角速度传感器及角速度传感器系统

    公开(公告)号:CN114599936B

    公开(公告)日:2024-08-20

    申请号:CN202080074706.6

    申请日:2020-10-28

    摘要: 在可动部(20)具备可动部用检测激励电极(251a、251b),并且具备固定部用检测激励电极(551a、551b)、使驱动弹簧(43a、43b)的弹簧常数变化的驱动弹簧调整部(211a、211b、511a、511b)和使检测弹簧(42a、42b)的弹簧常数变化的检测弹簧调整部(241a、241b、541a、541b)。而且,控制部使可动部(20)沿第一方向振动同时也沿第二方向振动,获取可动部(20)在沿着第一方向的方向上的第一谐振频率(fd)及在沿着第二方向的方向上的第二谐振频率(fs),使第一谐振频率(fd)维持在一定的值,并且使第二谐振频率(fs)维持在一定的值。

    一种陀螺多维噪声抑制方法

    公开(公告)号:CN113483746A

    公开(公告)日:2021-10-08

    申请号:CN202110861719.4

    申请日:2021-07-29

    IPC分类号: G01C19/5719 G01C19/5726

    摘要: 本发明涉及一种陀螺多维噪声抑制方法,包括以下步骤:步骤1、从振动场维度出发,设计疏型奇序止推槽结构,用于避免止推轴承各槽体支撑气流之间的对冲互扰;步骤2、从电磁场维度出发,设计无主磁通衰减结构,用于避免陀螺内部元件之间的近距磁交联干扰;步骤3、从热场维度出发,设计无源温度均热结构,用于降低外界环境热扰动。本发明能够在提高陀螺输出信噪比的同时,不增加系统复杂度,保证陀螺产品的可靠性不受损失。

    芯片上间隙测量
    3.
    发明公开

    公开(公告)号:CN111465821A

    公开(公告)日:2020-07-28

    申请号:CN201880080468.2

    申请日:2018-10-10

    IPC分类号: G01C19/5726 G01C25/00

    摘要: MEMS陀螺仪包括以驱动频率驱动的悬挂弹簧质块系统的检测质块。在驱动运动期间,检测质块相对于感测电极移动,使得检测质块和感测电极的重叠变化。科里奥利力导致检测质块相对于感应电极移动。感测由于科里奥利力而引起的重叠和移动,并且基于由于重叠以及科里奥利力的变化而产生的信号的幅度来确定角速度。

    用于运行和/或测量微机械装置的方法和微机械装置

    公开(公告)号:CN103512572B

    公开(公告)日:2018-05-15

    申请号:CN201310414834.2

    申请日:2013-06-14

    摘要: 建议一种用于运行和/或测量微机械装置的方法,其中,微机械装置具有可相对于衬底振动运动的第一振动质量和可相对于衬底同样振动运动的第二振动质量,其中,该微机械装置分别平行于驱动方向及根据第一定向具有用于偏转第一振动质量的第一驱动装置和用于偏转第二振动质量的第二驱动装置,其中,该微机械装置平行于驱动方向及根据与第一定向相反的第二定向地具有用于偏转第一振动质量的第三驱动装置和用于偏转第二振动质量的第四驱动装置,其中,该微机械装置具有用于检测第一振动质量的驱动运动的第一检测装置,其中,该微机械装置具有用于检测第二振动质量的驱动运动的第二检测装置,其中,为了运行和/或为了测量微机械装置,通过第一检测装置产生第一检测信号和通过第二检测装置产生第二检测信号,其中,第一检测信号与第二检测信号分开地求值。

    抑制噪声的方法、陀螺仪检测电路、陀螺仪及电子设备

    公开(公告)号:CN106289219A

    公开(公告)日:2017-01-04

    申请号:CN201510250825.3

    申请日:2015-05-15

    发明人: 胡家安

    IPC分类号: G01C19/5719 G01C19/5726

    摘要: 本发明公开了一种抑制噪声的方法、陀螺仪检测电路、陀螺仪及电子设备,用于解决现有技术中放大器的闪烁噪声影响陀螺仪的检测精度的问题。陀螺仪检测电路,包括:敏感模态信号检测电路,用于在陀螺仪的振动件进行敏感模态振动时,基于高频工作信号检测获得高频敏感模态信号;第一放大电路,用于对所述高频敏感模态信号进行放大;第一解调电路,用于将所述第一放大电路放大后的信号中与所述高频敏感模态信号相位相同的信号解调为低频信号,以及将所述第一放大电路产生的闪烁噪声调制为高频噪声信号;第一滤波电路,用于将所述第一解调电路解调后的信号中的高频信号过滤掉,输出所述低频信号。

