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公开(公告)号：CN109632157A
公开(公告)日：2019-04-16
申请号：CN201811496599.7
申请日：2018-12-07
申请人： 哈尔滨工程大学
IPC分类号： G01L1/18
CPC分类号： G01L1/18
摘要： 本发明的目的在于提供一种螺栓结合面动态应力监测装置，PVDF压电式应力监测传感器放置在被监测的两个工件螺栓结合面处，PVDF压电式应力监测传感器外壳设有引线通孔，导线通过引线通孔与信号采集处理电路连接，信号采集电路实现对动态应力信号的放大、滤波、无线传输。上下两工件设置有与双头螺柱配合使用的通孔。PVDF压电式应力监测传感器包括凹型保护壳、绝缘压接层、导电层、PVDF压电薄膜、接线端子。信号采集处理电路包括电荷放大电路、电压放大电路、滤波电路以及无线信号发射电路。本发明结构简单，体积小，操作方便，可以实现螺栓结合面动态应力实施监测，无线传输可以节约使用空间，减少布线麻烦。
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公开(公告)号：CN108801503A
公开(公告)日：2018-11-13
申请号：CN201810369108.6
申请日：2018-04-23
申请人： 意法半导体股份有限公司
IPC分类号： G01L1/00
CPC分类号： G01L1/18 , G01L5/162 , G01L25/00 , G01M5/0041 , G01M5/0083 , G01L1/005
摘要： 本公开涉及一种应力传感器，包括膜板；布置在膜板的顶部上的第一接合区域；布置在第一接合区域的顶部上的盖板，第一接合区域将膜板接合到盖板；跨越膜板延伸、嵌入接合层中的三维压阻元件；以及跨过膜板延伸、被接合层包围并与接合层分离的平面压阻元件。
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公开(公告)号：CN108797099A
公开(公告)日：2018-11-13
申请号：CN201810723381.4
申请日：2018-07-04
申请人： 广安欧奇仕电子科技有限公司
IPC分类号： D06M11/74 , G01L1/18 , D06M101/20 , D06M101/28 , D06M101/24 , D06M101/34 , D06M101/32
CPC分类号： D06M11/74 , D06M2101/20 , D06M2101/24 , D06M2101/28 , D06M2101/32 , D06M2101/34 , G01L1/18
摘要： 本发明提供了一种复合柔性导电织物、柔性力学传感器及复合柔性导电织物的制备方法，其中复合柔性导电织物为表面修饰了碳纳米管的柔性织物；主要步骤为将柔性织物置于碳纳米管的分散液中浸渍、烘干，制得柔性导电织物，浸渍时间为15–15分钟，浸渍过程中进行超声处理；烘干温度为60‑100℃，烘干时间为1‑3小时，制得。利用上述复合柔性导电织物制得柔性力学传感器。本发明提供的柔性导电织物制备工艺简单，成本低，可实现连续性大规模生产；本发明提供的基于柔性导电织物的柔性力学传感器，能够同时感应和区分压力和摩擦力，传感器灵敏度高，耐受性强，不易损坏。
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公开(公告)号：CN108368469A
公开(公告)日：2018-08-03
申请号：CN201680071810.3
申请日：2016-10-07
申请人： 加利福尼亚大学校董会
CPC分类号： G01N21/658 , C23C14/024 , C23C14/04 , C23C14/18 , C23C14/30 , C23C16/01 , C23C16/0227 , C23C16/26 , G01L1/18 , G01N27/028 , G01N2021/651
摘要： 一种复合膜结构体的制作方法，所述方法包括确定用于复合膜结构体的金属层的期望的形态；基于上述确定选择第一金属基材；将石墨烯层转移至第一金属基材上；将金属层沉积在石墨烯层上以实现所述期望的形态；和从石墨烯和沉积的金属层移除第一金属基材从而形成复合膜结构体。第一金属基材和沉积的金属层之间的表面能差导致金属层的期望的形态。
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公开(公告)号：CN108135362A
公开(公告)日：2018-06-08
申请号：CN201680058285.1
申请日：2016-10-06
申请人： LG伊诺特有限公司
CPC分类号： A47C1/00 , A47C7/02 , A47C7/62 , A47C27/00 , A47C31/12 , A61B5/00 , A61B5/1116 , A61B5/6891 , A61B2562/0247 , G01L1/14 , G01L1/18
摘要： 根据本发明的一个实施方式的压力感测椅包括：第一电极，其具有在第一方向上形成的第一导电区域；第二电极，其具有在第二方向上形成的第二导电区域；感测片，其包括布置在第一电极与第二电极之间的中间层；第一弹性体，其布置在感测片上并且具有第一弹性模量；以及多个第二弹性体，其布置在第一弹性体中并且具有大于第一弹性模量的第二弹性模量。
