：2012-09-21

申请人： SNU精度株式会社

发明人： 琴禹洛 ,  金锡 ,  康舜捧

IPC分类号： F16K3/14 ,  F16K31/12

CPC分类号： F16K3/14 ,  F16K31/12 ,  F16K31/44

摘要： 本发明涉及一种利用倾斜驱动的闸门阀，本发明的利用倾斜驱动的闸门阀，用于开闭设置于腔室的开口部，其特征在于，包括：闸门，沿着与上述开口部的表面平行的第一轴或与上述开口部的表面垂直的第二轴中的任一轴移动，以与上述腔室的外壁接触或解除接触来开闭上述开口部；驱动部，供给上述第一轴方向的移动力；楔部，安装在上述闸门，外表面形成有斜面；及方向转换部，与上述驱动部连接，为了将从上述驱动部提供的第一轴方向的移动力转换成第二轴方向的移动力并供给到上述闸门，上述方向转换部的外表面形成有斜面，使得能够从上述楔部滑移。根据本发明，提供一种可通过"L"字型驱动实现坚固密封的利用倾斜驱动的闸门阀。

公开(公告)号：CN103460368A

公开(公告)日：2013-12-18

申请号：CN201280018215.5

申请日：2012-04-13

申请人： SNU精度株式会社

发明人： 李基勋 ,  申兴铉 ,  朴喜载

IPC分类号： H01L21/66

CPC分类号： G01B11/24 ,  G01B2210/56 ,  H01L22/12 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/00

摘要： 本发明涉及一种TSV检测用干涉仪以及利用该干涉仪的检测方法，本发明的TSV检测用干涉仪在检测TSV时，利用可变视场光阑检测TSV的直径及深度，从而能够缩短检测时间，并且减少结果数据容量，其中可变视场光阑将光线的焦点调节到TSV的入口和底面。而且，本发明利用远心透镜，从而即使在如TSV那样纵横比大的情况下也能确保到达底面的光量，从而提高检测精度，其中远心透镜使向TSV入射的光线实质上成为直线光。

公开(公告)号：CN1965612B

公开(公告)日：2012-03-21

申请号：CN200580016225.5

申请日：2005-01-29

申请人： SNU精度株式会社

发明人： 黄昌勋 ,  林建默 ,  元裕太 ,  鲁硕源 ,  金光浩 ,  姜宅相 ,  金昇汉

IPC分类号： H01L51/40

摘要： 本发明涉及用于沉积有机材料的装置和方法，更具体地，涉及这样一种用于沉积有机材料的装置和方法：其设计成在沉积有机材料的过程中阻止传输到装置的腔内的大尺寸基板的下垂。该装置包括：腔，其具有与外部隔离的内部空间，入口设置在所述腔的一侧以允许基板输入腔内或从腔内传输出，且门用于打开或关闭所述入口；基板安装台板，其设置在所述腔的上部，通过用压力来固定住传输到所述腔内的基板的两端、并且使两端处于固定状态的基板一侧朝外移动而向基板施加拉伸力以阻止基板下垂；旋转提升器，其耦连到所述基板安装台板上表面的中心处，用于旋转、提升或降低所述基板安装台板；以及加热器和有机材料蒸发皿，其设置在所述腔的下部，用于将有机材料蒸发到所述基板上。

公开(公告)号：CN105492861B

公开(公告)日：2018-09-04

申请号：CN201480046738.X

申请日：2014-09-23

申请人： SNU精度株式会社

发明人： 朴喜载 ,  黄映珉 ,  赵泰英

IPC分类号： G01B11/06

CPC分类号： G01B11/0625

摘要： 本发明涉及厚度检测装置，本发明的厚度检测装置利用反射光度计(Reflectometer)，其特征在于包括：光源，用于发射光；滤光部，接收从所述光源发射的光后，相对于不同的多个频率选择性地透射所述光而调制为具有强度分布的光，并能调节所述具有强度分布的光的波长宽度；光学系统，将由所述滤光部调制后的光向检测对象侧照射，并且接收从所述检测对象侧反射的光；光检测部，接收通过所述光学系统的光，并获得反射度信息；及控制部，通过设定能够透射所述滤光部的多个频率来调节由所述滤光部调制的光的波长宽度，并且通过比较理论反射度信息和由所述光检测部获得的反射度信息来检测检测对象的厚度，所述理论反射度信息通过数学式建模后预先被储存。

公开(公告)号：CN103890896B

公开(公告)日：2016-08-17

申请号：CN201180073722.4

申请日：2011-09-28

申请人： SNU精度株式会社

发明人： 金锡 ,  安宰亨 ,  康舜捧

IPC分类号： H01J37/28 ,  H01J37/244

CPC分类号： H01J37/28 ,  H01J2237/24535

摘要： 本发明涉及扫描电子显微镜及利用它的原电子及次级电子电流量的检测方法，扫描电子显微镜的特征在于包括：镜筒，在内部形成有收容空间；源头，设置在所述镜筒的内部，用于向所述镜筒的外部的试样产生带电的原电子；过滤器，在所述镜筒的内部设置在所述源头的下部，用于改变所述原电子及所述原电子与所述试样冲撞后发射的次级电子的移动路径；第一检测器，设置在所述过滤器和所述试样之间的所述镜筒的内部，用于检测通过在所述过滤器中产生的电磁场的作用下改变移动路径的所述原电子产生的电流量；第二检测器，设置在所述源头和所述过滤器之间的所述镜筒的内部，用于检测通过所述过滤器改变移动路径的所述次级电子；过滤器控制部，用于控制所述过滤器，以使所述过滤器选择性地改变所述原电子及所述次级电子的移动路径。由此提供保证检查作业的效率性且装置的整体大小小型化的扫描电子显微镜及利用它的原电子电流量的检测方法。

公开(公告)号：CN103579037B

公开(公告)日：2016-05-25

申请号：CN201310311671.5

申请日：2013-07-23

申请人： SNU精度株式会社

发明人： 黄映珉 ,  赵泰英 ,  金侊乐

IPC分类号： H01L21/66 ,  G02B27/10

摘要： 本发明公开了一种利用数字光学技术的厚度检测装置及其方法。本发明的利用数字光学技术的厚度检测装置及其方法，包括：光源，用于放射光线；光分束器，用于反射从光源放射的光线或者通过被检测对象反射的光线；透镜部，用于将被光分束器反射的光线汇聚到检测对象；反射型光路变换部，用于有选择地反射从光分束器透射的光线；分光器，用于分析从反射型光路变换部反射的光线以获取所述检测对象的厚度信息。因此根据本发明，提供一种利用光线的反射能够使光损失最小化，并且能够同时检测多个检测区域厚度的利用数字光学技术的厚度检测装置及其方法。