    电路装置、物理量检测装置、电子设备以及移动体

    公开(公告)号:CN105987691A

    公开(公告)日:2016-10-05

    申请号:CN201610140380.8

    申请日:2016-03-11

    发明人: 青山孝志

    IPC分类号: G01C19/5726

    摘要: 本发明提供一种能够适当地对差分信号处理电路的故障进行检测的电路装置、物理量检测装置、电子设备以及移动体等。电路装置包括:差分输入/单端输出的第一放大器(AMC1),其中,构成差分信号的第一信号(QB1)、第二信号(QB2)之中的第一信号(QB1)被输入至反相输入端子(TM1),第二信号(QB2)被输入至非反相输入端子(TP1);差分输入/单端输出的第二放大器(AMC2),其中,第一信号(QB1)被输入至非反相输入端子(TP2),第二信号(QB2)被输入至反相输入端子(TM2);故障检测电路(160),其基于第一放大器(AMC1)的输出信号(QC1)和第二放大器(AMC2)的输出信号(QC2)而实施故障检测。

    MEMS陀螺仪的带内跳动去除

    公开(公告)号:CN105899910A

    公开(公告)日:2016-08-24

    申请号:CN201380081049.8

    申请日:2013-11-22

    IPC分类号: G01C19/5726 G06F1/08

    摘要: 一种能连接到振动MEMS陀螺仪(VMEMS)的振动陀螺仪电路(VCIRC)。所述电路包括驱动电路(DRIVE),所述驱动电路被布置成在连接所述电路时驱动所述振动MEMS陀螺仪(VMEMS)以及测量单元(DMU),所述测量单元提供驱动测量电压信号(DMV),所述驱动测量电压信号形成某一质量沿着驱动轴线的位移的量度。感测电路(SENSE)被布置成处理所述振动MEMS陀螺仪(VMEMS)的感测测量信号,所述感测测量信号形成所述质量沿着感测轴线的位移的量度。数字采样时钟产生器(SCG)被布置成从输入信号(FDxy)产生采样时钟信号(SCLK),所述输入信号能从驱动测量电压信号(DMV)导出。所述采样时钟产生器(SCG)包括振荡器(HFOSC),所述振荡器被布置成产生主时钟(MOSC);以及计数器单元(OSCCNTR),所述计数器单元被布置成在所述输入信号的一个周期期间对主时钟周期计数。所述时钟产生器还包括计数监视器(NCM),所述计数监视器被布置成确定在多少个输入信号周期期间所述计数保持恒定,且将恒定周期的数目(Ncp)与恒定周期的临界数目(Ncp_crit)相比较。每当所述计数监视器(NCM)已经确定所述恒定周期的数目(Ncp)超出所述恒定周期的临界数目(Ncp_crit)时,移频器(FSH)将触发所述振荡器以改变所述主时钟频率。

    带有激励力反转的微机电陀螺仪和激励微机电陀螺仪的方法

    公开(公告)号:CN102230800B

    公开(公告)日:2015-09-16

    申请号:CN201110085692.0

    申请日:2011-02-16

    IPC分类号: G01C19/5726 G01C19/5762

    CPC分类号: G01C19/5726 G01C19/5762

    摘要: 本发明涉及了一种带有激励力反转的微机电陀螺仪和激励微机电陀螺仪的方法。公开了一种微机电陀螺仪,包括:主体(6)和驱动质量块(7),所述驱动质量块(7)根据驱动轴(X)相对于主体(6)可移动,并且电容性耦合到所述主体(6)。该陀螺仪还包括驱动设备(3),其与所述主体(6)和所述驱动质量块(7)一起形成微机电控制回路(18),并设置成向所述驱动质量块(7)提供具有共模分量(VCM)和相应差分分量的驱动信号(VD1,VD2),使得维持所述驱动质量块(7)根据所述驱动轴(X)的振荡。向所述驱动设备(3)提供激励级(23),其设置成以可控的方式反转所述驱动信号(VD1,VD2)的差分分量的符号。

    用于转速传感器的振动补偿

    公开(公告)号:CN101799479B

    公开(公告)日:2014-11-05

    申请号:CN201010116566.2

    申请日:2010-02-10

    发明人: S·尊福特

    摘要: 本发明涉及用于转速传感器(38)的补偿电路(42),包括用于在考虑第一和第二测量值(621,622)的差值或和值的情况下产生正交补偿信号(73)的第一分析处理单元(72,76)。补偿电路(42)具有第二分析处理单元(86),其用于在考虑检测到的第一和第二测量值的和值或差值的情况下产生振动补偿信号(99)。本发明还涉及相应的检测电路(42)和转速传感器(38)。本发明还涉及用于转速传感器的补偿方法,包括:在检测传感元件(12)上检测第一和第二测量值(621,622);由第一和第二测量值产生第一差值或和值;在考虑第一差值或和值的情况下产生正交补偿信号(73);由第一和第二测量值产生第二和值或差值(90);在考虑第二和值或差值(90)的情况下产生振动补偿信号(99)。

    用于运行传感器的方法
    10.
    发明公开

    公开(公告)号:CN116086422A

    公开(公告)日:2023-05-09

    申请号:CN202211390717.2

    申请日:2022-11-08

    发明人: M·罗莱克

    摘要: 一种用于运行传感器的方法,其中对所述传感器的影响被检测并且通过人工神经网络(KNN)(56)来被补偿,其中对所述传感器的影响通过来自所述传感器的周围环境中的信息来被描述,而且所述传感器的输出信号(60)在所述KNN(56)中与表示来自所述传感器的周围环境中的信息的其它数据相结合,使得获得经过补偿的输出信号(86)。