公开(公告)号：CN104603918B

公开(公告)日：2017-03-08

申请号：CN201380046296.4

申请日：2013-09-03

Applicant: 株式会社电装

Inventor： 胜间田卓 ,  与仓久则

IPC: H01L21/3205 ,  H01L21/3065 ,  H01L21/768 ,  H01L23/522

CPC classification number: H01L21/76898 ,  B81C1/00095 ,  B81C1/00269 ,  B81C2203/0118 ,  B81C2203/0792 ,  H01L21/30604 ,  H01L21/308 ,  H01L21/31116 ,  H01L21/31144 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/00

Abstract: 在具有贯通电极构造的半导体装置的制造方法中，以架设在形成于第二半导体基板(3)的贯通孔(3a)上的方式形成掩模构件(10)，并且在掩模构件(10)中与贯通孔(3a)对应的位置形成孔(10a)，通过该孔(10a)在绝缘膜(5)形成接触孔(5a)。根据这种制造方法，即使从第二半导体基板(3)的表面一直到贯通孔(3a)的底部有大的水平差异，通过光刻进行曝光的仅是架设在贯通孔(3a)上的掩模构件(10)，无需大的水平差异的光刻。为此，能够在掩模构件(10)上良好地形成孔(10a)，并且用通过了该孔(10a)的各向异性干刻，即使是大的水平差异的蚀刻，也能够良好地形成接触孔(5a)。

公开(公告)号：CN106164634A

公开(公告)日：2016-11-23

申请号：CN201580016226.3

申请日：2015-03-24

Applicant: 株式会社电装

Inventor： 水野健太朗 ,  田口理惠 ,  桥本昭二 ,  大平喜惠 ,  胜间田卓 ,  山口浩平

IPC: G01L1/18 ,  G01L9/00

CPC classification number: G01L1/18 ,  G01L9/0054 ,  G01L9/0055 ,  G01L9/06

Abstract: 力检测装置具备基板(2)和力传递块(4)；基板包括高灵敏度台面型测量构件(14、18)、低灵敏度台面型测量构件(12、16)和台面型引线(22a、24a、26a、28a)。力传递块与高灵敏度台面型测量构件的顶面及低灵敏度台面型测量构件的顶面接触，在台面型引线的顶面的至少一部分为非接触。或者，力传递块仅与高灵敏度台面型测量构件的顶面接触，与低灵敏度台面型测量构件为非接触。力检测装置具备基板(204)和力传递块(204)；基板具有台面型测量构件(212、214、216、218)、与力传递块接触的封闭部(230)、和与力传递块接触的支柱(220)。

公开(公告)号：CN103308043A

公开(公告)日：2013-09-18

申请号：CN201310079058.5

申请日：2013-03-13

Applicant: 株式会社电装

Inventor： 胜间田卓

IPC: G01C19/5719

CPC classification number: G01C19/5642 ,  G01C19/574

Abstract: 一种角速度传感器（100）包括：振动器（11），其位于沿着由彼此正交的x方向和y方向规定的x-y平面中；基板（12），其在垂直于x-y平面的z方向上与所述振动器（11）分离；锚固装置（13），其从所述基板（12）延伸到所述振动器（11）所位于的所述x-y平面；连接梁装置（14），其将所述锚固装置（13）连接到所述振动器（11），所述连接梁能够围绕所述y方向扭转；激励部（50），其沿着所述z方向振动所述振动器（11）；以及检测部（70），其基于沿着所述振动器（11）的x方向的移位来检测角速度。所述振动器（11）包括与所述连接梁装置（14）相连接的连接区域（P1），并且所述连接区域（P1）在所述振动器（11）沿着z方向振动时变成波节。

