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公开(公告)号:CN115144614B
公开(公告)日:2025-02-25
申请号:CN202210313136.2
申请日:2022-03-28
IPC: G01P15/125 , G01C21/16 , B81B7/00
Abstract: 微振动体(2)包括曲面部(21)、从曲面部凹入的凹部(22)、从凹部的底面(22b)突出的底面突出部(23)以及在底面突出部内的通孔(24)。安装基板(3)具有供底面突出部插入其中的定位凹部(43),以及围绕内框架部的电极部(53)。接合构件(52)位于定位凹部中,并将底面突出部与安装基板接合。底面与安装基板的围绕定位凹部的区域接触。底面突出部具有与定位凹部间隔一定距离的梢端面(23b)。接合构件至少部分地进入通孔,并且电连接到导电层。
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公开(公告)号:CN115024026B
公开(公告)日:2024-11-08
申请号:CN202180012063.7
申请日:2021-02-03
Applicant: 株式会社电装
IPC: H05K3/34 , G01C19/5783
Abstract: 具备:被安装部件(10),其具有一面(10a);电子器件(20),其被配置在一面(10a)上,外形被设为长方体状,在与被安装部件(10)的一面(10a)对置的面(202)上形成有多个电极(22);焊料(30),其配置于电子器件(20)的电极(22)和被安装部件(10)之间,将电子器件(20)的电极(22)和被安装部件(10)电连接且机械连接;以及侧面填充材(40),其配置于焊料(30)的周围,将电子器件(20)和被安装部件(10)机械连接。而且,侧面填充材(40)以使电子器件(20)中的与被安装部件(10)侧相反的一侧的角部露出的方式配置。
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公开(公告)号:CN112088483B
公开(公告)日:2024-04-02
申请号:CN201980030650.1
申请日:2019-06-06
Applicant: 株式会社电装
IPC: H02N11/00 , B06B1/04 , B81B3/00 , G01C19/5747 , H01L29/84
Abstract: 静电致动器具备固定电极(1)和以与固定电极(1)对置的方式配置的可动电极(2)。可动电极(2)能够相对于固定电极(1)及固定部(3)位移。在可动电极(2)与固定部(3)之间作用吸引力。并且,静电致动器的在对固定电极(1)及可动电极(2)施加了电压时的可动电极(2)的非线性振动被在可动电极(2)与固定部(3)之间作用的吸引力降低。
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公开(公告)号:CN115144613B
公开(公告)日:2025-02-25
申请号:CN202210313131.X
申请日:2022-03-28
IPC: G01P15/125 , G01C21/16 , B81B3/00 , B81C1/00
Abstract: 本申请涉及一种惯性传感器及其制造方法,所述惯性传感器包括微振动体,所述微振动体(2)包括具有环形曲面的曲面部(21)和从曲面部凹入的凹部(22)。安装基板(3)包括内框架部(51)和环绕内框架部的电极部(53)。接合构件(52)设置在所述安装基板的被内框架部环绕的内部区域中。微振动体的凹部具有底面,所述底面限定位于所述内部区域中的被安装表面(22b)并通过接合构件接合于安装基板。曲面部具有边沿(211),所述边沿包括曲面部的与所述凹部相反的一侧上的端部。所述边沿具有边沿下表面(211c),其位于与被安装表面或被安装表面的梢端部(28)相同的平面上。
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公开(公告)号:CN116457631A
公开(公告)日:2023-07-18
申请号:CN202180074517.3
申请日:2021-10-14
Applicant: 株式会社电装
IPC: G01C19/5783
Abstract: 多轴惯性力传感器包括安装件(101、159、172)、多个模块(102、103、129、130)及多个传感器(104、105、131、132)。各模块具有相对地确定与接触对象之间的位置的定位部(127)。各模块通过组装成基于定位部相互确定了相对位置的状态及各倾斜面(107、112、133、138)分别朝向不同的方向的状态来构成基座(128)。各传感器通过分别配置在基座的各倾斜面上而使主轴分别朝向不同的方向,且分别检测与主轴对应的惯性力的向量分量。
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公开(公告)号:CN114846335A
公开(公告)日:2022-08-02
申请号:CN202080089357.5
申请日:2020-12-25
