公开(公告)号：CN103579037A

公开(公告)日：2014-02-12

申请号：CN201310311671.5

申请日：2013-07-23

申请人： SNU精度株式会社

发明人： 黄映珉 ,  赵泰英 ,  金侊乐

IPC分类号： H01L21/66 ,  G02B27/10

CPC分类号： H01L22/12 ,  G01B11/06 ,  G02B27/108

摘要： 本发明公开了一种利用数字光学技术的厚度检测装置及其方法。本发明的利用数字光学技术的厚度检测装置及其方法，包括：光源，用于放射光线；光分束器，用于反射从光源放射的光线或者通过被检测对象反射的光线；透镜部，用于将被光分束器反射的光线汇聚到检测对象；反射型光路变换部，用于有选择地反射从光分束器透射的光线；分光器，用于分析从反射型光路变换部反射的光线以获取所述检测对象的厚度信息。因此根据本发明，提供一种利用光线的反射能够使光损失最小化，并且能够同时检测多个检测区域厚度的利用数字光学技术的厚度检测装置及其方法。

公开(公告)号：CN103579037B

公开(公告)日：2016-05-25

申请号：CN201310311671.5

申请日：2013-07-23

申请人： SNU精度株式会社

发明人： 黄映珉 ,  赵泰英 ,  金侊乐

IPC分类号： H01L21/66 ,  G02B27/10

摘要： 本发明公开了一种利用数字光学技术的厚度检测装置及其方法。本发明的利用数字光学技术的厚度检测装置及其方法，包括：光源，用于放射光线；光分束器，用于反射从光源放射的光线或者通过被检测对象反射的光线；透镜部，用于将被光分束器反射的光线汇聚到检测对象；反射型光路变换部，用于有选择地反射从光分束器透射的光线；分光器，用于分析从反射型光路变换部反射的光线以获取所述检测对象的厚度信息。因此根据本发明，提供一种利用光线的反射能够使光损失最小化，并且能够同时检测多个检测区域厚度的利用数字光学技术的厚度检测装置及其方法。