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公开(公告)号:CN115144613B
公开(公告)日:2025-02-25
申请号:CN202210313131.X
申请日:2022-03-28
IPC: G01P15/125 , G01C21/16 , B81B3/00 , B81C1/00
Abstract: 本申请涉及一种惯性传感器及其制造方法,所述惯性传感器包括微振动体,所述微振动体(2)包括具有环形曲面的曲面部(21)和从曲面部凹入的凹部(22)。安装基板(3)包括内框架部(51)和环绕内框架部的电极部(53)。接合构件(52)设置在所述安装基板的被内框架部环绕的内部区域中。微振动体的凹部具有底面,所述底面限定位于所述内部区域中的被安装表面(22b)并通过接合构件接合于安装基板。曲面部具有边沿(211),所述边沿包括曲面部的与所述凹部相反的一侧上的端部。所述边沿具有边沿下表面(211c),其位于与被安装表面或被安装表面的梢端部(28)相同的平面上。
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公开(公告)号:CN115144614B
公开(公告)日:2025-02-25
申请号:CN202210313136.2
申请日:2022-03-28
IPC: G01P15/125 , G01C21/16 , B81B7/00
Abstract: 微振动体(2)包括曲面部(21)、从曲面部凹入的凹部(22)、从凹部的底面(22b)突出的底面突出部(23)以及在底面突出部内的通孔(24)。安装基板(3)具有供底面突出部插入其中的定位凹部(43),以及围绕内框架部的电极部(53)。接合构件(52)位于定位凹部中,并将底面突出部与安装基板接合。底面与安装基板的围绕定位凹部的区域接触。底面突出部具有与定位凹部间隔一定距离的梢端面(23b)。接合构件至少部分地进入通孔,并且电连接到导电层。
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公开(公告)号:CN115144614A
公开(公告)日:2022-10-04
申请号:CN202210313136.2
申请日:2022-03-28
IPC: G01P15/125 , G01C21/16 , B81B7/00
Abstract: 微振动体(2)包括曲面部(21)、从曲面部凹入的凹部(22)、从凹部的底面(22b)突出的底面突出部(23)以及在底面突出部内的通孔(24)。安装基板(3)具有供底面突出部插入其中的定位凹部(43),以及围绕内框架部的电极部(53)。接合构件(52)位于定位凹部中,并将底面突出部与安装基板接合。底面与安装基板的围绕定位凹部的区域接触。底面突出部具有与定位凹部间隔一定距离的梢端面(23b)。接合构件至少部分地进入通孔,并且电连接到导电层。
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公开(公告)号:CN115144613A
公开(公告)日:2022-10-04
申请号:CN202210313131.X
申请日:2022-03-28
IPC: G01P15/125 , G01C21/16 , B81B3/00 , B81C1/00
Abstract: 本申请涉及一种惯性传感器及其制造方法,所述惯性传感器包括微振动体,所述微振动体(2)包括具有环形曲面的曲面部(21)和从曲面部凹入的凹部(22)。安装基板(3)包括内框架部(51)和环绕内框架部的电极部(53)。接合构件(52)设置在所述安装基板的被内框架部环绕的内部区域中。微振动体的凹部具有底面,所述底面限定位于所述内部区域中的被安装表面(22b)并通过接合构件接合于安装基板。曲面部具有边沿(211),所述边沿包括曲面部的与所述凹部相反的一侧上的端部。所述边沿具有边沿下表面(211c),其位于与被安装表面或被安装表面的梢端部(28)相同的平面上。
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公开(公告)号:CN119064635A
公开(公告)日:2024-12-03
申请号:CN202410535316.4
申请日:2024-04-30
IPC: G01P15/125 , B81B7/02 , G01C21/16 , G01C1/00
Abstract: 惯性传感器(1)具备:谐振器(2),具有第一驱动模式和第二驱动模式;安装基板(3),具有包围谐振器(2)的多个电极部(53);以及致动器(6),使谐振器(2)振动。将与安装基板(3)所成的平面正交的方向设为z方向,致动器(6)通过在z方向上振动,使谐振器(2)在z方向上振动而产生谐振模式。
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公开(公告)号:CN116730274A
公开(公告)日:2023-09-12
申请号:CN202310202688.0
申请日:2023-03-06
IPC: B81B7/00 , B81B3/00 , B81C99/00 , G01C19/5691
