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公开(公告)号：CN115144614B
公开(公告)日：2025-02-25
申请号：CN202210313136.2
申请日：2022-03-28
IPC: G01P15/125 , G01C21/16 , B81B7/00
Abstract: 微振动体(2)包括曲面部(21)、从曲面部凹入的凹部(22)、从凹部的底面(22b)突出的底面突出部(23)以及在底面突出部内的通孔(24)。安装基板(3)具有供底面突出部插入其中的定位凹部(43)，以及围绕内框架部的电极部(53)。接合构件(52)位于定位凹部中，并将底面突出部与安装基板接合。底面与安装基板的围绕定位凹部的区域接触。底面突出部具有与定位凹部间隔一定距离的梢端面(23b)。接合构件至少部分地进入通孔，并且电连接到导电层。
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公开(公告)号：CN115144613B
公开(公告)日：2025-02-25
申请号：CN202210313131.X
申请日：2022-03-28
IPC: G01P15/125 , G01C21/16 , B81B3/00 , B81C1/00
Abstract: 本申请涉及一种惯性传感器及其制造方法，所述惯性传感器包括微振动体，所述微振动体(2)包括具有环形曲面的曲面部(21)和从曲面部凹入的凹部(22)。安装基板(3)包括内框架部(51)和环绕内框架部的电极部(53)。接合构件(52)设置在所述安装基板的被内框架部环绕的内部区域中。微振动体的凹部具有底面，所述底面限定位于所述内部区域中的被安装表面(22b)并通过接合构件接合于安装基板。曲面部具有边沿(211)，所述边沿包括曲面部的与所述凹部相反的一侧上的端部。所述边沿具有边沿下表面(211c)，其位于与被安装表面或被安装表面的梢端部(28)相同的平面上。
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公开(公告)号：CN114599936A
公开(公告)日：2022-06-07
申请号：CN202080074706.6
申请日：2020-10-28
Applicant: 株式会社电装
IPC: G01C19/5755 , G01C19/5726 , G01C19/574 , B81B3/00 , H01L29/84
Abstract: 在可动部(20)具备可动部用检测激励电极(251a、251b)，并且具备固定部用检测激励电极(551a、551b)、使驱动弹簧(43a、43b)的弹簧常数变化的驱动弹簧调整部(211a、211b、511a、511b)和使检测弹簧(42a、42b)的弹簧常数变化的检测弹簧调整部(241a、241b、541a、541b)。而且，控制部使可动部(20)沿第一方向振动同时也沿第二方向振动，获取可动部(20)在沿着第一方向的方向上的第一谐振频率(fd)及在沿着第二方向的方向上的第二谐振频率(fs)，使第一谐振频率(fd)维持在一定的值，并且使第二谐振频率(fs)维持在一定的值。
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公开(公告)号：CN111065889B
公开(公告)日：2023-09-01
申请号：CN201880054261.8
申请日：2018-08-02
Applicant: 株式会社电装
IPC: G01C19/5762 , B81B3/00 , H01L29/84 , H03H9/24
Abstract: 振动陀螺仪具备：质量部(3)，以能够在相互正交的第1方向和第2方向上分别位移的方式而被支承；施振器(7)，使上述质量部在上述第1方向上振动；以及检测器(9)，检测上述质量部的上述第2方向的位移量。此外，上述质量部的上述第1方向的共振频率与上述第2方向的共振频率相等；上述第2方向的振动的Q值比上述第1方向的振动的Q值小。
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公开(公告)号：CN115144613A
公开(公告)日：2022-10-04
申请号：CN202210313131.X
申请日：2022-03-28
IPC: G01P15/125 , G01C21/16 , B81B3/00 , B81C1/00
Abstract: 本申请涉及一种惯性传感器及其制造方法，所述惯性传感器包括微振动体，所述微振动体(2)包括具有环形曲面的曲面部(21)和从曲面部凹入的凹部(22)。安装基板(3)包括内框架部(51)和环绕内框架部的电极部(53)。接合构件(52)设置在所述安装基板的被内框架部环绕的内部区域中。微振动体的凹部具有底面，所述底面限定位于所述内部区域中的被安装表面(22b)并通过接合构件接合于安装基板。曲面部具有边沿(211)，所述边沿包括曲面部的与所述凹部相反的一侧上的端部。所述边沿具有边沿下表面(211c)，其位于与被安装表面或被安装表面的梢端部(28)相同的平面上。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN114599936B
