压电元件、压电装置及压电元件的制造方法

    公开(公告)号:CN116784020A

    公开(公告)日:2023-09-19

    申请号:CN202280012733.X

    申请日:2022-02-01

    Abstract: 压电元件包括:支承体(10);以及振动部(20),其配置在支承体(10)上,设为包括压电膜(50)和与压电膜(50)连接来取出因压电膜(50)发生变形而产生的电荷的电极膜(60)的结构,振动部(20)具有由支承体(10)支承的支承区域(21a)和与支承区域(21a)相连且从支承体(10)悬浮的振动区域(22),基于电荷来输出压力检测信号。并且,在振动区域(22)从支承区域(21a)侧朝向振动区域(22)的中心部(C)形成有多个狭缝,并且振动区域(22)成为相对于支承区域(21a)而被两端支承的状态。

    振动型角速度传感器
    3.
    发明授权

    公开(公告)号:CN106415204B

    公开(公告)日:2019-07-16

    申请号:CN201580031212.9

    申请日:2015-06-02

    Abstract: 振动型角速度传感器,在将固定部(20)与可动部(30)以及梁部(40)进行连结的部分具备防振弹簧构造(25)。通过这样的构造,例如在由外部冲击等引起的共振频率比驱动振动、检测振动的共振频率(驱动频率、检测频率)小的无用振动模式时,与梁部相比主要防振弹簧构造进行变形,能够抑制梁部的变形。而且,当在为框体构造的可动部以及梁部的中心支撑部配置防振弹簧构造时,与将检测梁直接固定于固定部的情况相比,通过防振弹簧构造位移使检测梁与防振弹簧构造的连结场所的位移变大。因此,能够在角速度施加时通过振动检测部基于检测梁的更大的变形进行角速度检测,能够进一步提高检测精度。

    物理量传感器
    5.
    发明公开

    公开(公告)号:CN104350359A

    公开(公告)日:2015-02-11

    申请号:CN201380028260.3

    申请日:2013-05-28

    CPC classification number: G01P1/003 G01C19/5747 G01P1/026 G01P3/14 G01P3/44

    Abstract: 在物理量传感器中,关于同相模式的共振频率f1和比其大的同相吸收模式的共振频率f3,设为同相吸收模式的共振频率f3与同相模式的共振频率f1的n倍的值的差的绝对值Δf3比对同相模式的共振频率f1乘以避免差D后的值大的关系(Δf3>f1×D),并至少使避免差D比0%大。由此,能够避免由共振干涉带来的振动激励成为最大位移。通过进行设定为满足这样的关系的同相模式的共振频率f1和同相吸收模式的共振频率f3的设计,使由共振干涉带来的振动激励降低。因而,能够不使用防振部件且不导致传感器灵敏度的降低,而使耐冲击性能提高。

    物理量传感器
    9.
    发明公开

    公开(公告)号:CN109416254A

    公开(公告)日:2019-03-01

    申请号:CN201780041031.3

    申请日:2017-06-23

    Inventor: 城森知也

    Abstract: 使支承检测平衡块(35、36)的第一检测梁(41a)以及第二检测梁(41b)的弹簧常数不同。而且,增大第一检测梁(41a)以及第二检测梁(41b)的一方的x轴方向的尺寸,并增大检测压电膜(61a~61d)的形成面积,从而实现灵敏度提高,并且抑制另一方的x轴方向的尺寸,从而抑制检测共振频率变大。由此,能够实现灵敏度的提高。

    振动型角速度传感器
    10.
    发明公开

    公开(公告)号:CN106415204A

    公开(公告)日:2017-02-15

    申请号:CN201580031212.9

    申请日:2015-06-02

    Abstract: 振动型角速度传感器,在将固定部(20)与可动部(30)以及梁部(40)进行连结的部分具备防振弹簧构造(25)。通过这样的构造,例如在由外部冲击等引起的共振频率比驱动振动、检测振动的共振频率(驱动频率、检测频率)小的无用振动模式时,与梁部相比主要防振弹簧构造进行变形,能够抑制梁部的变形。而且,当在为框体构造的可动部以及梁部的中心支撑部配置防振弹簧构造时,与将检测梁直接固定于固定部的情况相比,通过防振弹簧构造位移使检测梁与防振弹簧构造的连结场所的位移变大。因此,能够在角速度施加时通过振动检测部基于检测梁的更大的变形进行角速度检测,能够进一步提高检测精度。

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