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公开(公告)号:CN119064635A
公开(公告)日:2024-12-03
申请号:CN202410535316.4
申请日:2024-04-30
IPC: G01P15/125 , B81B7/02 , G01C21/16 , G01C1/00
Abstract: 惯性传感器(1)具备:谐振器(2),具有第一驱动模式和第二驱动模式;安装基板(3),具有包围谐振器(2)的多个电极部(53);以及致动器(6),使谐振器(2)振动。将与安装基板(3)所成的平面正交的方向设为z方向,致动器(6)通过在z方向上振动,使谐振器(2)在z方向上振动而产生谐振模式。
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公开(公告)号:CN116730274A
公开(公告)日:2023-09-12
申请号:CN202310202688.0
申请日:2023-03-06
IPC: B81B7/00 , B81B3/00 , B81C99/00 , G01C19/5691
Abstract: 在安装结构中,微振动器(2)具有:带半球形曲面的曲面部分(21);连接部分(22),所述连接部分(22)从所述曲面部分朝向所述曲面部分的半球形中心延伸;表面电极(23),其覆盖连接部分的至少一部分和曲面部分的至少一部分。安装基板(3)具有两个或更多个布线(42),并且微振动器的一部分连接到安装基板。布线各自具有电极连接部分(421),电极连接部分(421)连接到表面电极在端部覆盖连接部分的一部分。两个或更多个布线包括用于向表面电极施加电压的电压施加布线(42A)和用于检测施加到表面电极的电压的电压检测布线(42B)。电压施加布线在安装基板上远离电压检测布线间隔开。
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