公开(公告)日：2024-08-20
申请号：CN202080074706.6
申请日：2020-10-28
Applicant: 株式会社电装
IPC: G01C19/5755 , G01C19/5726 , G01C19/574 , B81B3/00 , H01L29/84
Abstract: 在可动部(20)具备可动部用检测激励电极(251a、251b)，并且具备固定部用检测激励电极(551a、551b)、使驱动弹簧(43a、43b)的弹簧常数变化的驱动弹簧调整部(211a、211b、511a、511b)和使检测弹簧(42a、42b)的弹簧常数变化的检测弹簧调整部(241a、241b、541a、541b)。而且，控制部使可动部(20)沿第一方向振动同时也沿第二方向振动，获取可动部(20)在沿着第一方向的方向上的第一谐振频率(fd)及在沿着第二方向的方向上的第二谐振频率(fs)，使第一谐振频率(fd)维持在一定的值，并且使第二谐振频率(fs)维持在一定的值。
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公开(公告)号：CN115144614A
公开(公告)日：2022-10-04
申请号：CN202210313136.2
申请日：2022-03-28
IPC: G01P15/125 , G01C21/16 , B81B7/00
Abstract: 微振动体(2)包括曲面部(21)、从曲面部凹入的凹部(22)、从凹部的底面(22b)突出的底面突出部(23)以及在底面突出部内的通孔(24)。安装基板(3)具有供底面突出部插入其中的定位凹部(43)，以及围绕内框架部的电极部(53)。接合构件(52)位于定位凹部中，并将底面突出部与安装基板接合。底面与安装基板的围绕定位凹部的区域接触。底面突出部具有与定位凹部间隔一定距离的梢端面(23b)。接合构件至少部分地进入通孔，并且电连接到导电层。
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公开(公告)号：CN119064635A
公开(公告)日：2024-12-03
申请号：CN202410535316.4
申请日：2024-04-30
IPC: G01P15/125 , B81B7/02 , G01C21/16 , G01C1/00
Abstract: 惯性传感器(1)具备：谐振器(2)，具有第一驱动模式和第二驱动模式；安装基板(3)，具有包围谐振器(2)的多个电极部(53)；以及致动器(6)，使谐振器(2)振动。将与安装基板(3)所成的平面正交的方向设为z方向，致动器(6)通过在z方向上振动，使谐振器(2)在z方向上振动而产生谐振模式。
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公开(公告)号：CN116730274A
公开(公告)日：2023-09-12
申请号：CN202310202688.0
申请日：2023-03-06
IPC: B81B7/00 , B81B3/00 , B81C99/00 , G01C19/5691
Abstract: 在安装结构中，微振动器(2)具有：带半球形曲面的曲面部分(21)；连接部分(22)，所述连接部分(22)从所述曲面部分朝向所述曲面部分的半球形中心延伸；表面电极(23)，其覆盖连接部分的至少一部分和曲面部分的至少一部分。安装基板(3)具有两个或更多个布线(42)，并且微振动器的一部分连接到安装基板。布线各自具有电极连接部分(421)，电极连接部分(421)连接到表面电极在端部覆盖连接部分的一部分。两个或更多个布线包括用于向表面电极施加电压的电压施加布线(42A)和用于检测施加到表面电极的电压的电压检测布线(42B)。电压施加布线在安装基板上远离电压检测布线间隔开。
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公开(公告)号：CN111065889A
公开(公告)日：2020-04-24
申请号：CN201880054261.8
申请日：2018-08-02
Applicant: 株式会社电装
IPC: G01C19/5762 , B81B3/00 , H01L29/84 , H03H9/24
Abstract: 振动陀螺仪具备：质量部(3)，以能够在相互正交的第1方向和第2方向上分别位移的方式而被支承；施振器(7)，使上述质量部在上述第1方向上振动；以及检测器(9)，检测上述质量部的上述第2方向的位移量。此外，上述质量部的上述第1方向的共振频率与上述第2方向的共振频率相等；上述第2方向的振动的Q值比上述第1方向的振动的Q值小。
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