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公开(公告)号：CN104880266B
公开(公告)日：2018-06-05
申请号：CN201510111556.2
申请日：2015-01-12
申请人： 苹果公司
IPC分类号： G01L1/18
CPC分类号： G06F3/0414 , G01L1/005 , G01L1/16 , G01L1/18 , G01L1/20 , G01L1/205 , G06F3/0412 , G06F3/0416 , G06F3/044 , G06F3/045 , G06F2203/04103 , G06F2203/04105 , G06F2203/04111
摘要： 本申请涉及具有柔性基底的温度补偿透明力传感器。一种光学透明的力传感器元件，通过比较第一力敏感部件与第二力敏感部件的力读数来补偿环境的影响。所述第一力敏感部件和第二力敏感部件设置在显示器堆叠层内的柔性基底的相对侧上。
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公开(公告)号：CN107848788A
公开(公告)日：2018-03-27
申请号：CN201680041987.9
申请日：2016-06-10
申请人： 触控解决方案股份有限公司
摘要： 本文描述了一种示例MEMS力传感器。MEMS力传感器可包括用于接收施加的力的盖以及粘结至盖的传感器。沟槽和腔可形成在传感器中。沟槽可沿着传感器的周边边缘的至少一部分形成。可密封在盖和传感器之间的腔可限定外壁和柔性感测元件，并且外壁可布置在沟槽和腔之间。传感器还可包括形成在柔性感测元件上的传感器元件。传感器元件可响应于柔性感测元件的挠曲而更改电特性。
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公开(公告)号：CN107741288A
公开(公告)日：2018-02-27
申请号：CN201710883284.7
申请日：2017-09-26
申请人： 李天夫 , 医用遥感科技有限公司
CPC分类号： G01L1/18 , A43B3/0021
摘要： 一种压力薄膜传感器及其制造方法以及包含其的智能跑鞋，压力薄膜传感器包括压敏电阻材料层及嵌设于该压敏电阻材料层内部的导电层，采用挤出成型设备进行制造。智能跑鞋包括鞋体及所述的压力薄膜传感器；该鞋体的鞋底内设有多个该压力薄膜传感器，鞋面设有实时反馈单元，该实时反馈单元包括各压力薄膜传感器对应的扬声器和多色LED灯；各压力薄膜传感器及实时反馈单元均通过导线和控制处理器相连，该控制处理器内设有无线通讯单元。本发明的压力薄膜传感器，其结构简单，测量结果准确，误差几率小，制造工艺简单，成本低；包含该压力薄膜传感器的智能跑鞋，其能够对运动员足底着地的姿态进行检测，并及时提醒错误姿态，来辅助运动员进行训练。
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公开(公告)号：CN105241369B
公开(公告)日：2018-02-09
申请号：CN201510505712.3
申请日：2015-08-17
申请人： 王文 , 中国科学院地质与地球物理研究所
摘要： 本发明涉及传感器领域，特别涉及一种MEMS应变计芯片以及其制造方法，其中，MEMS应变计芯片包括相互连接的衬底、器件部以及盖板，所述衬底与所述器件部之间以及所述器件部与所述盖板之间形成有氧化硅层；所述衬底以及所述盖板上分别形成有凹陷部，衬底凹陷部与盖板凹陷部相连接并形成一空腔，所述器件部位于所述空腔内；所述器件部包括桥接部以及压阻测量元件，所述压阻测量元件设置在所述桥接部上。本应变计芯片受温度影响较小，可以在高温的环境中使用，而且具有检测精度高、可靠性高、制造成本低等特点。
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公开(公告)号：CN107667069A
公开(公告)日：2018-02-06
申请号：CN201580080280.4
申请日：2015-06-26
申请人： 英特尔公司
CPC分类号： B81C1/00246 , B81B3/0021 , B81B7/02 , B81B2201/0235 , B81B2201/0242 , G01L1/18 , G01L1/2293
摘要： 公开了用于在IV族衬底(例如，硅、硅锗或锗衬底)上形成III族材料-氮化物(III-N)微机电系统(MEMS)结构的技术。在一些情况下，该技术包括在衬底上、以及任选地在浅沟槽隔离(STI)材料上形成III-N层，然后通过蚀刻来释放III-N层以形成悬置于衬底上方的III-N层的自由部分。该技术可以包括例如使用湿法蚀刻工艺，其选择性地蚀刻衬底和/或STI材料，但不蚀刻III-N材料(或者以显著地较慢的速率蚀刻III-N材料)。可以在III-N层上形成压阻元件，例如，以检测III-N层的自由/悬置部分中的振动或挠曲。因此，可以使用该技术来形成MEMS传感器，例如，加速度计、陀螺仪和压力传感器。
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