公开(公告)号：CN103460368A

公开(公告)日：2013-12-18

申请号：CN201280018215.5

申请日：2012-04-13

申请人： SNU精度株式会社

发明人： 李基勋 ,  申兴铉 ,  朴喜载

IPC分类号： H01L21/66

CPC分类号： G01B11/24 ,  G01B2210/56 ,  H01L22/12 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/00

摘要： 本发明涉及一种TSV检测用干涉仪以及利用该干涉仪的检测方法，本发明的TSV检测用干涉仪在检测TSV时，利用可变视场光阑检测TSV的直径及深度，从而能够缩短检测时间，并且减少结果数据容量，其中可变视场光阑将光线的焦点调节到TSV的入口和底面。而且，本发明利用远心透镜，从而即使在如TSV那样纵横比大的情况下也能确保到达底面的光量，从而提高检测精度，其中远心透镜使向TSV入射的光线实质上成为直线光。

公开(公告)号：CN103460368A9

公开(公告)日：2014-03-12

申请号：CN201280018215.5

申请日：2012-04-13

申请人： SNU精度株式会社

发明人： 李基勋 ,  申兴铉 ,  朴喜载

IPC分类号： H01L21/66

摘要： 本发明涉及一种TSV检测用干涉仪以及利用该干涉仪的检测方法，本发明的TSV检测用干涉仪在检测TSV时，利用可变视场光阑检测TSV的直径及深度，从而能够缩短检测时间，并且减少结果数据容量，其中可变视场光阑将光线的焦点调节到TSV的入口和底面。而且，本发明利用远心透镜，从而即使在如TSV那样纵横比大的情况下也能确保到达底面的光量，从而提高检测精度，其中远心透镜使向TSV入射的光线实质上成为直线光。

公开(公告)号：CN103460368B

公开(公告)日：2016-01-06

申请号：CN201280018215.5

申请日：2012-04-13

申请人： SNU精度株式会社

发明人： 李基勋 ,  申兴铉 ,  朴喜载

IPC分类号： H01L21/66

CPC分类号： G01B11/24 ,  G01B2210/56 ,  H01L22/12 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/00

摘要： 本发明涉及一种TSV检测用干涉仪以及利用该干涉仪的检测方法，本发明的TSV检测用干涉仪在检测TSV时，利用可变视场光阑检测TSV的直径及深度，从而能够缩短检测时间，并且减少结果数据容量，其中可变视场光阑将光线的焦点调节到TSV的入口和底面。而且，本发明利用远心透镜，从而即使在如TSV那样纵横比大的情况下也能确保到达底面的光量，从而提高检测精度，其中远心透镜使向TSV入射的光线实质上成为直线光。