Applicant: 株式会社电装
IPC: G01P15/08 , G01P15/18 , G01C19/5783 , H01L29/84 , H05K1/02
Abstract: 本发明涉及一种电子装置,具备:传感器安装部(20);惯性力传感器部(60),配置于传感器安装部(20),检测惯性力;以及被安装部件(10),安装于壳体。在被安装部件(10)上形成有沿着厚度方向贯通该被安装部件(10)的基板贯通部(50),传感器安装部(20)在针对被安装部件(10)的面方向的法线方向上配置在基板贯通部(10)内。并且,电子装置具备支承梁(40),该支承梁(40)与传感器安装部(20)的多个部位连接并且与被安装部件(10)的多个部位连接,将传感器安装部(20)支承于被安装部件(10)。
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公开(公告)号:CN114599936A
公开(公告)日:2022-06-07
申请号:CN202080074706.6
申请日:2020-10-28
Applicant: 株式会社电装
IPC: G01C19/5755 , G01C19/5726 , G01C19/574 , B81B3/00 , H01L29/84
Abstract: 在可动部(20)具备可动部用检测激励电极(251a、251b),并且具备固定部用检测激励电极(551a、551b)、使驱动弹簧(43a、43b)的弹簧常数变化的驱动弹簧调整部(211a、211b、511a、511b)和使检测弹簧(42a、42b)的弹簧常数变化的检测弹簧调整部(241a、241b、541a、541b)。而且,控制部使可动部(20)沿第一方向振动同时也沿第二方向振动,获取可动部(20)在沿着第一方向的方向上的第一谐振频率(fd)及在沿着第二方向的方向上的第二谐振频率(fs),使第一谐振频率(fd)维持在一定的值,并且使第二谐振频率(fs)维持在一定的值。
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公开(公告)号:CN114599936B
公开(公告)日:2024-08-20
申请号:CN202080074706.6
申请日:2020-10-28
Applicant: 株式会社电装
IPC: G01C19/5755 , G01C19/5726 , G01C19/574 , B81B3/00 , H01L29/84
Abstract: 在可动部(20)具备可动部用检测激励电极(251a、251b),并且具备固定部用检测激励电极(551a、551b)、使驱动弹簧(43a、43b)的弹簧常数变化的驱动弹簧调整部(211a、211b、511a、511b)和使检测弹簧(42a、42b)的弹簧常数变化的检测弹簧调整部(241a、241b、541a、541b)。而且,控制部使可动部(20)沿第一方向振动同时也沿第二方向振动,获取可动部(20)在沿着第一方向的方向上的第一谐振频率(fd)及在沿着第二方向的方向上的第二谐振频率(fs),使第一谐振频率(fd)维持在一定的值,并且使第二谐振频率(fs)维持在一定的值。
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公开(公告)号:CN111725078B
公开(公告)日:2024-03-22
申请号:CN202010185159.0
申请日:2020-03-17
Applicant: 株式会社电装
IPC: H01L21/50
Abstract: 在半导体装置中,第一基板(10)和第二基板(40)通过绝缘膜(30)彼此接合。在第一基板(10)与第二基板(40)之间设置有气密室(50),在该气密室(50)内封闭有感测部(20)。第二基板(40)具有在第一基板(10)和第二基板(40)的堆叠方向上贯通的通孔(61),并露出第一基板(10)的第一表面(10a)。贯通电极(63)设置在第二基板(40)的通孔(61)的壁表面上,并与感测部(20)电连接。在位于气密室(50)与通孔(61)之间的位置处设置有排出路径(80),用于将接合时产生的废气从气密室释放至通孔。
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公开(公告)号:CN115144614A
公开(公告)日:2022-10-04
申请号:CN202210313136.2
申请日:2022-03-28
IPC: G01P15/125 , G01C21/16 , B81B7/00
Abstract: 微振动体(2)包括曲面部(21)、从曲面部凹入的凹部(22)、从凹部的底面(22b)突出的底面突出部(23)以及在底面突出部内的通孔(24)。安装基板(3)具有供底面突出部插入其中的定位凹部(43),以及围绕内框架部的电极部(53)。接合构件(52)位于定位凹部中,并将底面突出部与安装基板接合。底面与安装基板的围绕定位凹部的区域接触。底面突出部具有与定位凹部间隔一定距离的梢端面(23b)。接合构件至少部分地进入通孔,并且电连接到导电层。
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