公开(公告)号：CN108801503A

公开(公告)日：2018-11-13

申请号：CN201810369108.6

申请日：2018-04-23

Applicant: 意法半导体股份有限公司

Inventor： E·圭德蒂 ,  M·亚巴西加瓦蒂 ,  D·卡尔塔比亚诺 ,  G·贝尔塔格诺里

IPC: G01L1/00

CPC classification number: G01L1/18 ,  G01L5/162 ,  G01L25/00 ,  G01M5/0041 ,  G01M5/0083 ,  G01L1/005

Abstract: 本公开涉及一种应力传感器，包括膜板；布置在膜板的顶部上的第一接合区域；布置在第一接合区域的顶部上的盖板，第一接合区域将膜板接合到盖板；跨越膜板延伸、嵌入接合层中的三维压阻元件；以及跨过膜板延伸、被接合层包围并与接合层分离的平面压阻元件。

公开(公告)号：CN108801503B

公开(公告)日：2021-05-25

申请号：CN201810369108.6

申请日：2018-04-23

Applicant: 意法半导体股份有限公司

Inventor： E·圭德蒂 ,  M·亚巴西加瓦蒂 ,  D·卡尔塔比亚诺 ,  G·贝尔塔格诺里

IPC: G01L1/00

Abstract: 本公开涉及一种应力传感器，包括膜板；布置在膜板的顶部上的第一接合区域；布置在第一接合区域的顶部上的盖板，第一接合区域将膜板接合到盖板；跨越膜板延伸、嵌入接合层中的三维压阻元件；以及跨过膜板延伸、被接合层包围并与接合层分离的平面压阻元件。

公开(公告)号：CN208847373U

公开(公告)日：2019-05-10

申请号：CN201820582425.1

申请日：2018-04-23

Applicant: 意法半导体股份有限公司

Inventor： E·圭德蒂 ,  M·亚巴西加瓦蒂 ,  D·卡尔塔比亚诺 ,  G·贝尔塔格诺里

IPC: G01L1/00

Abstract: 本公开涉及应力传感器和负载检测系统。该应力传感器包括膜板；布置在膜板的顶部上的第一接合区域；布置在第一接合区域的顶部上的盖板，第一接合区域将膜板接合到盖板；跨越膜板延伸、嵌入接合层中的三维压阻元件；以及跨过膜板延伸、被接合层包围并与接合层分离的平面压阻元件。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利