公开(公告)号：CN114599936A

公开(公告)日：2022-06-07

申请号：CN202080074706.6

申请日：2020-10-28

Applicant: 株式会社电装

Inventor： 后藤胜昭 ,  原田翔太 ,  胜间田卓 ,  畑良幸 ,  明石照久

IPC: G01C19/5755 ,  G01C19/5726 ,  G01C19/574 ,  B81B3/00 ,  H01L29/84

Abstract: 在可动部(20)具备可动部用检测激励电极(251a、251b)，并且具备固定部用检测激励电极(551a、551b)、使驱动弹簧(43a、43b)的弹簧常数变化的驱动弹簧调整部(211a、211b、511a、511b)和使检测弹簧(42a、42b)的弹簧常数变化的检测弹簧调整部(241a、241b、541a、541b)。而且，控制部使可动部(20)沿第一方向振动同时也沿第二方向振动，获取可动部(20)在沿着第一方向的方向上的第一谐振频率(fd)及在沿着第二方向的方向上的第二谐振频率(fs)，使第一谐振频率(fd)维持在一定的值，并且使第二谐振频率(fs)维持在一定的值。

公开(公告)号：CN103308043B

公开(公告)日：2016-02-10

申请号：CN201310079058.5

申请日：2013-03-13

Applicant: 株式会社电装

Inventor： 胜间田卓

IPC: G01C19/5719

CPC classification number: G01C19/5642 ,  G01C19/574

Abstract: 一种角速度传感器（100）包括：振动器（11），其位于沿着由彼此正交的x方向和y方向规定的x-y平面中；基板（12），其在垂直于x-y平面的z方向上与所述振动器（11）分离；锚固装置（13），其从所述基板（12）延伸到所述振动器（11）所位于的所述x-y平面；连接梁装置（14），其将所述锚固装置（13）连接到所述振动器（11），所述连接梁能够围绕所述y方向扭转；激励部（50），其沿着所述z方向振动所述振动器（11）；以及检测部（70），其基于沿着所述振动器（11）的x方向的移位来检测角速度。所述振动器（11）包括与所述连接梁装置（14）相连接的连接区域（P1），并且所述连接区域（P1）在所述振动器（11）沿着z方向振动时变成波节。

公开(公告)号：CN102853825A

公开(公告)日：2013-01-02

申请号：CN201210223863.6

申请日：2012-06-28

Applicant: 株式会社电装

Inventor： 胜间田卓 ,  樋口祐史

IPC: G01C19/5712

CPC classification number: G01C19/5712

Abstract: 一种角速度传感器（100）包括振动器（51）、支承基板（10）、锚段（30）、连接梁段、驱动段以及检测段。振动器（51）包括内部振动器（56）和外部振动器（57），它们在由驱动段驱动时在相反的圆周方向上振动。连接梁段将振动器（51）结合至锚段（30），并且在z方向上和圆周方向上是弹性的。连接梁段包括第一连接梁（80）和第二连接梁（81），每个第一连接梁（80）在一端处结合至外部振动器（57）并且在另一端处结合至内部振动器（56），每个第二连接梁（81）在一端处结合至相应第一连接梁（80）的振动节点（P2）并且在另一端处结合至锚段。

公开(公告)号：CN101149389A

公开(公告)日：2008-03-26

申请号：CN200710154798.5

申请日：2007-09-19

Applicant: 株式会社电装

Inventor： 胜间田卓

IPC: G01P9/04 ,  G01P3/44 ,  G01P3/50 ,  G01C19/56

CPC classification number: G01P1/023 ,  G01C19/5719 ,  G01P15/125

Abstract: 一种动态量传感器(S1)，包括基底(200)、由具有角部分(101)的矩形板制成的传感芯片(100)、及凸块(400)。所述传感芯片(100)包括检测器(3、4)和多个焊盘(50、51、52、53、54)。所述检测器(3、4)具有可移动部分(3a、4a)，当动态量施加于其上的时候，所述可移动部分可以位移，并根据可移动部分(3a、4a)的位移且基于电容变化来检测所述动态量。凸块(400)将传感芯片(100)的多个焊盘(50、51、52、53、54)和基底(200)相连。传感芯片(100)的角部分(101)从基底(200)释放，使得传感芯片(100)的多个焊盘(50、51、52、53、54)布置在距传感芯片(100)的角部分(101)预定距离的一个位置上。