Abstract: 在安装结构中,微振动器(2)具有:带半球形曲面的曲面部分(21);连接部分(22),所述连接部分(22)从所述曲面部分朝向所述曲面部分的半球形中心延伸;表面电极(23),其覆盖连接部分的至少一部分和曲面部分的至少一部分。安装基板(3)具有两个或更多个布线(42),并且微振动器的一部分连接到安装基板。布线各自具有电极连接部分(421),电极连接部分(421)连接到表面电极在端部覆盖连接部分的一部分。两个或更多个布线包括用于向表面电极施加电压的电压施加布线(42A)和用于检测施加到表面电极的电压的电压检测布线(42B)。电压施加布线在安装基板上远离电压检测布线间隔开。
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公开(公告)号:CN1949937B
公开(公告)日:2011-07-27
申请号:CN200610128837.X
申请日:2006-08-30
Applicant: 株式会社电装
Abstract: 一种传感器附接结构包括:用来接收超声波的声学接收元件(20);附接至声学接收元件的超声波传感器(10)。该超声波传感器包括半导体基片(11),该半导体基片具有彼此相反的第一和第二表面以及从半导体基片的第一表面凹进从而在半导体基片中形成膜片(12)的基片凹陷部(13)。而且,盖元件(30)定位于声学接收元件和半导体基片之间以覆盖半导体基片的第二表面。另外,盖元件具有结合至声学接收元件的第一表面,以及在膜片的外周边区域处结合至半导体基片的第二表面同时在盖元件和膜片之间形成缝隙(31)的第二表面。
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公开(公告)号:CN101035394A
公开(公告)日:2007-09-12
申请号:CN200710085452.4
申请日:2007-03-05
Applicant: 株式会社电装
CPC classification number: G10K9/122
Abstract: 基板(12)和安装在基板上的压电振动器(11)所构成的超声波传感器(10)可有利地用作检测到位于机动车辆前方的物体的距离的传感器。从传感器(10)发射的超声波被物体反射,并且反射波由传感器接收。基于反射波,计算从车辆到物体的距离。为了减小基板(12)的刚性并由此将基板(12)的共振频率降低到所希望的值,在基板中形成沟槽(14)。不减小基板的厚度来保持其抗冲击力的机械强度。利用这种方式,在不增大超声波传感器(10)的尺寸的条件下,获得实现足够高的方向性和灵敏度所希望的共振频率。
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公开(公告)号:CN1829395B
公开(公告)日:2011-02-09
申请号:CN200610019834.2
申请日:2006-03-01
Applicant: 株式会社电装
CPC classification number: G01S15/42 , G01N2291/02872 , G01N2291/02881 , G01S3/808 , G01S7/52006 , G01S7/521 , G01S15/876 , G01S15/931 , H04R17/00 , Y10S367/909
Abstract: 一种用于检测物体(50)的超声传感器,包括:基片(10);发射装置(S1,S2),用于发射超声波;多个接收装置(R1-R8),用于接收超声波;以及电路(K),用于处理接收的超声波,所述接收的超声波是在由所述发射装置(S1,S2)发射的所述超声波被所述物体(50)反射之后被接收装置(R1-R8)接收的。发射装置(S1,S2)和接收装置(R1-R8)被集成到基片(10)中。传感器的尺寸得以最小化,并且提高了传感器的检测精度。
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公开(公告)号:CN100522701C
公开(公告)日:2009-08-05
申请号:CN200710096057.6
申请日:2007-04-10
Applicant: 株式会社电装
IPC: B60R21/0136 , G01S15/93
CPC classification number: B60R21/0134 , B60R21/013 , B60R21/0132 , B60R21/01338 , B60R21/0136 , B60R21/36 , B60R2021/01322 , G01S15/931 , G01S2015/938
Abstract: 用于车辆的碰撞检测装置包括:第一方向信号输出单元(30),其检测靠近或接触车辆的检测对象所辐射的热射线的强度,从而输出第一方向信号;第二方向信号输出单元(30),其检测由发送部件(19)发送并被检测对象反射的超声波,从而输出第二方向信号;撞击信号输出单元(27),其检测车辆上的撞击以输出撞击信号;以及控制单元(21)。在确定第一方向信号和第二方向信号之间的差别在第一预定范围内并且输出撞击信号的情况下,该控制单元(21)确定发生了车辆与人之间的碰撞。
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